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机构
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压电微动平台的精密运动控制
1
作者
于保军
司苏美
+1 位作者
林洁琼
靖贤
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第A02期40-42,46,共4页
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分...
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。
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关键词
迟滞非线性
精密运动控制
不确定性和干扰估计
RBF网络自适应鲁棒滑模
控制
压电纳米微动定位平台
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职称材料
工业CT机床精密运动的网络控制系统应用开发
被引量:
4
2
作者
吴淑琴
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2004年第8期62-64,共3页
文章针对工业CT机床所需要的精密运动控制作了关键技术的分析实现 ,包括信息的网络通讯、开放式运动控制系统的应用开发。研究了针对Kollmorgen精密运动产品的开发应用技术并实现。文中所提出的技术路线及实现方法已经得到实际应用。
关键词
工业CT机床
精密运动控制
网络
控制
系统
网络通讯
机械工程
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职称材料
数据驱动的无模型自适应直线伺服系统精密控制和实现
被引量:
12
3
作者
曹荣敏
周惠兴
侯忠生
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期310-316,共7页
针对现代制造业对高精度机床伺服系统的要求,将数据驱动的无模型自适应控制方法应用到直线伺服系统的位置控制中,控制器设计不包括直线伺服系统结构的任何信息,是直接基于动态线性化模型中伪偏导数的估计和预报,而伪偏导数是根据直线电...
针对现代制造业对高精度机床伺服系统的要求,将数据驱动的无模型自适应控制方法应用到直线伺服系统的位置控制中,控制器设计不包括直线伺服系统结构的任何信息,是直接基于动态线性化模型中伪偏导数的估计和预报,而伪偏导数是根据直线电机电压输入和位置输出在线估计的.永磁同步直线电机运动控制系统的实时实验结果表明,在相同条件下,数据驱动的无模型自适应控制方法的位置跟踪误差比PID减小了0.4mm到2.6mm,比神经网络控制时减小了0.2mm到0.5mm.该方法还提高了对负载扰动的鲁棒性.
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关键词
数据驱动
控制
无模型自适应
控制
精密运动控制
永磁同步直线电机
鲁棒性
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职称材料
鲁棒迭代学习控制及在高精密平台中的应用
被引量:
3
4
作者
姜晓明
王岩
+1 位作者
王程
陈兴林
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2013年第3期601-608,共8页
针对不确定性系统,提出一种非因果的鲁棒迭代学习控制方法。采用反馈控制和迭代学习控制分别设计并统一进行鲁棒性分析的方法,以提高系统的反馈性能和学习性能。首先采用H∞控制方法,保证反馈部分的鲁棒稳定性;其次采用二次型优化迭代...
针对不确定性系统,提出一种非因果的鲁棒迭代学习控制方法。采用反馈控制和迭代学习控制分别设计并统一进行鲁棒性分析的方法,以提高系统的反馈性能和学习性能。首先采用H∞控制方法,保证反馈部分的鲁棒稳定性;其次采用二次型优化迭代学习控制律来提高系统的学习效率;最后结合μ分析理论,对迭代学习控制系统进行鲁棒性验证,并对优化学习律的参数进行修正。该方法吸取了非因果迭代学习律学习性能好的优点,也充分利用μ分析保守性小的特点来提高系统的性能。算例结果验证了方法的有效性。
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关键词
迭代学习
控制
二次型优化
鲁棒性
Μ分析
精密运动控制
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职称材料
精密运动监控软件设计开发
被引量:
3
5
作者
周悦
姚箫箫
+1 位作者
片锦香
孙丽君
《控制工程》
CSCD
北大核心
2014年第6期973-976,981,共5页
针对现有精密运动控制系统监控软件功能缺乏这一问题,设计开发了由系统分析、系统标定、参数配置和数据管理四个子系统构成的精密运动监控软件,实现了精密运动控制阶跃响应性能分析、噪声频谱分析、滤波器设计等功能,实验测试结果表明...
