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纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量被引量：8: 1; 作者丁建宁孟永钢温诗铸《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期186-189,共4页; 利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性是一种简便而有效的方法 ,具有很高的载荷分辨率 ,可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变。运用该方法在研究微悬臂梁的弯曲形变过程中 ,必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿... 展开更多; 关键词微型机械薄膜多晶硅弹性模量纳米硬度计微悬臂梁; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米硬度计测定电刷镀纳米颗粒复合镀层的弹性模量被引量：1: 2; 作者董世运徐滨士 +3 位作者 Beake B D 朱胜胡振峰王红美《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2003年第4期15-18,共4页; 采用电刷镀技术在钢基体表面制备了n-Al2O3/Ni纳米颗粒复合镀层,借助纳米硬度计的纳米压痕法测定了复合镀层的弹性模量及其分布。测试结果表明:n-Al2O3/Ni纳米颗粒复合刷镀层的杨氏模量约为200 GPa;复合刷镀层中存在的气孔、裂纹等缺陷... 展开更多; 关键词纳米硬度计纳米颗粒复合镀层弹性模量; 在线阅读下载PDF 职称材料

微米/纳米尺度的材料力学性能测试被引量：23: 3; 作者傅敏王会才洪友士《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2000年第3期391-399,共9页; 针对如何定量测定纳米、微米尺度及低维材料的力学性能，叙述了采用当今先进观测手段，结合设备特点和力学分析技术来评价材料的硬度、弹性模量、屈服应力、抗蠕变及抗疲劳性等力学性能的测试方法．; 关键词微米-纳米尺度纳米硬度计力学性能材料; 在线阅读下载PDF 职称材料

多层耐磨硬涂层纳米力学性能评定新方法: 4; 作者丁建宁范真 +1 位作者杨继昌蔡兰《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2002年第2期4-8,共5页; 阐述了利用纳米硬度计研究涂层纳米力学特性的纳米压痕方法以及涂层纳米力学特性、附着、断裂韧性的评定指标 ,分析了载荷P与压入深度h关系曲线和载荷P与压入深度平方h2 关系曲线的特征 ,并提出用P -h和P -h2 关系曲线完整描述涂层纳米... 展开更多; 关键词纳米力学特性纳米硬度计多层耐磨硬涂层评定方法硬质合金基体; 在线阅读下载PDF 职称材料

多晶硅微悬臂梁断裂失效强度的尺寸效应被引量：9: 5; 作者丁建宁孟永钢温诗铸《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1228-1231,共4页; 为了了解构件尺寸的微型化给材料的强度和弹性模量带来的影响 ,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲实验来测量其力学特性。该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变 ,但必须考虑压头在微悬臂梁上的压入及微悬臂沿宽度方向的挠曲。试验研... 展开更多; 关键词力学性质微机械薄膜多晶硅纳米硬度计尺寸效应失效强度; 在线阅读下载PDF 职称材料

微梁传感器弹性模量的测试被引量：4: 6; 作者张天林郭哲颖 +2 位作者张青川张泰华何世平《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期567-572,共6页; 利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁... 展开更多; 关键词微悬臂梁式传感器红外探测器弹性模量谱面滤波多普勒测振仪纳米硬度计; 在线阅读下载PDF 职称材料

