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结构调制高硬度TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜制备及其机械性能
被引量：
2
1
作者
杨浩志
辛艳青
+4 位作者
郑小龙
石倩
代明江
林松盛
孙珲
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期56-63,共8页
为改善TiN硬质薄膜的硬度和耐摩擦磨损性能,采用多弧离子镀技术,在硬质合金基底上制备了单层TiN-Cu薄膜和调制周期Λ=5.9~62.1 nm的5组TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜。使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米...
为改善TiN硬质薄膜的硬度和耐摩擦磨损性能,采用多弧离子镀技术,在硬质合金基底上制备了单层TiN-Cu薄膜和调制周期Λ=5.9~62.1 nm的5组TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜。使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪、划痕仪和摩擦磨损试验机等测试仪器,表征了薄膜的微观结构及机械性能,并研究了调制周期对纳米多层复合膜结构及机械性能的影响。实验结果表明:与单层TiN-Cu薄膜相比,TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜有效地抑制了晶粒生长,而且分层明显,薄膜均匀致密,薄膜中TiN晶粒以面心立方结构沿(111)方向生长。随着调制周期的减小,薄膜的结晶性有所下降,薄膜的硬度呈现先增大后减小的趋势。在调制周期为13.7 nm时,薄膜综合性能达到最佳,薄膜的硬度达到了42.6 GPa,H^(3)/E^(2)值也达到了0.689,摩擦系数为0.17,附着力为49.2 N,接近53.1 N的最高值,表明薄膜具有理想的硬度和耐摩擦磨损能力。在使用多弧离子镀工艺制备TiCu/TiN-Cu纳米多层复合多层膜的过程中,通过调整调制周期,有效地改善了膜层的机械性能,拓展了膜层的应用范围。
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关键词
多弧离子镀
纳米多层复合膜
TiN-Cu
调制周期
机械性能
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职称材料
静电自组装法制备镧/铈掺杂锶铁氧体纳米复合多层膜
被引量：
1
2
作者
翟青霞
黄英
+1 位作者
李玉青
王艳丽
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期877-882,共6页
为制备具有良好吸波性能的锶铁氧体纳米薄膜,确定了静电自组装法制备掺杂态铁氧体与聚苯乙烯磺酸钠(PSS)多层复合膜的基片处理方法和单层膜的组装时间。用紫外-可见分光光度计、XRD、AFM、矢量网络分析仪对纳米薄膜的结构与性能进行研...
为制备具有良好吸波性能的锶铁氧体纳米薄膜,确定了静电自组装法制备掺杂态铁氧体与聚苯乙烯磺酸钠(PSS)多层复合膜的基片处理方法和单层膜的组装时间。用紫外-可见分光光度计、XRD、AFM、矢量网络分析仪对纳米薄膜的结构与性能进行研究。研究表明:所制得薄膜为非晶态,薄膜表面由球状颗粒组成,其平均粒径约150nm。通过SrLa0.4Fe11.6O19/PSS纳米复合多层薄膜的电磁参数分析,发现随层数的增加,薄膜的吸波性能增强;在9.21GHz和10.5GHz左右,且组装层数一定时,复合多层膜的吸波性能排序为SrCe0.2Fe11.8O19/PSS>SrLa0.2Fe11.8O19/PSS>S.rFe12O19/PSS。
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关键词
静电自组装
镧/铈掺杂
锶铁氧体
纳米
复合
多层
膜
吸波
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职称材料
多层纳米硅复合膜的共振光学非线性
3
作者
郭震宁
郭亨群
+2 位作者
王加贤
张文珍
李世忱
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第11期1340-1343,共4页
本文采用简并四波混频技术在室温下研究晶化a Si:H/a SiNx:H多层纳米硅复合膜三阶非线性光学性质 ,首次观察到这种多层膜的相位共轭信号 ,在共振光波波长λ =5 89nm处实验所用样品的三阶非线性极化率为 χ(3) =1 .4× 1 0 - 6esu 。
关键词
多层
纳米
硅
复合
膜
简并四波混频
共振光学非线性
非线性光学性质
半导体
多层
膜
量子点
强量子限域效应
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职称材料
题名
结构调制高硬度TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜制备及其机械性能
被引量：
2
1
作者
杨浩志
辛艳青
郑小龙
石倩
代明江
林松盛
孙珲
机构
山东大学(威海)超级计算中心
山东大学空间科学与物理学院
广东省现代表面工程技术重点实验室(广东省新材料研究所)
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期56-63,共8页
基金
国家自然科学基金(62004117)
中国博士后基金面上项目(2019M651199)
+1 种基金
山东大学(威海)青年学者未来计划
