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红外测厚仪及提高其精度的方法 被引量:3
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作者 张鸣华 闵心蓉 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1992年第4期34-40,共7页
本文在讨论利用红外吸收原理的红外测厚仪基本结构的基础上,着重研究了非线性(偏离Beer-Lamben定律)、材质、干涉条纹对测量的影响,给出了提高精度的设计原理和方法.
关键词 红外测厚仪 精度
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IM-C 型红外水份/薄膜厚度测试仪的研制 被引量:2
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作者 林瑞国 刘青 +2 位作者 卢竞宪 郭蓥武 黄桂兰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第10期16-19,23,共5页
本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入。
关键词 红外水份仪 红外测厚仪 数据处理 红外测量
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