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GaN基紫外探测器及其研究进展 被引量:45
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作者 李向阳 许金通 +5 位作者 汤英文 李雪 张燕 龚海梅 赵德刚 杨辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期276-280,共5页
宽禁带半导体材料的研究和突破,带动了各种器件的发展和应用。GaN基紫外探测器具有通过调整材料的配比可以调节器件响应的截止波长的优点,可以制备日盲型紫外探测器。对GaN基宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了p... 宽禁带半导体材料的研究和突破,带动了各种器件的发展和应用。GaN基紫外探测器具有通过调整材料的配比可以调节器件响应的截止波长的优点,可以制备日盲型紫外探测器。对GaN基宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了p型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等。最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展及初步获得的32×32紫外焦平面探测器进行了简单介绍。 展开更多
关键词 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件
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Ⅲ族氮化物紫外探测器及其研究进展 被引量:14
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作者 龚海梅 李向阳 +6 位作者 亢勇 许金通 汤英文 李雪 张燕 赵德刚 杨辉 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期812-816,共5页
文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用。然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻... 文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用。然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等方面;最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展作了一些评述。 展开更多
关键词 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件
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