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纳米定位技术的发展现状 被引量:5
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作者 卢礼华 白清顺 梁迎春 《工具技术》 北大核心 2007年第11期10-12,共3页
超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。
关键词 纳米定位技术 驱动系统 发展现状 超精密位置控制技术
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纳米定位技术的进展 被引量:1
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作者 徐峰 文贵林 《机电工程》 CAS 2001年第3期1-2,15,共3页
综述了纳米定位技术现状及未来 。
关键词 纳米定位技术 发展 纳米技术 纳米材料
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