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纳米位移传感器最小检测信号评述
被引量：
3
1
作者
王佳
路刚
《传感器技术》
CSCD
1998年第1期1-5,共5页
综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度。通过传感方法和传感结构，运用统一的模型进行定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。
关键词
纳米位移传感器
结构
最小检测信号
传感器
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职称材料
HHT算法在压电陶瓷驱动器的微纳米位移传感器中的应用（英文）
被引量：
4
2
作者
胡欢
余永
+2 位作者
王慧
吴倩
葛运建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期456-462,共7页
从传感器中采集到的信号即使经过了模拟滤波,但是其通过数据采集系统后仍然会含有随机噪声。然而,这些随机噪声会限制传感器的分辨率和影响系统的动态范围。针对这一问题,利用HHT算法的经验模态分解对从基于压电陶瓷驱动的微纳米传感器...
从传感器中采集到的信号即使经过了模拟滤波,但是其通过数据采集系统后仍然会含有随机噪声。然而,这些随机噪声会限制传感器的分辨率和影响系统的动态范围。针对这一问题,利用HHT算法的经验模态分解对从基于压电陶瓷驱动的微纳米传感器中采集到的数字信号进行数字滤波,进而对采集到的微弱信号进行进一步处理,以提高微纳米传感器在稳态输出时信号的信噪比从而提高传感器的性能。主要采用两种方法:一种方法是滤掉经过模态分解后信号中的最高频噪声,另一种方法是滤掉经过模态分解后信号中的前两阶噪声。最后对比实验结果证实了此算法的有效性,其能够有效的改善传感器的线性度。
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关键词
纳米位移传感器
压电陶瓷驱动器
希尔伯特-黄变换算法
经验模态分解
信号处理
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职称材料
利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能(英文)
被引量：
5
3
作者
王世华
陈秀玲
徐淦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2284-2292,共9页
纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中,通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度,本文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作,阐述了校正测试系统的布局以及线...
纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中,通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度,本文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作,阐述了校正测试系统的布局以及线位移和角度位移的校正测试原理。通过实验成功地对移动线位移320μm的纳米平台进行了校正,实验数据表明,该平台的偏摆最大角位移为3.5″。另外,对该校正系统进行了测量不确定度分析,在覆盖因子k=2时,它的扩展不确定度为(1.8+1.23×10-2 L)nm,测试长度L的单位是μm,由此显示该系统可有效评价纳米平台的移动性能。
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关键词
电容式
纳米
平台
纳米位移传感器
激光干涉仪
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职称材料
题名
纳米位移传感器最小检测信号评述
被引量：
3
1
作者
王佳
路刚
机构
清华大学精密仪器系
出处
《传感器技术》
CSCD
1998年第1期1-5,共5页
文摘
综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度。通过传感方法和传感结构，运用统一的模型进行定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。
关键词
纳米位移传感器
结构
最小检测信号
传感器
Keywords
Nanometer displacement sensor Sensing means Sensor shellsMinimum detectable signal (MDS)
分类号
TP212.03 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
HHT算法在压电陶瓷驱动器的微纳米位移传感器中的应用（英文）
被引量：
4
2
作者
胡欢
余永
王慧
吴倩
葛运建
机构
中国科学技术大学自动化系
鹿儿岛大学科学与工程学院
中科院合肥智能机械研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期456-462,共7页
基金
CNSF(60635040)
National“863”((2007AA04Z20)
文摘
从传感器中采集到的信号即使经过了模拟滤波,但是其通过数据采集系统后仍然会含有随机噪声。然而,这些随机噪声会限制传感器的分辨率和影响系统的动态范围。针对这一问题,利用HHT算法的经验模态分解对从基于压电陶瓷驱动的微纳米传感器中采集到的数字信号进行数字滤波,进而对采集到的微弱信号进行进一步处理,以提高微纳米传感器在稳态输出时信号的信噪比从而提高传感器的性能。主要采用两种方法:一种方法是滤掉经过模态分解后信号中的最高频噪声,另一种方法是滤掉经过模态分解后信号中的前两阶噪声。最后对比实验结果证实了此算法的有效性,其能够有效的改善传感器的线性度。
关键词
纳米位移传感器
压电陶瓷驱动器
希尔伯特-黄变换算法
经验模态分解
信号处理
Keywords
nanoscale displacement sensor
piezoelectric ceramic actuator
HHT
EMD
signal processing
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能(英文)
被引量：
5
3
作者
王世华
陈秀玲
徐淦
机构
国家计量中心新加坡科技研究局
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2284-2292,共9页
基金
Nanometrology Roadmap Funded by Ministry of Industry and Trade in Singapore
文摘
纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中,通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度,本文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作,阐述了校正测试系统的布局以及线位移和角度位移的校正测试原理。通过实验成功地对移动线位移320μm的纳米平台进行了校正,实验数据表明,该平台的偏摆最大角位移为3.5″。另外,对该校正系统进行了测量不确定度分析,在覆盖因子k=2时,它的扩展不确定度为(1.8+1.23×10-2 L)nm,测试长度L的单位是μm,由此显示该系统可有效评价纳米平台的移动性能。
关键词
电容式
纳米
平台
纳米位移传感器
激光干涉仪
Keywords
capacitive nano-stage
nanosensor
laser interferometer
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米位移传感器最小检测信号评述
王佳
路刚
《传感器技术》
CSCD
1998
3
在线阅读
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职称材料
2
HHT算法在压电陶瓷驱动器的微纳米位移传感器中的应用（英文）
胡欢
余永
王慧
吴倩
葛运建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能(英文)
王世华
陈秀玲
徐淦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
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职称材料
已选择
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