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中波红外焦平面列阵探测器γ辐照效应 被引量:1
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作者 廖毅 王建新 张勤耀 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期110-113,共4页
报道了γ射线辐照对薄膜材料碲镉汞(Hg1-xCdxTe)制备的中波红外焦平面列阵探测器性能的影响。γ射线辐照的剂量依次为3×106rad、9×106rad、2×107rad.测量了器件在辐照前及各个剂量辐照后的I-V特性、黑体响应、噪声等性... 报道了γ射线辐照对薄膜材料碲镉汞(Hg1-xCdxTe)制备的中波红外焦平面列阵探测器性能的影响。γ射线辐照的剂量依次为3×106rad、9×106rad、2×107rad.测量了器件在辐照前及各个剂量辐照后的I-V特性、黑体响应、噪声等性能参数。通过分析实验数据,发现器件的暗电流,噪声随辐照剂量的增加而增大,黑体响应随辐照剂量的增大而减小。其中I-V特性受辐照影响最大,黑体响应和噪声对辐照不是很敏感。这些表明随着辐照剂量的增加,器件的性能逐步衰退。 展开更多
关键词 光电子学 红外平面探测器 辐照效应 Γ射线辐照 碲镉汞
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InSb红外焦平面列阵探测器局部分层失效机理研究
2
作者 张江风 田笑含 +1 位作者 张晓玲 孟庆端 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期191-197,共7页
批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs... 批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs局部失效分析二维模型。模拟结果得到了实测局部分层分布特征的证实,即:(1)局部分层大多出现在芯片周边区域,涵盖一定宽度;(2)InSb芯片与底充胶之间的界面局部脱开后,逐渐向两侧扩展。为剖析局部分层诱因,系统分析了张开型与滑开型裂纹扩展共同作用下混合模态比取不同值时局部分层分布特征的演化规律,认为当张开型和滑开型裂纹扩展的混合比取4:6时,模拟结果与实测结果高度吻合。至此笔者认为InSb IRFPAs局部分层源于界面法向应力与面内剪切应力的共同作用,属于典型的混合型局部分层模式,其中滑开型局部分层模式占主导。 展开更多
关键词 锑化铟红外焦平面列阵探测器 内聚力模型 局部分层 混合模态比
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多光谱单片红外焦平面列阵探测器
3
作者 《红外》 CAS 2004年第1期47-47,共1页
美国专利US2003/0160172 (2003年8月28日公布) 多光谱红外探测器是高级成像系统区分实际目标和假目标所需的。用多个波长范围同时探测目标发射的红外辐射在这方面具有很大的好处。 本发明提供一种能以单片列阵形式生产许多个多色红外敏... 美国专利US2003/0160172 (2003年8月28日公布) 多光谱红外探测器是高级成像系统区分实际目标和假目标所需的。用多个波长范围同时探测目标发射的红外辐射在这方面具有很大的好处。 本发明提供一种能以单片列阵形式生产许多个多色红外敏感元件的技术。 展开更多
关键词 多光谱 红外焦平面列阵探测器 混成技术 红外辐射
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多光谱单片红外焦平面列阵探测器
4
作者 《红外》 CAS 2004年第2期16-16,共1页
本发明提供一种多色红外传感器件,即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下:在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接... 本发明提供一种多色红外传感器件,即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下:在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接外延生长的读出集成电路; 展开更多
关键词 红外平面 探测器 红外传感器件 分子束外延 碲镉汞材料 集成电路 湿法蚀刻
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一种锑化铟红外焦平面探测器的设计及制作
5
作者 谭启广 李忠贺 +1 位作者 张轶 曹凌霞 《红外》 2025年第1期23-27,共5页
裂片及串音问题限制了锑化铟(InSb)焦平面探测器向更大面阵规模、更小像元间距的发展。报道了采用分立感光像元的InSb焦平面探测器的试验研究结果。制备了阵列规模为320×256、像元间距为30μm的InSb红外探测器,测得其信号响应均值... 裂片及串音问题限制了锑化铟(InSb)焦平面探测器向更大面阵规模、更小像元间距的发展。报道了采用分立感光像元的InSb焦平面探测器的试验研究结果。制备了阵列规模为320×256、像元间距为30μm的InSb红外探测器,测得其信号响应均值为441.112 mV,噪声均值为1.729 mV。此阵列分立,缓解了裂片及串音问题,可靠性高且填充率较高。相较于键合硅片后刻蚀形成分立像元的方式,该方法不存在硅片对入射光信息的吸收损失,且制作工艺简单。 展开更多
