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红外测厚仪及提高其精度的方法
被引量:
3
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作者
张鸣华
闵心蓉
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1992年第4期34-40,共7页
本文在讨论利用红外吸收原理的红外测厚仪基本结构的基础上,着重研究了非线性(偏离Beer-Lamben定律)、材质、干涉条纹对测量的影响,给出了提高精度的设计原理和方法.
关键词
红外测厚仪
精度
在线阅读
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职称材料
IM-C 型红外水份/薄膜厚度测试仪的研制
被引量:
2
2
作者
林瑞国
刘青
+2 位作者
卢竞宪
郭蓥武
黄桂兰
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期16-19,23,共5页
本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入。
关键词
红外
水份仪
红外测厚仪
数据处理
红外
测量
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职称材料
题名
红外测厚仪及提高其精度的方法
被引量:
3
1
作者
张鸣华
闵心蓉
机构
浙江工学院电子工程系
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1992年第4期34-40,共7页
文摘
本文在讨论利用红外吸收原理的红外测厚仪基本结构的基础上,着重研究了非线性(偏离Beer-Lamben定律)、材质、干涉条纹对测量的影响,给出了提高精度的设计原理和方法.
关键词
红外测厚仪
精度
分类号
TH821.1 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
IM-C 型红外水份/薄膜厚度测试仪的研制
被引量:
2
2
作者
林瑞国
刘青
卢竞宪
郭蓥武
黄桂兰
机构
广东省测试分析研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期16-19,23,共5页
文摘
本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入。
关键词
红外
水份仪
红外测厚仪
数据处理
红外
测量
Keywords
Infrared Moiature Gauge,Infrared Thickness Gauge,Daul Optical Channels,Multiple Beums,Data Processing.
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
红外测厚仪及提高其精度的方法
张鸣华
闵心蓉
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1992
3
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职称材料
2
IM-C 型红外水份/薄膜厚度测试仪的研制
林瑞国
刘青
卢竞宪
郭蓥武
黄桂兰
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
2
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