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红外热像光学镜组轴偏测量仪 被引量:1
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作者 李燕青 高俊杰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期118-119,158,共3页
原则设计了用于 8— 14μm红外光学镜组的轴偏检测系统 ,系统包括 CO2 激光器、可调焦望远镜、TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理、径向跳动≤ 1μm,轴向晃动≤ 1″的高精密基准轴工作台。测量精度 :角度≤ 2 ″,线度≤ 0 .0... 原则设计了用于 8— 14μm红外光学镜组的轴偏检测系统 ,系统包括 CO2 激光器、可调焦望远镜、TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理、径向跳动≤ 1μm,轴向晃动≤ 1″的高精密基准轴工作台。测量精度 :角度≤ 2 ″,线度≤ 0 .0 2 mm。编制了轴偏数据处理程序。更换光源 (用波长 3.39μm的 He— Ne激光代替 CO2 激光 )系统可用于 3— 展开更多
关键词 红外光学镜组 轴偏 测量仪
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