关键词 红外平面探测器 INSB 分立
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中长波双波段红外焦平面探测器驱动电路设计
6
作者 张禹 宫宸 +2 位作者 魏洪苗 刘纪洲 李红 《红外》 2025年第3期16-22,共7页
双波段红外焦平面探测器是未来发展趋势之一,在越来越多的场景中得到应用。针对中长波双波段红外焦平面探测器的驱动电路进行设计,提出了包括双模式驱动电路、独立动态范围调整电路、低模拟信号调理电路、双衬底切换电路、电源驱动电路... 双波段红外焦平面探测器是未来发展趋势之一,在越来越多的场景中得到应用。针对中长波双波段红外焦平面探测器的驱动电路进行设计,提出了包括双模式驱动电路、独立动态范围调整电路、低模拟信号调理电路、双衬底切换电路、电源驱动电路和分布式积分的设计方法。该驱动电路能够对红外焦平面探测器敏感元输出的模拟信号进行有效变换,同时给红外焦平面探测器提供所需的偏置电压和驱动时序。本文所设计的中长波双波段红外焦平面探测器驱动电路在中波和长波图像融合后具有良好的成像效果。 展开更多
关键词 双波段 红外平面探测器 驱动电路 分布式积分 图像融合
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国外非制冷红外焦平面阵列探测器进展 被引量:32
7
作者 雷亚贵 王戎瑞 陈苗海 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期801-805,共5页
非制冷红外焦平面阵列探测器是目前发展最为迅速的红外探测器种类之一,并已广泛渗透到军事和民事应用中。本文重点阐述几种国外具有代表性的非制冷红外焦平面探测器的现状及其发展趋势。
关键词 非制冷红外探测器 红外平面 微测辐射热计 微悬臂梁红外探测器
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光伏型红外焦平面探测器NETD的理论计算和测试分析
8
作者 毛京湘 孔金丞 +3 位作者 孔令磊 龚晓丹 黄俊博 马颖婷 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期872-878,共7页
噪声等效温差(NETD)是表征红外焦平面探测器灵敏度的重要参数,除了器件本身的因素以外,与实际应用条件及测试条件密切相关。从红外焦平面探测器NETD的测试方法和流程出发,对光伏型红外焦平面探测器NETD的理论计算公式进行了推导,分析了... 噪声等效温差(NETD)是表征红外焦平面探测器灵敏度的重要参数,除了器件本身的因素以外,与实际应用条件及测试条件密切相关。从红外焦平面探测器NETD的测试方法和流程出发,对光伏型红外焦平面探测器NETD的理论计算公式进行了推导,分析了影响器件NETD的主要因素,对典型红外焦平面探测器在不同积分时间、不同电荷存储量、不同F数及半阱输出条件下的背景限NETD进行了理论计算及分析。在固定背景温度下,通过理论公式可从某一温差的NETD推算出不同温差的NETD,选择典型器件进行验证,从常规NETD测试结果推算出的一组NETD与相应温差下的实测结果符合较好,其中1 K温差的NETD推算结果已非常接近实际情况,可为热像仪系统应用提供参考。 展开更多
关键词 红外平面探测器 噪声等效温差(NETD) 背景温度 积分时间 电荷存储量 半阱输出
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用于检测红外焦平面阵列探测器信号的高速数据采集系统 被引量:3
9
作者 周昊 柳刚 +1 位作者 陈四海 易新建 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第2期171-174,共4页
利用12位A/D转换器AD9220,设计了一种由单片机控制的可用于红外焦平面阵列探测器信号检测的数据采集系统。该系统电路结构简单,而且其数据采集与存储完全靠硬件实现,其数据采样频率只取决于所选用的A/D转换器,而不受单片机速度的影响,... 利用12位A/D转换器AD9220,设计了一种由单片机控制的可用于红外焦平面阵列探测器信号检测的数据采集系统。该系统电路结构简单,而且其数据采集与存储完全靠硬件实现,其数据采样频率只取决于所选用的A/D转换器,而不受单片机速度的影响,因而可实现高速采集。在具体的应用中取得了较为满意的结果。 展开更多
关键词 红外探测器 平面 信号检测 数据采集 AD9220转换器
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室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 被引量:9
10
作者 邵式平 《红外与激光工程》 EI CSCD 1998年第2期33-36,共4页
文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展,混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段,这类焦平面列阵制作的热像仪已于1995年进入商品市场,而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。
