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半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述
被引量：
8
1
作者
闵雁
伍乃骐
《工业工程》
北大核心
2012年第2期1-15,共15页
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行...
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难。目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作。本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点。基于这些分析,指出了进一步的研究方向。
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关键词
半导体制造
组合设备
生产调度
系统建模和分析
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职称材料
题名
半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述
被引量：
8
1
作者
闵雁
伍乃骐
机构
广东工业大学机电工程学院
出处
《工业工程》
北大核心
2012年第2期1-15,共15页
基金
国家自然科学基金资助(60974098)
文摘
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难。目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作。本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点。基于这些分析,指出了进一步的研究方向。
关键词
半导体制造
组合设备
生产调度
系统建模和分析
Keywords
semiconductor manufacturing
cluster tools
production scheduling
system modeling andanalysis
分类号
TP278 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述
闵雁
伍乃骐
《工业工程》
北大核心
2012
8
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