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266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究
被引量：
2
1
作者
齐立涛
刘凤聪
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期767-772,共6页
为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理,采用单因素控制变量的方法,进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究,分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理;取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的...
为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理,采用单因素控制变量的方法,进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究,分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理;取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的数据。结果表明,单脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量为0.014mJ时,微孔直径和深度最小,当激光脉冲能量为0.326mJ时,微孔直径和深度最大,孔径和孔深随着激光脉冲能量的增大而增大;多脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量较低时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为0.56μm/pulse,当激光脉冲能量较高时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为1μm/pulse,孔径和孔深随着激光脉冲数量的增加而增大;266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔时的微孔形状规则,大小均匀,微孔周围无残渣、碎屑等抛出物,边缘无热影响区,可推断其材料去除机理主要为“光化学蚀除”。该研究对266nm纳秒固体激光加工CH膜的应用具有一定的参考意义。
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关键词
激光
技术
激光
加工
CH膜
工艺实验
266nm
纳秒
固体
激光
微孔
烧蚀特征
材料去除
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职称材料
气氛对紫外激光非晶合金盲孔加工性的影响研究
2
作者
李元成
毛忠
+3 位作者
王程浩
蔡敏
张伟
张晓兵
《航空制造技术》
2020年第8期61-67,共7页
为了获得不同气氛对紫外激光加工非晶合金盲孔的质量和效率的影响,采用波长355nm的纳秒激光对Zr–Cu非晶合金进行同心圆式旋切法盲孔加工试验,利用光学显微镜、扫描电镜、激光共聚焦显微镜等仪器对盲孔的显微形貌、粗糙度和加工效率进...
为了获得不同气氛对紫外激光加工非晶合金盲孔的质量和效率的影响,采用波长355nm的纳秒激光对Zr–Cu非晶合金进行同心圆式旋切法盲孔加工试验,利用光学显微镜、扫描电镜、激光共聚焦显微镜等仪器对盲孔的显微形貌、粗糙度和加工效率进行了测试。结果表明,气氛的压力和种类影响着盲孔的底面形貌、加工质量和效率。气氛压力越小,盲孔底面粗糙度越低,材料的去除效率越高;相对于氮气、空气中的加工,氧气中表面粗糙度最小,且材料去除率最高。另外,加工表面未出现晶化现象,说明在一定激光参数下紫外纳秒激光可以实现非晶态合金的无晶化加工。
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关键词
紫外
激光
纳秒
激光
盲孔
激光
加工
Zr–Cu非晶合金
表面质量
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职称材料
掩模辅助激光切割PDMS的工艺实验研究
3
作者
齐立涛
刘津先
+1 位作者
马丽丽
李存涛
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期691-697,共7页
为了提高紫外纳秒固体激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工质量,提出了一种掩模辅助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亚胺薄膜作为掩模材料,进行了无掩模及不同厚度掩模下紫外纳秒固体激光切割PDMS实验,分析了PDMS材料表面微裂纹的形成机理...
为了提高紫外纳秒固体激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工质量,提出了一种掩模辅助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亚胺薄膜作为掩模材料,进行了无掩模及不同厚度掩模下紫外纳秒固体激光切割PDMS实验,分析了PDMS材料表面微裂纹的形成机理,获得了激光主要工艺参数对微槽的槽深、槽宽及加工质量的影响规律。结果表明,掩模条件下激光切割PDMS的表面加工质量较好,无微裂纹产生且玻璃态转化较少;槽深和槽宽均随激光脉冲能量、扫描速率的增加而增大;掩模厚度为15μm和50μm、扫描速率为40μm/s和50μm/s、脉冲能量高于0.40 mJ时,微槽表面热影响区较小。本研究为提高紫外纳秒固体激光切割PDMS的加工质量提供了一种方法。
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关键词
激光
技术
紫外纳秒固体激光加工
聚二甲基硅氧烷
工艺实验
聚酰亚胺掩模
加工
质量
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职称材料
题名
266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究
被引量：
2
1
作者
齐立涛
刘凤聪
机构
黑龙江科技大学激光先进制造研究所
黑龙江科技大学机械工程学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期767-772,共6页
基金
黑龙江省自然科学基金资助项目(LH2021E107)
黑龙江省省属高等学校基本科研业务费科研项目(2018-KYYWF-1168)。