关键词 室温 红外探测器 平面 热释电 铁电薄膜
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量子阱红外探测器焦平面阵列的商业化进程 被引量:3
11
作者 李献杰 齐丽芳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期175-183,共9页
从量子阱红外焦平面探测器(QWIP)产品商业化入手,介绍了各国量子阱红外焦平面探测器及相关产品的商用化情况,并讨论了量子阱红外焦平面阵列和相关QWIP产品在武器装备、工业控制、医疗等方面的应用;最后探讨了国内QWiP技术的研发现状和... 从量子阱红外焦平面探测器(QWIP)产品商业化入手,介绍了各国量子阱红外焦平面探测器及相关产品的商用化情况,并讨论了量子阱红外焦平面阵列和相关QWIP产品在武器装备、工业控制、医疗等方面的应用;最后探讨了国内QWiP技术的研发现状和商业化进程. 展开更多
关键词 量子阱红外平面探测器 商用化 热像仪
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红外焦平面探测器阵列规格的发展 被引量:3
12
作者 王忆锋 黄江平 《红外》 CAS 2013年第9期1-8,28,共9页
红外焦平面探测器阵列规格的发展是一个从疏到密、从小到大的过程,受到大面积探测器材料生长和小像元制备等因素的限制。战略焦平面阵列一般用于探测点源目标,而战术焦平面阵列则一般用于探测扩展源目标。从相关的基本概念出发,分析了... 红外焦平面探测器阵列规格的发展是一个从疏到密、从小到大的过程,受到大面积探测器材料生长和小像元制备等因素的限制。战略焦平面阵列一般用于探测点源目标,而战术焦平面阵列则一般用于探测扩展源目标。从相关的基本概念出发,分析了焦平面阵列规格的发展过程,讨论了作用距离与焦平面阵列规格之间的关系。由于电视格式基本固定,在战术焦平面阵列实现全帧格式以后,其规格进一步增加的势头即便不是停止,也必将会趋缓。但是另一方面,因为焦平面阵列的规格越大,其居高临下而一次看到的面积就越广,所以战略焦平面阵列将会继续向超大规格发展。 展开更多
关键词 红外探测器 平面探测器
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新颖的Si_(1-x)Ge_x/Si异质结内光电发射长波红外探测器和焦平面阵列的发展 被引量:1
13
作者 程开富 《光电子技术》 CAS 1992年第1期37-41,共5页
本文主要介绍新颖的Si_(1-x)Ge_x/Si异质结内光电发射长波红外探测器和焦平面阵列的现状、典型结构、性能参数及制备技术.
关键词 红外探测器 平面 异质结
全文增补中
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
14
作者 邓功荣 史衍丽 +1 位作者 余连杰 何雯瑾 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第2期70-74,共5页
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外... 量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外探测器、二维小孔阵列红外探测器(2DHA-QDIP),国外报道了640×512量子点红外焦平面阵列的热成像,但现有的QDIP还未充分显现出其潜在优势。阐述了正在研究的几种QDIP和未来技术发展的趋势。 展开更多
关键词 量子点红外探测器(QDIP) 平面 阱中点QDIP 隧穿QDIP 二维小孔QDIP
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128×128GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列铟柱制备 被引量:4
15
作者 杨孟丽 冯震 《微纳电子技术》 CAS 2006年第11期512-514,共3页
对量子阱红外探测器研制中通常采用的铟膜制备和铟柱生长技术进行了研究。从铟源的选择及蒸发的方法、距离、真空度的控制等方面做了大量实验,优化出了最佳工艺条件。铟源的纯度99.99%,电子束蒸发厚金属膜,旋转行星夹具,蒸发距离39cm,1.... 对量子阱红外探测器研制中通常采用的铟膜制备和铟柱生长技术进行了研究。从铟源的选择及蒸发的方法、距离、真空度的控制等方面做了大量实验,优化出了最佳工艺条件。铟源的纯度99.99%,电子束蒸发厚金属膜,旋转行星夹具,蒸发距离39cm,1.33×10-Pa真空下启动蒸5发程序和关闭高阀,辅以适当的剥离方法,最终在光敏芯片和读出电路上分别制备出符合设计要求的20μm×20μm×7μm(长×宽×高)铟柱。该工艺方法适用于任何厚金属膜的制备。 展开更多
关键词 量子阱红外平面探测器 铟柱 电子束蒸发
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红外焦平面阵列探测器数据采集系统的校准验证方法 被引量:1
16
作者 余永涛 陈勇国 +2 位作者 邹黎明 王小强 罗宏伟 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第10期961-965,共5页
