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三维表面粗糙度测量方法综述
被引量：
64
1
作者
何宝凤
丁思源
+2 位作者
魏翠娥
刘柄显
石照耀
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期78-93,共16页
表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段。经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标。本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点...
表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段。经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标。本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点。针对每种测量方法的发展现状,本文讨论了其适用范围及局限性,并指出了未来的发展方向。
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关键词
三维
表面
粗糙度
测量方法
接触式测量
非接触式测量
纳米表面粗糙度分析
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职称材料
题名
三维表面粗糙度测量方法综述
被引量：
64
1
作者
何宝凤
丁思源
魏翠娥
刘柄显
石照耀
机构
北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期78-93,共16页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项(No.2013YQ590395)
文摘
表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段。经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标。本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点。针对每种测量方法的发展现状,本文讨论了其适用范围及局限性,并指出了未来的发展方向。
关键词
三维
表面
粗糙度
测量方法
接触式测量
非接触式测量
纳米表面粗糙度分析
Keywords
areal surface roughness
measurement methods
contact measurement
non-contact measurement
nanometer-scale surface roughness analysis
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维表面粗糙度测量方法综述
何宝凤
丁思源
魏翠娥
刘柄显
石照耀
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
64
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