大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究被引量：2: 7; 作者李博徐晨 +4 位作者赵慧赵林林霍文晓宋义超沈光地《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1391-1394,共4页; 研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种... 展开更多; 关键词大宽厚比悬空薄膜杨氏模量纳米硬度计; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量被引量：8: 1; 作者丁建宁孟永钢温诗铸; 机构清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期186-189,共4页; 基金教育部博士点基金资助项目; 文摘利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性是一种简便而有效的方法 ,具有很高的载荷分辨率 ,可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变。运用该方法在研究微悬臂梁的弯曲形变过程中 ,必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿宽度方向的挠曲。微悬臂梁采用普通的集成电路工艺 (IC)制造。试验研究表明 ,多晶硅微悬臂梁的纯挠曲与载荷成很好的线性关系 ,呈现弹性变形 ,通过该线性关系可计算得到梁的弹性模量。测得的多晶硅微悬臂梁的弹性模量为 15 6± (2 9% -6 3% )GPa。; 关键词微型机械薄膜多晶硅弹性模量纳米硬度计微悬臂梁; Keywords Micromechanical devices Thin films Polysilicon Young's modulus Nanoindentation; 分类号 TG115.51 [金属学及工艺—物理冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米硬度计测定电刷镀纳米颗粒复合镀层的弹性模量被引量：1: 2; 作者董世运徐滨士 Beake B D 朱胜胡振峰王红美; 机构装备再制造技术国防科技重点实验室装甲兵工程学院材料科学与工程系 Micro materials Ltd; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2003年第4期15-18,共4页; 基金国家973项目(G1999065009) 中英政府科技合作基金项目(2002M3) 国家自然科学基金重点项目(50235030) 资助; 文摘采用电刷镀技术在钢基体表面制备了n-Al2O3/Ni纳米颗粒复合镀层,借助纳米硬度计的纳米压痕法测定了复合镀层的弹性模量及其分布。测试结果表明:n-Al2O3/Ni纳米颗粒复合刷镀层的杨氏模量约为200 GPa;复合刷镀层中存在的气孔、裂纹等缺陷处具有较低的弹性模量,除这些缺陷微区外,复合刷镀层具有均一的弹性模量等力学性能。指出优化和严格控制复合刷镀层制备工艺、减少或消除镀层缺陷,是纳米颗粒复合刷镀层具有均匀性能、提高宏观力学性能的有效途径。; 关键词纳米硬度计纳米颗粒复合镀层弹性模量; Keywords nano indenter electro-brush plated nanoparticle composite coating young's modulus; 分类号 TG174.441 [金属学及工艺—金属表面处理] O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微米/纳米尺度的材料力学性能测试被引量：23: 3; 作者傅敏王会才洪友士; 机构中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室; 出处《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2000年第3期391-399,共9页; 文摘针对如何定量测定纳米、微米尺度及低维材料的力学性能，叙述了采用当今先进观测手段，结合设备特点和力学分析技术来评价材料的硬度、弹性模量、屈服应力、抗蠕变及抗疲劳性等力学性能的测试方法．; 关键词微米-纳米尺度纳米硬度计力学性能材料; Keywords micro-nano scale, nano-indenter, mechanical property, AFM; 分类号 TB383.01 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多层耐磨硬涂层纳米力学性能评定新方法: 4; 作者丁建宁范真杨继昌蔡兰; 机构江苏大学机械工程学院微纳米科学技术研究中心; 出处《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2002年第2期4-8,共5页; 基金国家自然科学基金重点资助项目 (5 0 13 5 0 40 ) 江苏大学高级人才基金资助项目 (6810 0 0 0 0 18); 文摘阐述了利用纳米硬度计研究涂层纳米力学特性的纳米压痕方法以及涂层纳米力学特性、附着、断裂韧性的评定指标 ,分析了载荷P与压入深度h关系曲线和载荷P与压入深度平方h2 关系曲线的特征 ,并提出用P -h和P -h2 关系曲线完整描述涂层纳米力学特性的方法 P -h2 曲线与P -h曲线一道就可完整反映涂层界面失效、断裂失效的整个过程应用该方法对化学气相沉积 (CVD)TiN/Ti(C ,N) /TiC/Ti(C ,N) /TiCTi(C ,N) /TiC七层耐磨硬涂层进行了研究结果表明 ,其具有较高的硬度。; 关键词纳米力学特性纳米硬度计多层耐磨硬涂层评定方法硬质合金基体; Keywords multilayer coatings mechanical properties nanoindentation; 分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多晶硅微悬臂梁断裂失效强度的尺寸效应被引量：9: 5; 作者丁建宁孟永钢温诗铸; 机构江苏大学机械工程学院清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1228-1231,共4页; 基金高等学校博士学科点专项科研基金资助项目( 2 0 0 0 0 0 0 338); 文摘为了了解构件尺寸的微型化给材料的强度和弹性模量带来的影响 ,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲实验来测量其力学特性。该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变 ,但必须考虑压头在微悬臂梁上的压入及微悬臂沿宽度方向的挠曲。试验研究表明 ,多晶硅微悬臂梁的平均弹性模量为 1 5 6 GPa± (4.5 2～ 9.83 ) GPa,其失效断裂强度表现出对构件有效体积和表面积的尺寸效应。由实验测得的失效强度得到 KC=1 .6 2 MPa· m1/ 2 ,计算出的缺陷尺寸 a为 5 8～ 1 1 7nm。; 关键词力学性质微机械薄膜多晶硅纳米硬度计尺寸效应失效强度; Keywords mechanical property micromechanical device thin film polysilicon nanoindentation; 分类号 TH－39 [机械工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微梁传感器弹性模量的测试被引量：4: 6; 作者张天林郭哲颖张青川张泰华何世平; 机构中国科学技术大学力学和机械工程系中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室; 出处《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期567-572,共6页; 基金国家自然科学基金(10232030)资助; 文摘利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁传感器结构的固有频率,再结合数值模拟计算求出传感器的等效弹性模量.通过几种检测结果的分析和比较,获得了更加精确的微梁传感器单元的弹性模量值,为微梁的优化设计和评估提供了可靠的参数.; 关键词微悬臂梁式传感器红外探测器弹性模量谱面滤波多普勒测振仪纳米硬度计; Keywords micro-cantilever sensor infrared detector elastic modulus wave filtering in spectrum plane Doppler vibrometer nanoindenter; 分类号 O346.4 [理学—固体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究被引量：2: 7; 作者李博徐晨赵慧赵林林霍文晓宋义超沈光地; 机构北京工业大学电子信息与控制工程学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1391-1394,共4页; 基金北京市人才强教计划项目资助(05002015200504); 文摘研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.; 关键词大宽厚比悬空薄膜杨氏模量纳米硬度计; Keywords high width-thickness ratio free standing structure film Young＇s modulus nanoindentation; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量	丁建宁孟永钢温诗铸	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	纳米硬度计测定电刷镀纳米颗粒复合镀层的弹性模量	董世运徐滨士 Beake B D 朱胜胡振峰王红美	《中国表面工程》 EI CAS CSCD	2003	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微米/纳米尺度的材料力学性能测试	傅敏王会才洪友士	《力学进展》 EI CSCD 北大核心	2000	23	在线阅读下载PDF 职称材料
4	多层耐磨硬涂层纳米力学性能评定新方法	丁建宁范真杨继昌蔡兰	《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	多晶硅微悬臂梁断裂失效强度的尺寸效应	丁建宁孟永钢温诗铸	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	9	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微梁传感器弹性模量的测试	张天林郭哲颖张青川张泰华何世平	《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究	李博徐晨赵慧赵林林霍文晓宋义超沈光地	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料