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纳米标准物及长时稳定性
1
作者
刘庆纲
李源
+2 位作者
李敏
李艳宁
胡小唐
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第2期161-163,共3页
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究...
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究。实验结果表明,该标准物的台阶高度制造精度为±1.1nm,长期稳定性优于±0.5nm。
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关键词
纳米标准物
评价方法
SPM
稳定性
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职称材料
题名
纳米标准物及长时稳定性
1
作者
刘庆纲
李源
李敏
李艳宁
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第2期161-163,共3页
基金
天津市自然基金项目(013602111)
教育部天津大学南开大学科技合作项目
文摘
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究。实验结果表明,该标准物的台阶高度制造精度为±1.1nm,长期稳定性优于±0.5nm。
关键词
纳米标准物
评价方法
SPM
稳定性
Keywords
nano step standard
evaluation method
SPM
stability
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米标准物及长时稳定性
刘庆纲
李源
李敏
李艳宁
胡小唐
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004
0
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