针对现有精密运动控制系统监控软件功能缺乏这一问题,设计开发了由系统分析、系统标定、参数配置和数据管理四个子系统构成的精密运动监控软件,实现了精密运动控制阶跃响应性能分析、噪声频谱分析、滤波器设计等功能,实验测试结果表明用户可以借助本文设计开发的精密运动监控软件进行精密运动控制器的参数设置、根据噪声频谱分析结果指导设计滤波器,从而提高整个运动控制系统的稳定性和有效性。
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关键词
精密运动控制
阶跃响应
频谱分析
滤波器
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职称材料
陈学东 著名超精密机构动力学专家
6
作者
陈学东
依然
《航空制造技术》
2010年第5期30-31,共2页
请介绍一下您的团队近年来承担的课题项目以及取得的成果和进展。陈学东:2001年回国后,我带领研究团队主持了973计划项目课题、863计划项目、国家科技重要研究项目,面向国家重大需求和装备制造业发展的核心技术,嗣绕超精密机构结构...
请介绍一下您的团队近年来承担的课题项目以及取得的成果和进展。陈学东:2001年回国后,我带领研究团队主持了973计划项目课题、863计划项目、国家科技重要研究项目,面向国家重大需求和装备制造业发展的核心技术,嗣绕超精密机构结构动力学建模、振动计算、精密运动控制等开展了系统深入的研究。在精密运动机构结构动力学与振动控制方面取得了一些重要进展,建立了超精密运动机构中气一固支承动力学模型,揭示了气浮支承腔形结构中气旋诱发系统微振动的机理,阐明了复杂机构运动干涉和扰动机理,建立了复杂机构运动位置和作用力变换的数学模型,
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关键词
超
精密
机构动力学
专家
精密运动控制
计划项目
机构结构
运动
机构
扰动机理
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职称材料
全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统开发
7
作者
张从鹏
宋来军
曹文政
《机械设计与制造》
北大核心
2020年第7期270-272,277,共4页
面向医疗显微形态学检验需求,设计了一种通用型全自动涂片显微视觉扫描仪的机械平台及自动检验工艺流程,构建了“计算机+工业相机+嵌入式控制器”的全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统;开发了基于ARM的嵌入式控制器,实现了多轴精密运动...
面向医疗显微形态学检验需求,设计了一种通用型全自动涂片显微视觉扫描仪的机械平台及自动检验工艺流程,构建了“计算机+工业相机+嵌入式控制器”的全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统;开发了基于ARM的嵌入式控制器,实现了多轴精密运动控制、多传感器反馈、二维码扫描、CAN通信等功能;基于高速相机和精密运动系统,开发了高质量图像自动聚焦高效采集算法;设计了控制系统上、下位机应用软件。将该系统用于结核杆菌和外周血涂片自动扫描检验实际应用中,结果表明:全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统运行稳定,图像采集清晰高效,操作简单,可以满足多数医疗镜检项目的使用需求。
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关键词
医疗形态学
显微视觉
嵌入式
控制
器
CAN总线
精密运动控制
自动聚焦
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职称材料
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴的振动抑制
被引量:
2
8
作者
贺云波
何作雄
《机床与液压》
北大核心
2020年第14期1-5,共5页
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴由于机械振动因素的存在,导致伺服系统的带宽难以满足设备中伺服直驱轴高加速度与高精度的使用情况。为了抑制振动、提高伺服系统的带宽,设计一款陷波滤波器并将其应用在晶圆级倒装装备的伺服控制系统中,通...
