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激光微加工制作纳米气敏传感器阵列的工艺及特性研究
被引量：
1
1
作者
柏自奎
王爱华
谢长生
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第4期655-659,共5页
利用脉冲YAG激光微加工方法 ,在三氧化二铝陶瓷基片上一面集成了RuO2 加热器 ,另一面集成了四单元电极制备了纳米气敏传感器阵列。对阵列的加热特性、热响应、温度分布及气敏性能作了深入的探讨。阵列单元平均能耗低于 5 0 0mW、热响应...
利用脉冲YAG激光微加工方法 ,在三氧化二铝陶瓷基片上一面集成了RuO2 加热器 ,另一面集成了四单元电极制备了纳米气敏传感器阵列。对阵列的加热特性、热响应、温度分布及气敏性能作了深入的探讨。阵列单元平均能耗低于 5 0 0mW、热响应速度小于 2 0s、平面温度梯度小于 5℃ /mm、能充分拾取气敏材料的气敏信息 ,阵列气敏性能稳定性、重现性好。研究表明激光微加工方法制作纳米气敏传感器阵列是一种可控性好、灵活、方便、廉价的制作方法。
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关键词
YAG激光微加工
纳米气敏传感器
阵列
RuO2加热器
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职称材料
纳米传感器的研究现状与应用
被引量：
12
2
作者
刘凯
邹德福
+3 位作者
廉五州
马丽铃
马丽敏
陈志东
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第1期10-12,共3页
纳米传感器现已在生物、化学、机械、航空、军事等领域获得广泛的发展,与传统的传感器相比,其尺寸减小、精度提高等性能大大改善。文中综述了纳米传感器的种类、特点;分类介绍了美国和国内近期的一些研究成果,并作了分析比较;介绍了纳...
纳米传感器现已在生物、化学、机械、航空、军事等领域获得广泛的发展,与传统的传感器相比,其尺寸减小、精度提高等性能大大改善。文中综述了纳米传感器的种类、特点;分类介绍了美国和国内近期的一些研究成果,并作了分析比较;介绍了纳米传感器在不同领域的关注焦点和应用,为其进一步研究提供参考。
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关键词
纳米
纳米
技术
纳米
传感器
纳米
化学和生物
传感器
纳米气敏传感器
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职称材料
题名
激光微加工制作纳米气敏传感器阵列的工艺及特性研究
被引量：
1
1
作者
柏自奎
王爱华
谢长生
机构
华中科技大学材料学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第4期655-659,共5页
基金
国家自然科学基金 (5 0 0 4 10 2 4 )
武汉市科委纳米材料研究专项 (2 0 0 110 0 70 88- 5 ) .
文摘
利用脉冲YAG激光微加工方法 ,在三氧化二铝陶瓷基片上一面集成了RuO2 加热器 ,另一面集成了四单元电极制备了纳米气敏传感器阵列。对阵列的加热特性、热响应、温度分布及气敏性能作了深入的探讨。阵列单元平均能耗低于 5 0 0mW、热响应速度小于 2 0s、平面温度梯度小于 5℃ /mm、能充分拾取气敏材料的气敏信息 ,阵列气敏性能稳定性、重现性好。研究表明激光微加工方法制作纳米气敏传感器阵列是一种可控性好、灵活、方便、廉价的制作方法。
关键词
YAG激光微加工
纳米气敏传感器
阵列
RuO2加热器
Keywords
YAG laser micro-machining
nano gas sensor arrays
RuO_2heater
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
纳米传感器的研究现状与应用
被引量：
12
2
作者
刘凯
邹德福
廉五州
马丽铃
马丽敏
陈志东
机构
沈阳仪表科学研究院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第1期10-12,共3页
文摘
纳米传感器现已在生物、化学、机械、航空、军事等领域获得广泛的发展,与传统的传感器相比,其尺寸减小、精度提高等性能大大改善。文中综述了纳米传感器的种类、特点;分类介绍了美国和国内近期的一些研究成果,并作了分析比较;介绍了纳米传感器在不同领域的关注焦点和应用,为其进一步研究提供参考。
关键词
纳米
纳米
技术
纳米
传感器
纳米
化学和生物
传感器
纳米气敏传感器
Keywords
nanometer
nanometer technology
nanosensor
biological and chemical nanosensors
gas nanosensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
激光微加工制作纳米气敏传感器阵列的工艺及特性研究
柏自奎
王爱华
谢长生
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004
1
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职称材料
2
纳米传感器的研究现状与应用
刘凯
邹德福
廉五州
马丽铃
马丽敏
陈志东
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008
12
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