广东省现代表面工程技术重点实验室开放课题。
文摘
为改善TiN硬质薄膜的硬度和耐摩擦磨损性能,采用多弧离子镀技术,在硬质合金基底上制备了单层TiN-Cu薄膜和调制周期Λ=5.9~62.1 nm的5组TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜。使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪、划痕仪和摩擦磨损试验机等测试仪器,表征了薄膜的微观结构及机械性能,并研究了调制周期对纳米多层复合膜结构及机械性能的影响。实验结果表明:与单层TiN-Cu薄膜相比,TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜有效地抑制了晶粒生长,而且分层明显,薄膜均匀致密,薄膜中TiN晶粒以面心立方结构沿(111)方向生长。随着调制周期的减小,薄膜的结晶性有所下降,薄膜的硬度呈现先增大后减小的趋势。在调制周期为13.7 nm时,薄膜综合性能达到最佳,薄膜的硬度达到了42.6 GPa,H^(3)/E^(2)值也达到了0.689,摩擦系数为0.17,附着力为49.2 N,接近53.1 N的最高值,表明薄膜具有理想的硬度和耐摩擦磨损能力。在使用多弧离子镀工艺制备TiCu/TiN-Cu纳米多层复合多层膜的过程中,通过调整调制周期,有效地改善了膜层的机械性能,拓展了膜层的应用范围。
关键词
多弧离子镀
纳米多层复合膜
TiN-Cu
调制周期
机械性能
Keywords
multi-arc ion plating
nano-composite multilayer film
TiN-Cu
modulation period
mechanical properties
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
静电自组装法制备镧/铈掺杂锶铁氧体纳米复合多层膜
被引量：
1
2
作者
翟青霞
黄英
李玉青
王艳丽
机构
西北工业大学应用化学系
出处
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期877-882,共6页
基金
航天科技创新基金(N9XT0001)
航天支撑技术基金(N8XW0002)
西北工业大学研究生创业种子基金(Z200971)资助
文摘
为制备具有良好吸波性能的锶铁氧体纳米薄膜,确定了静电自组装法制备掺杂态铁氧体与聚苯乙烯磺酸钠(PSS)多层复合膜的基片处理方法和单层膜的组装时间。用紫外-可见分光光度计、XRD、AFM、矢量网络分析仪对纳米薄膜的结构与性能进行研究。研究表明:所制得薄膜为非晶态,薄膜表面由球状颗粒组成,其平均粒径约150nm。通过SrLa0.4Fe11.6O19/PSS纳米复合多层薄膜的电磁参数分析,发现随层数的增加,薄膜的吸波性能增强;在9.21GHz和10.5GHz左右,且组装层数一定时,复合多层膜的吸波性能排序为SrCe0.2Fe11.8O19/PSS>SrLa0.2Fe11.8O19/PSS>S.rFe12O19/PSS。
关键词
静电自组装
镧/铈掺杂
锶铁氧体
纳米
复合
多层
膜
吸波
Keywords
strontium compound
thin films
electrostatic self-assembly method
La/Ce doped strontium ferrite composite multi-layer film
absorption property
分类号
TM27 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
多层纳米硅复合膜的共振光学非线性
3
作者
郭震宁
郭亨群
王加贤
张文珍
李世忱
机构
华侨大学应用物理系
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第11期1340-1343,共4页
基金
国家自然科学基金 (N0 .6 9896 2 6 0
N0 .6 0 1 780 38)
集成光电子学国家重点实验室开放课题资助项目
文摘
本文采用简并四波混频技术在室温下研究晶化a Si:H/a SiNx:H多层纳米硅复合膜三阶非线性光学性质 ,首次观察到这种多层膜的相位共轭信号 ,在共振光波波长λ =5 89nm处实验所用样品的三阶非线性极化率为 χ(3) =1 .4× 1 0 - 6esu 。
关键词
多层
纳米
硅
复合
膜
简并四波混频
共振光学非线性
非线性光学性质
半导体
多层
膜
量子点
强量子限域效应
Keywords
Multilayer nanocrystalline silicon film
Degenerate four-wave mixing
Resonant optical nonlinearity
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
O472. [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
结构调制高硬度TiCu/TiN-Cu纳米多层复合膜制备及其机械性能
杨浩志
辛艳青
郑小龙
石倩
代明江
林松盛
孙珲
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
静电自组装法制备镧/铈掺杂锶铁氧体纳米复合多层膜
翟青霞
黄英
李玉青
王艳丽
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
多层纳米硅复合膜的共振光学非线性
郭震宁
郭亨群
王加贤
张文珍
李世忱
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
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