文摘
为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理,采用单因素控制变量的方法,进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究,分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理;取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的数据。结果表明,单脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量为0.014mJ时,微孔直径和深度最小,当激光脉冲能量为0.326mJ时,微孔直径和深度最大,孔径和孔深随着激光脉冲能量的增大而增大;多脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量较低时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为0.56μm/pulse,当激光脉冲能量较高时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为1μm/pulse,孔径和孔深随着激光脉冲数量的增加而增大;266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔时的微孔形状规则,大小均匀,微孔周围无残渣、碎屑等抛出物,边缘无热影响区,可推断其材料去除机理主要为“光化学蚀除”。该研究对266nm纳秒固体激光加工CH膜的应用具有一定的参考意义。
关键词
激光
技术
激光
加工
CH膜
工艺实验
266nm
纳秒
固体
激光
微孔
烧蚀特征
材料去除
Keywords
laser technique
laser processing CH film
process test
266nm nanosecond solid-state laser
micro-hole
ablation characteristics
material removal
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
气氛对紫外激光非晶合金盲孔加工性的影响研究
2
作者
李元成
毛忠
王程浩
蔡敏
张伟
张晓兵
机构
中国航空制造技术研究院高能束流加工技术重点实验室
出处
《航空制造技术》
2020年第8期61-67,共7页
基金
广东省重点领域研发计划项目(2018B090906002)。
文摘
为了获得不同气氛对紫外激光加工非晶合金盲孔的质量和效率的影响,采用波长355nm的纳秒激光对Zr–Cu非晶合金进行同心圆式旋切法盲孔加工试验,利用光学显微镜、扫描电镜、激光共聚焦显微镜等仪器对盲孔的显微形貌、粗糙度和加工效率进行了测试。结果表明,气氛的压力和种类影响着盲孔的底面形貌、加工质量和效率。气氛压力越小,盲孔底面粗糙度越低,材料的去除效率越高;相对于氮气、空气中的加工,氧气中表面粗糙度最小,且材料去除率最高。另外,加工表面未出现晶化现象,说明在一定激光参数下紫外纳秒激光可以实现非晶态合金的无晶化加工。
关键词
紫外
激光
纳秒
激光
盲孔
激光
加工
Zr–Cu非晶合金
表面质量
Keywords
Ultraviolet laser
Nanosecond laser
Blind hole
Laser processing
Zr–Cu amorphous alloy
Surface quality
分类号
TG139.8 [一般工业技术—材料科学与工程]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
掩模辅助激光切割PDMS的工艺实验研究
3
作者
齐立涛
刘津先
马丽丽
李存涛
机构
黑龙江科技大学机械工程学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期691-697,共7页
基金
黑龙江省高等学校基本科研业务费科研基金资助项目(2022-KYYWF-0536)。
文摘
为了提高紫外纳秒固体激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工质量,提出了一种掩模辅助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亚胺薄膜作为掩模材料,进行了无掩模及不同厚度掩模下紫外纳秒固体激光切割PDMS实验,分析了PDMS材料表面微裂纹的形成机理,获得了激光主要工艺参数对微槽的槽深、槽宽及加工质量的影响规律。结果表明,掩模条件下激光切割PDMS的表面加工质量较好,无微裂纹产生且玻璃态转化较少;槽深和槽宽均随激光脉冲能量、扫描速率的增加而增大;掩模厚度为15μm和50μm、扫描速率为40μm/s和50μm/s、脉冲能量高于0.40 mJ时,微槽表面热影响区较小。本研究为提高紫外纳秒固体激光切割PDMS的加工质量提供了一种方法。
关键词
激光
技术
紫外纳秒固体激光加工
聚二甲基硅氧烷
工艺实验
聚酰亚胺掩模
加工
质量
Keywords
laser technique
ultraviolet nanosecond solid-state laser processing
polydimethylsiloxane
process experiment
polyimide mask
processing quality
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
TB324 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究
齐立涛
刘凤聪
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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下载PDF
职称材料
2
气氛对紫外激光非晶合金盲孔加工性的影响研究
李元成
毛忠
王程浩
蔡敏
张伟
张晓兵
《航空制造技术》
2020
0
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职称材料
3
掩模辅助激光切割PDMS的工艺实验研究
齐立涛
刘津先
马丽丽
李存涛
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024
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职称材料
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参考文献
引证文献
统计分析
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