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热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究 被引量:2
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作者 彭鸿雁 赵万邦 +2 位作者 赵立新 姜宏伟 孙丽 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期6-9,17,共5页
采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响。对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/160增加到190/10,膜中金刚石晶粒尺寸由... 采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响。对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/160增加到190/10,膜中金刚石晶粒尺寸由约600nm减小到约30nm。金刚石膜Raman谱中金刚石特征峰逐渐减弱,石墨G峰逐渐增强,反式聚乙炔特征峰及其伴峰强度加大。等离子体光谱分析表明C2是生长纳米晶金刚石膜的主要活性基团。 展开更多
关键词 纳米晶金刚石 热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积 氩气/甲烷/氢气混合气
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基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
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作者 周亮 王兵 +3 位作者 熊鹰 叶勤燕 王东 吴高华 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期75-78,共4页
通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗... 通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗糙度为16.56 nm,薄膜平均生长速率约为0.6μm/h。此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法。 展开更多
关键词 富勒烯C60 纳米晶金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积
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AlN介质层对GaN表面生长金刚石钝化膜的影响研究
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作者 梁礼峰 郁鑫鑫 +4 位作者 李忠辉 刘金龙 李成明 王鑫华 魏俊俊 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第8期1417-1425,共9页
GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/... GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/非晶态混合的AlN介质层,并通过氧终端金刚石悬浮液在AlN层上实现了高密度静电自组装播种;随后通过优化的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺再生长约120 nm厚的纳米晶金刚石(NCD)薄膜。表面氧终端调控的纳米金刚石悬浮液可以在AlN介质层表面实现高密度播种,结合梯度甲烷的MPCVD金刚石生长工艺,制备出了具有高结晶度、低粗糙度(Ra=15.2 nm)和低残余应力(0.84 GPa)的NCD薄膜。时域热反射(TDTR)测量表明,NCD薄膜的热导率约为123.85 W·m^(-1)·K^(-1),GaN与NCD之间的有效界面热阻(TBReff)为(9.78±0.27) m^(2)·K·GW^(-1)。透射电子显微镜(TEM)分析表明,AlN介质层有效保护了GaN免受等离子体刻蚀,并实现了金刚石和GaN之间的光滑界面。本研究表明,采用薄的ALD AlN作为在GaN表面生长金刚石的介质层可以与氧终端金刚石籽晶实现静电自组装,从而提高金刚石形核密度,再通过梯度甲烷金刚石沉积工艺,能够在GaN上沉积出高质量的NCD薄膜并降低金刚石与GaN的界面热阻。 展开更多
关键词 纳米晶金刚石 GAN AlN介质层 热导率 界面热阻 原子层沉积 静电自组装播种
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飞秒激光烧蚀纳米孪晶金刚石的研究 被引量:2
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作者 陈俊云 李召阳 王海东 《制造技术与机床》 北大核心 2019年第3期78-82,共5页
纳米孪晶金刚石(nt D)材料不仅具有远高于单晶金刚石的硬度,还拥有各向同性、无解理、韧性及高温稳定性好等优越性能,是硬脆材料进行超精密切削时的理想刀具的材料,但是超高的硬度和高温稳定性等特征限制了该材料的广泛应用。为了解决n... 纳米孪晶金刚石(nt D)材料不仅具有远高于单晶金刚石的硬度,还拥有各向同性、无解理、韧性及高温稳定性好等优越性能,是硬脆材料进行超精密切削时的理想刀具的材料,但是超高的硬度和高温稳定性等特征限制了该材料的广泛应用。为了解决nt D材料的高效率成形和加工问题,通过理论分析和实验研究了飞秒激光加工中nt D材料的去除过程、微槽加工轮廓预测、加工工艺等内容。建立等效脉冲数模型,用于理论计算不同工艺参数对应的阈值能流密度和实际能流密度。最后通过nt D刀具的轮廓加工验证了飞秒激光技术在nt D材料高效率成形加工中的有效性及文中工艺参数研究的合理性。 展开更多
