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AFM的纳米硬度测试与分析
被引量：
6
1
作者
史立秋
张顺国
+2 位作者
孙涛
闫永达
董申
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期725-729,共5页
基于原子力显微镜(AFM)和金刚石针尖建立了一套纳米压痕测量系统。通过向系统发送控制电压使金刚石针尖在完成加载和卸载全过程的同时进行实时的数据采集并直接绘出载荷-压深曲线。利用该系统,对单晶铝和单晶铜薄膜材料进行了单点压痕实...
基于原子力显微镜(AFM)和金刚石针尖建立了一套纳米压痕测量系统。通过向系统发送控制电压使金刚石针尖在完成加载和卸载全过程的同时进行实时的数据采集并直接绘出载荷-压深曲线。利用该系统,对单晶铝和单晶铜薄膜材料进行了单点压痕实验,用美国Hysitron公司的纳米原位测量仪(TriboIndenter)做了验证试验。实验结果表明,该系统适合测量较软材料的纳米硬度。分析了基体材料对薄膜硬度和弹性模量的影响,在薄膜厚度低于5-10倍压入深度时,基体对薄膜材料的力学性能影响很大;并根据获得的载荷-压深曲线分析得出由于尺度效应的影响,随着压痕深度的减小,薄膜的硬度值呈明显的上升趋势,弹性模量没有这个趋势。
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关键词
原子力显微镜
纳米
硬度
纳米
压痕
纳米原位测量仪
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职称材料
题名
AFM的纳米硬度测试与分析
被引量：
6
1
作者
史立秋
张顺国
孙涛
闫永达
董申
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期725-729,共5页
基金
基于微探针的纳米加工机理及相关技术资助项目(No.E0306)
文摘
基于原子力显微镜(AFM)和金刚石针尖建立了一套纳米压痕测量系统。通过向系统发送控制电压使金刚石针尖在完成加载和卸载全过程的同时进行实时的数据采集并直接绘出载荷-压深曲线。利用该系统,对单晶铝和单晶铜薄膜材料进行了单点压痕实验,用美国Hysitron公司的纳米原位测量仪(TriboIndenter)做了验证试验。实验结果表明,该系统适合测量较软材料的纳米硬度。分析了基体材料对薄膜硬度和弹性模量的影响,在薄膜厚度低于5-10倍压入深度时,基体对薄膜材料的力学性能影响很大;并根据获得的载荷-压深曲线分析得出由于尺度效应的影响,随着压痕深度的减小,薄膜的硬度值呈明显的上升趋势,弹性模量没有这个趋势。
关键词
原子力显微镜
纳米
硬度
纳米
压痕
纳米原位测量仪
Keywords
atomic force microscope
nanohardness
nanoindentation
TriboIndenter
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
AFM的纳米硬度测试与分析
史立秋
张顺国
孙涛
闫永达
董申
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
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