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题名激光织构工艺对铜表面红外激光吸收率的影响
被引量：6
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作者
赵莹
冯爱新
杨海华
程好
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机构
温州大学
浙江省激光加工机器人重点实验室
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期57-64,共8页
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基金
温州市激光加工与光电器件科技创新团队项目(R20170612)~~
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文摘
目的高功率红外激光进行铜构件加工时,激光吸收率低是阻碍其工业加工、影响加工质量的重要因素,因此拟通过皮秒激光织构预处理工艺,将铜表面红外激光吸收率从低于10%提高至70%以上。方法从改变铜表面特性着手,利用精密微细加工系统进行凹槽织构处理,通过共聚焦显微镜和扫描电镜对20%～50%激光功率、20～90次扫描次数下的织构特征进行分析,通过反射率检测仪对不同织构下铜表面的红外激光吸收率进行测试。结果相比原始铜板,织构后铜表面红外激光吸收率有了大幅提高,且十字凹槽织构工艺下的吸收率高于同参数下的平行凹槽织构。在30%激光功率、60次扫描次数的工艺下,形成深度44mm、间距50mm、表面粗糙度12.15mm、倾角75°的十字凹槽织构,铜表面红外激光吸收率达86.75%。结论织构深度、表面粗糙度、氧化物是影响吸收率的重要因素,经过"周期性微米级织构-相爆炸喷溅颗粒物-形成黑色CuO层"三个过程,对应"光自陷织构-表面喷溅颗粒物-CuO层"三步吸收,织构工艺能够将铜表面红外激光吸收率提高近9倍。
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关键词
红外激光吸收率
激光织构
T2紫铜
表面状态
精密加工
凹槽
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Keywords
infrared laser absorptivity
laser texture
T2 copper
surface states
precision machining
groove
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分类号
TG166.2
[金属学及工艺—热处理]
TN249
[电子电信—物理电子学]
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