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紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
1
作者
张子辉
陈建波
+2 位作者
苏荣华
施飞
李玉鹏
《仪表技术与传感器》
2025年第6期42-48,共7页
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误...
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误差源影响因素分析。实验结果表明:单色仪波长重复性优于0.04 nm,波长重复性误差实测值与理论值的相对误差均在16%以下,波长准确度输出误差优于0.1 nm。对单色仪波长扫描驱动结构设计的有效性、单色仪波长重复性分析理论和结构设计理论的准确性实现有效验证。
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关键词
紫外-真空紫外波段
单色仪
正弦摆杆机构
波长输出方程
波长重复性
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职称材料
题名
紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
1
作者
张子辉
陈建波
苏荣华
施飞
李玉鹏
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪表技术与传感器》
2025年第6期42-48,共7页
基金
吉林省科技发展计划重点研发项目(20210203174SF)。
文摘
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误差源影响因素分析。实验结果表明:单色仪波长重复性优于0.04 nm,波长重复性误差实测值与理论值的相对误差均在16%以下,波长准确度输出误差优于0.1 nm。对单色仪波长扫描驱动结构设计的有效性、单色仪波长重复性分析理论和结构设计理论的准确性实现有效验证。
关键词
紫外-真空紫外波段
单色仪
正弦摆杆机构
波长输出方程
波长重复性
Keywords
UV
-
VUV
monochromator
sine drive mechanism
wavelength output equation
wavelength repeatability
分类号
TH744 [机械工程]
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作者
出处
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1
紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
张子辉
陈建波
苏荣华
施飞
李玉鹏
《仪表技术与传感器》
2025
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