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5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器
被引量：
1
1
作者
范灏然
陈曦
+3 位作者
郑磊
谢文侠
季鑫
郑权
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期1318-1323,共6页
为了提高半导体检测用深紫外激光器的检测效率,需要搭建高功率、高重频257 nm深紫外皮秒激光器实验平台。本文以光子晶体光纤放大器和腔外四倍频结构为基础,进行了257 nm深紫外激光器的实验研究。种子源采用中心波长为1030 nm、脉冲宽度...
为了提高半导体检测用深紫外激光器的检测效率,需要搭建高功率、高重频257 nm深紫外皮秒激光器实验平台。本文以光子晶体光纤放大器和腔外四倍频结构为基础,进行了257 nm深紫外激光器的实验研究。种子源采用中心波长为1030 nm、脉冲宽度为50 ps的光纤激光器,输出功率为20 mW,重复频率为19.8 MHz。通过两级掺镱双包层(65μm/275μm)光子晶体光纤棒放大结构,获得了1030 nm高功率基频光。利用二倍频晶体LBO、四倍频晶体BBO,采用腔外倍频方式获得了257 nm深紫外激光。种子源通过两级光子晶体光纤放大器输出的1030 nm基频光,输出功率为86 W,经过激光聚焦系统后,倍频得到二次谐波515 nm激光输出功率为47.5 W,四次谐波257 nm深紫外激光输出功率为5.2 W,四次谐波转换效率为6.05%。实验结果表明,该结构可获得高功率257 nm深紫外激光输出,为提高半导体检测用激光器的检测效率提供了新思路。
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关键词
深
紫外皮秒激光
器
高重频
光子晶体光纤放大器
四次谐波产生
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职称材料
SiCp/Al复合材料厚板皮秒激光制孔重铸层影响研究
被引量：
5
2
作者
刘畅
王晓东
+1 位作者
王锴
李丞
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期379-384,共6页
为了探究激光加工高体积分数碳化硅颗粒增强铝基(SiCp/Al)复合材料厚板的成孔特征,采用激光旋切法对厚度为4mm的SiCp/Al复合材料进行直径为1mm的制孔实验,分析紫外皮秒激光制孔中重铸层及其表面裂纹的形成机理,获得了关键激光加工参数(...
为了探究激光加工高体积分数碳化硅颗粒增强铝基(SiCp/Al)复合材料厚板的成孔特征,采用激光旋切法对厚度为4mm的SiCp/Al复合材料进行直径为1mm的制孔实验,分析紫外皮秒激光制孔中重铸层及其表面裂纹的形成机理,获得了关键激光加工参数(激光功率百分比和扫描速率)对孔重铸层的影响规律。结果表明,SiCp/Al复合材料厚板皮秒激光加工中存在百微米级别的重铸层,重铸层厚度不随激光功率的增加而单调变化,在100%的激光功率下厚度最小,其值为99.5μm;而随激光扫描速率的增加而增加,在100mm/s的扫描速率下厚度最小,其值为71.2μm;厚板紫外皮秒激光加工SiCp/Al复合材料的重铸层呈现“月牙型”的弧状形貌特征,同时重铸层表面显著存在横向和纵向等多种裂纹。该研究为实现SiCp/Al复合材料皮秒激光低损伤微小孔加工提供了一定的理论指导。
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关键词
激光
技术
重铸层厚度
紫外皮秒激光
SICP/AL复合材料
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职称材料
题名
5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器
被引量：
1
1
作者
范灏然
陈曦
郑磊
谢文侠
季鑫
郑权
机构
长春新产业光电技术有限公司
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期1318-1323,共6页
基金
长春市科技发展计划重点研发专项(No.21ZGG15)。
文摘
为了提高半导体检测用深紫外激光器的检测效率,需要搭建高功率、高重频257 nm深紫外皮秒激光器实验平台。本文以光子晶体光纤放大器和腔外四倍频结构为基础,进行了257 nm深紫外激光器的实验研究。种子源采用中心波长为1030 nm、脉冲宽度为50 ps的光纤激光器,输出功率为20 mW,重复频率为19.8 MHz。通过两级掺镱双包层(65μm/275μm)光子晶体光纤棒放大结构,获得了1030 nm高功率基频光。利用二倍频晶体LBO、四倍频晶体BBO,采用腔外倍频方式获得了257 nm深紫外激光。种子源通过两级光子晶体光纤放大器输出的1030 nm基频光,输出功率为86 W,经过激光聚焦系统后,倍频得到二次谐波515 nm激光输出功率为47.5 W,四次谐波257 nm深紫外激光输出功率为5.2 W,四次谐波转换效率为6.05%。实验结果表明,该结构可获得高功率257 nm深紫外激光输出,为提高半导体检测用激光器的检测效率提供了新思路。
关键词
深
紫外皮秒激光
器
高重频
光子晶体光纤放大器
四次谐波产生
Keywords
deep ultraviolet picosecond laser
high repetition frequency
photonic crystal fiber amplifier
fourth harmonic generation
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
SiCp/Al复合材料厚板皮秒激光制孔重铸层影响研究
被引量：
5
2
作者
刘畅
王晓东
王锴
李丞
机构
天津工业大学机械工程学院天津市现代化机电装备技术重点实验室
航天精工股份有限公司
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期379-384,共6页
基金
天津市教委科研计划资助项目(2017KJ081)。
文摘
为了探究激光加工高体积分数碳化硅颗粒增强铝基(SiCp/Al)复合材料厚板的成孔特征,采用激光旋切法对厚度为4mm的SiCp/Al复合材料进行直径为1mm的制孔实验,分析紫外皮秒激光制孔中重铸层及其表面裂纹的形成机理,获得了关键激光加工参数(激光功率百分比和扫描速率)对孔重铸层的影响规律。结果表明,SiCp/Al复合材料厚板皮秒激光加工中存在百微米级别的重铸层,重铸层厚度不随激光功率的增加而单调变化,在100%的激光功率下厚度最小,其值为99.5μm;而随激光扫描速率的增加而增加,在100mm/s的扫描速率下厚度最小,其值为71.2μm;厚板紫外皮秒激光加工SiCp/Al复合材料的重铸层呈现“月牙型”的弧状形貌特征,同时重铸层表面显著存在横向和纵向等多种裂纹。该研究为实现SiCp/Al复合材料皮秒激光低损伤微小孔加工提供了一定的理论指导。
关键词
激光
技术
重铸层厚度
紫外皮秒激光
SICP/AL复合材料
Keywords
laser technique
the thickness of recast layer
ultraviolet picosecond laser
SiCp/Al composites material
分类号
TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器
范灏然
陈曦
郑磊
谢文侠
季鑫
郑权
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
SiCp/Al复合材料厚板皮秒激光制孔重铸层影响研究
刘畅
王晓东
王锴
李丞
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2022
5
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职称材料
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