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GDP/D-GDP化学结构与力学性能的研究
被引量：
1
1
作者
刘浩
何智兵
+4 位作者
韦建军
贾晓琴
张玲
刘艳松
周强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期223-227,共5页
利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物(GDP)和全氘代辉光放电聚合物(D-GDP)薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征,讨论了GDP/D-GDP薄膜的沉积速率、化学结构和力学性能在...
利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物(GDP)和全氘代辉光放电聚合物(D-GDP)薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征,讨论了GDP/D-GDP薄膜的沉积速率、化学结构和力学性能在ICF物理实验用靶应用中的优缺点。结果表明:GDP/D-GDP薄膜的沉积速率都随反应气体流量比例近线性增加,GDP的沉积速率达到2.6μm,D-GDP的沉积速率达到1μm,GDP的沉积速率远大于D-GDP的沉积速率;D-GDP薄膜内部的交联化程度较弱,D-GDP更有利于靶丸内燃料的红外均化;GDP的力学性能明显优于D-GDP,更有利于ICF物理实验用靶的燃料填充与装配操作。
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关键词
辉光放电聚合物
沉积速率
红外均化
力学性能
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职称材料
题名
GDP/D-GDP化学结构与力学性能的研究
被引量：
1
1
作者
刘浩
何智兵
韦建军
贾晓琴
张玲
刘艳松
周强
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
四川大学原子与分子物理研究所
东方电气集团东方电机有限公司工艺部
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期223-227,共5页
基金
国家自然科学基金青年科学基金项目
文摘
利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物(GDP)和全氘代辉光放电聚合物(D-GDP)薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征,讨论了GDP/D-GDP薄膜的沉积速率、化学结构和力学性能在ICF物理实验用靶应用中的优缺点。结果表明:GDP/D-GDP薄膜的沉积速率都随反应气体流量比例近线性增加,GDP的沉积速率达到2.6μm,D-GDP的沉积速率达到1μm,GDP的沉积速率远大于D-GDP的沉积速率;D-GDP薄膜内部的交联化程度较弱,D-GDP更有利于靶丸内燃料的红外均化;GDP的力学性能明显优于D-GDP,更有利于ICF物理实验用靶的燃料填充与装配操作。
关键词
辉光放电聚合物
沉积速率
红外均化
力学性能
Keywords
glow discharge polymer
deposition rate
IR heating
mechanical properties
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GDP/D-GDP化学结构与力学性能的研究
刘浩
何智兵
韦建军
贾晓琴
张玲
刘艳松
周强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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