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大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向被引量：10: 1; 作者张晓峰林彬《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B11期179-183,共5页; 讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、... 展开更多; 关键词超精密工作台纳米级分辨率大行程; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种具有纳米级步进特性的直线压电电机被引量：1: 2; 作者陈西府李明 +1 位作者卢倩黄卫清《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期209-216,231,共9页; 为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的... 展开更多; 关键词直线电机压电作动器步进运动纳米级分辨率非共振; 在线阅读下载PDF 职称材料

亚纳米级光纤束位移传感器: 3; 作者阮顺龄《现代科技译丛（哈尔滨）》 1996年第3期15-23,共9页; 提出了一种具有亚纳米级分辨率、低温漂的光纤束位移传感器，该装置以一个载波放大器系统为基础，并且包含消除光源功率起伏的技术。该传感器达到的噪声电平０．０３ｎｍ，通过对同一靶子的两上不同传感器在４×１０＾３ｓ（６７ｍ... 展开更多; 关键词传感器亚纳米级分辨率光纤束位移; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于扫描探针显微镜的近场超空间分辨指纹光谱技术研究现状被引量：7: 4; 作者杨忠波王化斌 +7 位作者彭晓昱施长城夏良平汤明杰常天英魏东山杜春雷崔洪亮《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期87-98,共12页; 基于扫描探针显微镜的近场超空间分辨指纹光谱技术在分子识别及组分鉴别方面具有极大的应用前景.扫描探针显微技术与不同的光谱联合使用,发展出了不同的具有纳米级分辨的指纹光谱技术,其中包括针尖增强拉曼散射光谱技术、纳米级分辨率... 展开更多; 关键词分子指纹识别针尖增强拉曼散射纳米级分辨率的傅里叶变换红外光谱散射式的扫描近场太赫兹光谱生物医学; 在线阅读下载PDF 职称材料

其他: 5; 《中国光学》 EI CAS 2002年第5期107-107,共1页; TH15 2002053977具有纳米级分辨率的超精密定位工作台=Super-precisionpositioning stage with nanometer resolution[刊,中]/林德教,吴健,殷纯永(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术... 展开更多; 关键词精密定位工作台纳米级分辨率测量技术精密仪器国家重点实验室机械学清华大学光学技术德教北京; 在线阅读下载PDF 职称材料

国内外动态: 6; 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第5期2-5,共4页; 关键词数控系统伺服系统北京机床研究所纳米级分辨率数控机床; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向被引量：10: 1; 作者张晓峰林彬; 机构天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室; 出处《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B11期179-183,共5页; 文摘讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、纳米光栅尺测量反馈和开放式数控系统等技术来组建大行程纳米级分辨率超精密工作台是比较理想的方案。; 关键词超精密工作台纳米级分辨率大行程; Keywords ultraprecision stage nanometer resolution large travel; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种具有纳米级步进特性的直线压电电机被引量：1: 2; 作者陈西府李明卢倩黄卫清; 机构盐城工学院机械工程学院广州大学机械与电气工程学院; 出处《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期209-216,231,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(51405420 51375224 +3 种基金 51805465) 江苏高校"青蓝工程"资助人才项目(苏教2018-12); 文摘为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的独立解耦特性;其次,利用有限元法对定子驱动足进行了参数优化设计,获得了定子驱动足的主要结构尺寸;最后,制作电机样机并进行了定子振动特性实验和电机特性实验。定子振动特性实验结果表明:该电机在1～400Hz范围内能够使得驱动阶段和回程阶段具有不同的运动特性,上述两个运动阶段的动子运动位移差即为电机的运动步距,因而该电机具有更小的位移分辨率。机械输出特性实验结果表明:该电机在1～400Hz范围内分别具有微、纳米级步进运动特性,在1～30Hz内电机的位移分辨率最高可达11nm。综上,该电机在400Hz以内能实现微纳米定位精度,电机速度最高可达63.3μm/s。; 关键词直线电机压电作动器步进运动纳米级分辨率非共振; Keywords linear motors piezoelectric actuators stepping motion nanoscale resolution non-resonance; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TM356 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名亚纳米级光纤束位移传感器: 3; 作者阮顺龄; 出处《现代科技译丛（哈尔滨）》 1996年第3期15-23,共9页; 文摘提出了一种具有亚纳米级分辨率、低温漂的光纤束位移传感器，该装置以一个载波放大器系统为基础，并且包含消除光源功率起伏的技术。该传感器达到的噪声电平０．０３ｎｍ，通过对同一靶子的两上不同传感器在４×１０＾３ｓ（６７ｍｉｎ）时间内的输出的比较，估算出稳定度。两传感器的光纤束末端跟靶面间相对位移在４００ｎｍ范围内变化，它依赖于环境２温度２℃的变动量。不管怎样，１小时以上的测量。; 关键词传感器亚纳米级分辨率光纤束位移; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于扫描探针显微镜的近场超空间分辨指纹光谱技术研究现状被引量：7: 4; 作者杨忠波王化斌彭晓昱施长城夏良平汤明杰常天英魏东山杜春雷崔洪亮; 机构中国科学院重庆绿色智能技术研究院重庆市跨尺度制造技术重点实验室吉林大学仪器科学与电气工程学院; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期87-98,共12页; 基金重庆市基础前沿项目(cstc2013jcyj C00001) 中国科学院仪器装备项目(生物大分子太赫兹成像光谱仪研制) +2 种基金国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2015CB755401)~~; 文摘基于扫描探针显微镜的近场超空间分辨指纹光谱技术在分子识别及组分鉴别方面具有极大的应用前景.扫描探针显微技术与不同的光谱联合使用,发展出了不同的具有纳米级分辨的指纹光谱技术,其中包括针尖增强拉曼散射光谱技术、纳米级分辨率的傅里叶变换红外光谱技术及散射式的扫描近场太赫兹光谱技术.这三种散射式的扫描近场光学显微技术在实现方式上有所不同,在近场指纹识别方面可以相互补充.该综述主要对三种近场超空间分辨指纹光谱技术的特点进行了深入地分析和比较,并且对这三种技术的研究现状及应用进行了总结.; 关键词分子指纹识别针尖增强拉曼散射纳米级分辨率的傅里叶变换红外光谱散射式的扫描近场太赫兹光谱生物医学; Keywords molecule fingerprint identification TERS Nano-FTIR S-SNTS biomedicine; 分类号 O657.33 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名其他: 5; 出处《中国光学》 EI CAS 2002年第5期107-107,共1页; 文摘 TH15 2002053977具有纳米级分辨率的超精密定位工作台=Super-precisionpositioning stage with nanometer resolution[刊,中]/林德教,吴健,殷纯永(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术.—2001,27(6).—556-557。; 关键词精密定位工作台纳米级分辨率测量技术精密仪器国家重点实验室机械学清华大学光学技术德教北京; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名国内外动态: 6; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第5期2-5,共4页; 关键词数控系统伺服系统北京机床研究所纳米级分辨率数控机床; 分类号 TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向	张晓峰林彬	《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	10	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种具有纳米级步进特性的直线压电电机	陈西府李明卢倩黄卫清	《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心	2019	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	亚纳米级光纤束位移传感器	阮顺龄	《现代科技译丛（哈尔滨）》	1996	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于扫描探针显微镜的近场超空间分辨指纹光谱技术研究现状	杨忠波王化斌彭晓昱施长城夏良平汤明杰常天英魏东山杜春雷崔洪亮	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2016	7	在线阅读下载PDF 职称材料
5	其他		《中国光学》 EI CAS	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	国内外动态		《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料