期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
MOCVD系统生长过程的优化精确控制
1
作者
王浩
范广涵
廖长俊
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004年第2期67-71,共5页
通过对TurboDiscMOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.
关键词
MOCVD
系统生长过程
精确控制
金属有机化合物气相淀积
生产工艺
质量流量计
半导体
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
MOCVD系统生长过程的优化精确控制
1
作者
王浩
范广涵
廖长俊
机构
华南师范大学信息光电子学院
出处
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004年第2期67-71,共5页
文摘
通过对TurboDiscMOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.
关键词
MOCVD
系统生长过程
精确控制
金属有机化合物气相淀积
生产工艺
质量流量计
半导体
Keywords
MOCVD
mass flow controller,the Least Squares,precise control
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MOCVD系统生长过程的优化精确控制
王浩
范广涵
廖长俊
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