关键词 纳米金刚石 飞秒激光 微槽 轮廓
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纳米多晶金刚石微结构及塑性形变机制的研究进展
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作者 何艮春 许超 刘春梅 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第4期11-19,共9页
纳米多晶金刚石是指晶粒尺寸小于100nm的金刚石晶粒直接结合而形成的多晶材料。石墨经高温高压直接转变合成的纳米多晶金刚石的硬度达120~145GPa,洋葱碳直接转变合成的金刚石晶粒内含高密度孪晶,此纳米孪晶金刚石硬度达200GPa,远超单晶... 纳米多晶金刚石是指晶粒尺寸小于100nm的金刚石晶粒直接结合而形成的多晶材料。石墨经高温高压直接转变合成的纳米多晶金刚石的硬度达120~145GPa,洋葱碳直接转变合成的金刚石晶粒内含高密度孪晶,此纳米孪晶金刚石硬度达200GPa,远超单晶金刚石的硬度。材料优良的性能源于其微观结构,揭示其塑性形变机制将利于更高性能纳米超硬材料的设计与合成。本文概述了纳米多晶金刚石微观结构及其塑性形变机制的国内外研究现状,重点介绍和评价了纳米多晶金刚石塑性形变机制的实验及理论研究,为纳米多晶金刚石材料的进一步研究和应用提供参考。 展开更多
关键词 纳米金刚石 微结构 压痕 塑性形变机制
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纳米金刚石的性能与应用前景 被引量:32
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作者 邹芹 王明智 王艳辉 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2003年第2期54-58,共5页
纳米材料是近年引起世界各国物理学家、化学家、材料学家及工程界、产业界广泛注意的新材料[1,2 ] 。本文对纳米材料的通性、金刚石的基本性质、纳米金刚石的性质与应用前景、烧结型纳米PCD的聚结机理及性质进行阐述。揭示了纳米金刚石... 纳米材料是近年引起世界各国物理学家、化学家、材料学家及工程界、产业界广泛注意的新材料[1,2 ] 。本文对纳米材料的通性、金刚石的基本性质、纳米金刚石的性质与应用前景、烧结型纳米PCD的聚结机理及性质进行阐述。揭示了纳米金刚石聚晶具有金刚石和纳米材料的双重特性 ,提出了制造纳米金刚石聚晶的可行性。 展开更多
关键词 纳米金刚石 性能 应用前景 纳米材料 纳米金刚石
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直接转化法合成大尺寸纯相多晶金刚石 被引量:3
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作者 王海阔 张相法 +5 位作者 位星 王永凯 任瑛 赵海军 卢灿华 刘乾坤 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第1期1-6,共6页
在不同热力学条件下,以不同碳源为初始材料,采用直接转化法合成不同晶粒尺寸、不同颜色的纯相多晶金刚石块体(φ6mm×6mm),并用X射线衍射、Raman光谱及扫描电镜等方法检测验证。采用维氏压痕法测得纳米结构的黄色透明样品硬度为130~... 在不同热力学条件下,以不同碳源为初始材料,采用直接转化法合成不同晶粒尺寸、不同颜色的纯相多晶金刚石块体(φ6mm×6mm),并用X射线衍射、Raman光谱及扫描电镜等方法检测验证。采用维氏压痕法测得纳米结构的黄色透明样品硬度为130~270GPa(加载3N)。对黄色透明样品进行砂轮对磨实验,其磨耗比达1.658×10~6,约为现在市场上主流钴基石油用金刚石复合片的25倍。差热分析表明:黄色透明样品的热稳定性与克拉级单晶金刚石基本持平;以纳米结构多晶金刚石与金刚石大单晶对磨,测定其磨耗比为2.5,表现出比金刚石大单晶更优越的耐磨性。 展开更多
关键词 纳米结构多金刚石 超高压烧结 直接相变
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陶瓷圆柱滚子超精研磨工艺试验 被引量:4
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作者 周兆忠 李兴林 +2 位作者 居冰峰 冯凯萍 袁巨龙 《轴承》 北大核心 2015年第12期14-18,共5页
针对传统磨具很难对陶瓷圆柱滚子进行光滑无损伤表面加工的问题,提出了使用纳米多晶金刚石磨具对圆柱滚子进行研磨,为提高磨具中磨粒的分散性,采用聚丙烯腈凝胶法制备纳米多晶金刚石磨具,研究不同磨具砂结比、研磨压力、研磨速度条件下... 针对传统磨具很难对陶瓷圆柱滚子进行光滑无损伤表面加工的问题,提出了使用纳米多晶金刚石磨具对圆柱滚子进行研磨,为提高磨具中磨粒的分散性,采用聚丙烯腈凝胶法制备纳米多晶金刚石磨具,研究不同磨具砂结比、研磨压力、研磨速度条件下对圆柱滚子表面粗糙度和材料去除率的影响,并与酚醛热压磨具进行对比。试验结果表明:凝胶磨具中纳米金刚石分布均匀,没有出现明显的团聚现象。当砂结比为10、驱动辊转速为300r/min、研磨压力为0.5 MPa时,对陶瓷圆柱滚子研磨30 min,表面粗糙度Ra的值从0.32μm降到0.07μm。 展开更多
关键词 圆柱滚子轴承 陶瓷滚子 纳米金刚石 凝胶磨具 研磨
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