-
题名超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计
被引量：4
- 1
-
-
作者
刘朋
王水弟
杨宝和
陈为红
-
机构
清华大学微电子学研究所
-
出处
《实验技术与管理》
CAS
2003年第6期15-19,共5页
-
文摘
本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.
-
关键词
超大规模集成电路
超纯水制备系统
流程
水质
自动化
-
分类号
TN47
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ085
[化学工程]
-
-
题名矿用反渗透纯水处理系统
- 2
-
-
作者
本刊编辑部
-
出处
《工矿自动化》
北大核心
2017年第12期43-43,共1页
-
文摘
矿用反渗透纯水处理系统是一套建立在矿井井下,为工作面乳化液泵站、液压支架、瓦斯抽放泵站等提供高质量用水的纯水制备系统。该系统采用先进的反渗透膜处理技术,可高效去除水中Ca^（2＋）,Mg^（2＋）,SO_4^（2-）,Cl^-等无机离子,大幅提高水质,解决设备冷却管道结垢、液压支架腐蚀等问题,延长设备使用寿命,降低设备成本。
-
关键词
水处理系统
液压支架
乳化液泵站
给水排水设计
纯水制备系统
反渗透膜
瓦斯抽放
煤炭工业
无机离子
设备成本
-
分类号
TD442.2
[矿业工程—矿山机电]
-