数据采集系统的校准验证是准确测试评价红外焦平面阵列探测器性能指标的技术基础。在分析红外焦平面阵列探测器数据采集系统工作原理特点的基础上,提出了利用通用设备和红外焦平面阵列探测器测试系统对数据采集系统进行校准验证的方法... 数据采集系统的校准验证是准确测试评价红外焦平面阵列探测器性能指标的技术基础。在分析红外焦平面阵列探测器数据采集系统工作原理特点的基础上,提出了利用通用设备和红外焦平面阵列探测器测试系统对数据采集系统进行校准验证的方法。实际测试结果表明该方法有效可行,实现了数据采集系统的采集误差限、线性度、系统噪声、采集速率等关键指标的校准验证。 展开更多
关键词 红外探测器 平面 数据采集系统 校准验证
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渐变滤光片与焦平面探测器列阵的配合特性 被引量:1
17
作者 程实平 张凤山 严义埙 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期416-420,共5页
利用渐变特性对覆盖列阵探测器光敏元区域的渐变滤光片的透射率进行了数值模拟,并对探测某一波段光谱信息的多通道渐变滤光片进行了分析和设计。
关键词 渐变滤光片 平面探测器 透射率 配合 数值模拟 光谱仪器
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冷屏对红外焦平面探测器组件性能的影响
18
作者 甘玉梅 赵农 于小兵 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期924-928,共5页
分析了国内早期中波320×256红外焦平面探测器组件与国外同类产品在装机性能上的差异,采用三种实验方法检测了国内外探测器组件的光电性能,通过对探测器组件光电转换和结构的分析,确定出杂散光在冷屏内部的反射是导致测试结果差异... 分析了国内早期中波320×256红外焦平面探测器组件与国外同类产品在装机性能上的差异,采用三种实验方法检测了国内外探测器组件的光电性能,通过对探测器组件光电转换和结构的分析,确定出杂散光在冷屏内部的反射是导致测试结果差异的原因,冷屏内表面黑化层和结构形式是影响组件实际应用的关键。冷屏结构改进后,有效改善了国内探测器组件的实际应用性能。 展开更多
关键词 冷屏 辐射 红外平面探测器 杂散光
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10μm 1280×1024 HgCdTe中波红外焦平面阵列探测性能提升
19
作者 谭必松 毛剑宏 +9 位作者 陈殊璇 李伟伟 陈世锐 陈天晴 杜宇 彭成盼 熊雄 周永强 余波 王舒 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期36-43,共8页
对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结;采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术,实现高的电学连通率;采用多段温度填胶固化和... 对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结;采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术,实现高的电学连通率;采用多段温度填胶固化和边缘刻蚀工艺减轻HgCdTe器件和读出集成电路(ROICs)之间的热失配,从而降低焦平面器件失效率。在85 K焦平面工作温度下,研制探测器的光谱响应范围为3.67μm至4.88μm,有效像元率高达99.95%,并且探测器组件像元的平均噪声等效温差(NETD)和暗电流密度的平均值分别小于16 mK和2.1×10^(-8)A/cm^(2)。与像元尺寸为15μm的探测器相比,10μm的1280×1024中波红外探测器可获取更加精细的图像,具有更远的识别距离。目前,该技术已成功转移到浙江珏芯微电子有限公司(ZJM)的HgCdTe红外探测器产线。 展开更多
关键词 红外探测器 碲镉汞 1 K×1 K红外平面 n-on-p
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离子束刻蚀制作用于红外焦平面探测器的面阵石英微透镜 被引量:1
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作者 张新宇 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期97-102,共6页
面阵红外焦平面结构由于具有体积小、重量轻、功耗低、噪声小、灵敏度和可靠性高等特点而在军事及民用领域获得了应用,国外已有文献报道填充系数为40%左右的面阵红外焦平面凝视阵列的情况,国内也已制成了填充系数为35%的面阵肖... 面阵红外焦平面结构由于具有体积小、重量轻、功耗低、噪声小、灵敏度和可靠性高等特点而在军事及民用领域获得了应用,国外已有文献报道填充系数为40%左右的面阵红外焦平面凝视阵列的情况,国内也已制成了填充系数为35%的面阵肖特基势垒红外焦平面阵列。红外焦平面阵列的红外响应均匀性及空间分辨率和灵敏度是衡量其性能优劣的几项重要指标。通常情况下,空间分辨率的提高可以采取缩小像素面积,增大阵列规模来实现。 展开更多
关键词 折射微透镜 红外平面 红外探测器 离子束刻蚀
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