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红外显微热成像系统研究及应用
被引量:
8
1
作者
岳静静
吴之茂
+3 位作者
木二珍
罗宏
姜杰
胡志宇
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017年第11期973-978,共6页
红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成...
红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。
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关键词
红外
热
成像
红外
探测器
红外显微热成像系统
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职称材料
题名
红外显微热成像系统研究及应用
被引量:
8
1
作者
岳静静
吴之茂
木二珍
罗宏
姜杰
胡志宇
机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
上海交通大学纳微能源研究所
上海交通大学微纳电子学系
云南北方驰宏光电有限公司
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017年第11期973-978,共6页
基金
云南省科技厅省院省校科技合作专项(2014IB007)
国家自然科学基金(5177060654)
云南省胡志宇专家工作站(编号:云科合发[2014]5号)
文摘
红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。
关键词
红外
热
成像
红外
探测器
红外显微热成像系统
Keywords
infrared thermal imaging, infrared detector, infrared thermal microscope imaging system
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
红外显微热成像系统研究及应用
岳静静
吴之茂
木二珍
罗宏
姜杰
胡志宇
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017
8
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