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晶格失配对InAs基室温中波红外探测器性能的影响
被引量:
1
1
作者
段永飞
张振宇
+1 位作者
陈泽中
胡淑红
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期402-407,共6页
采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系。分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质...
采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系。分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质量,晶格失配在0.22%左右的InAs基外延材料表面形貌较好,缺陷少,晶体质量较好。在此基础上,成功制备出室温探测率D^(*)为6.8×10^(9)cm·Hz^(1/2)·W^(-1)的InAs基室温中波红外探测器,这一性能与国际上红外探测器领军企业美国Teledyne Judson Technologies和日本滨松株式会社的商用InAs基红外探测器性能处于同等水平。
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关键词
外延薄膜
半导体
材料与
器件
光伏探测器
红外材料与器件
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职称材料
题名
晶格失配对InAs基室温中波红外探测器性能的影响
被引量:
1
1
作者
段永飞
张振宇
陈泽中
胡淑红
机构
上海理工大学材料与化学学院
中国科学院上海技术物理研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期402-407,共6页
文摘
采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系。分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质量,晶格失配在0.22%左右的InAs基外延材料表面形貌较好,缺陷少,晶体质量较好。在此基础上,成功制备出室温探测率D^(*)为6.8×10^(9)cm·Hz^(1/2)·W^(-1)的InAs基室温中波红外探测器,这一性能与国际上红外探测器领军企业美国Teledyne Judson Technologies和日本滨松株式会社的商用InAs基红外探测器性能处于同等水平。
关键词
外延薄膜
半导体
材料与
器件
光伏探测器
红外材料与器件
Keywords
epitaxial thin films
semiconductor materials and devices
photovoltaic detector
infrared materials and devices
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
晶格失配对InAs基室温中波红外探测器性能的影响
段永飞
张振宇
陈泽中
胡淑红
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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