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴由于机械振动因素的存在,导致伺服系统的带宽难以满足设备中伺服直驱轴高加速度与高精度的使用情况。为了抑制振动、提高伺服系统的带宽,设计一款陷波滤波器并将其应用在晶圆级倒装装备的伺服控制系统中,通过实验,证明经过滤波器处理之后的伺服直驱轴的带宽大大提高,并且其稳态误差在微米量级时其整定时间也能低至毫秒级别。
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关键词
晶圆级倒装装备
伺服直驱轴
振动抑制
陷波滤波器
精密运动控制
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职称材料
农业3D打印 “智”造新未来
9
作者
柴帆
《中国农村科技》
2017年第2期16-19,共4页
在周惠兴的实验室里,两台3D打印机正在运转着,一台刚刚打印出了"福"字的下半部分,一台似乎才开始打印,看不大出打印的是什么物件。打印机上方的架子上摆放着所需要的材料,是凑齐了七种颜色的线条。
关键词
打印机
实验室
精密运动控制
直线电机
打印设备
周惠兴
打印技术
农业
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职称材料
题名
压电微动平台的精密运动控制
1
作者
于保军
司苏美
林洁琼
靖贤
机构
长春工业大学机电工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第A02期40-42,46,共4页
基金
国家基金项目(51375060)
大型科学仪器共享共用-精密车床辅助切削关键技术的研究(20140622008JC)
文摘
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。
关键词
迟滞非线性
精密运动控制
不确定性和干扰估计
RBF网络自适应鲁棒滑模
控制
压电纳米微动定位平台
Keywords
Hysteresis Honlinearity
Precision Motion Control
Uncertainty and Interference Estimation
RBF Netw-ork Adaptive Robust Sliding Mode Control
Piezoelectric Nano-Micro-Motion Positioning Platform
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
工业CT机床精密运动的网络控制系统应用开发
被引量:
4
2
作者
吴淑琴
机构
华北工学院自动控制系
出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2004年第8期62-64,共3页
文摘
文章针对工业CT机床所需要的精密运动控制作了关键技术的分析实现 ,包括信息的网络通讯、开放式运动控制系统的应用开发。研究了针对Kollmorgen精密运动产品的开发应用技术并实现。文中所提出的技术路线及实现方法已经得到实际应用。
关键词
工业CT机床
精密运动控制
网络
控制
系统
网络通讯
机械工程
Keywords
mechanical engineering
CT
precision motion
control
network communication
分类号
TH878 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
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职称材料
题名
数据驱动的无模型自适应直线伺服系统精密控制和实现
被引量:
12
3
作者
曹荣敏
周惠兴
侯忠生
机构
中国农业大学工学院精密工程研究中心
北京信息科技大学自动化学院
北京交通大学先进控制系统研究所
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期310-316,共7页
基金
北京市自然科学基金资助项目(3102013)
国家自然科学基金重点资助项目(60834001)
国家自然科学基金资助项目(51077005)
文摘
针对现代制造业对高精度机床伺服系统的要求,将数据驱动的无模型自适应控制方法应用到直线伺服系统的位置控制中,控制器设计不包括直线伺服系统结构的任何信息,是直接基于动态线性化模型中伪偏导数的估计和预报,而伪偏导数是根据直线电机电压输入和位置输出在线估计的.永磁同步直线电机运动控制系统的实时实验结果表明,在相同条件下,数据驱动的无模型自适应控制方法的位置跟踪误差比PID减小了0.4mm到2.6mm,比神经网络控制时减小了0.2mm到0.5mm.该方法还提高了对负载扰动的鲁棒性.
关键词
数据驱动
控制
无模型自适应
控制
精密运动控制
永磁同步直线电机
鲁棒性
Keywords
data-driven control
model-free adaptive control
precision motion-control
permanent magnet synchronouslinear motor (PMSLM)
robust
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM359.4 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
鲁棒迭代学习控制及在高精密平台中的应用
被引量:
3
4
作者
姜晓明
王岩
王程
陈兴林
机构
哈尔滨工业大学控制科学与工程系
上海机电工程研究所
出处
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2013年第3期601-608,共8页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02207)资助课题
文摘
针对不确定性系统,提出一种非因果的鲁棒迭代学习控制方法。采用反馈控制和迭代学习控制分别设计并统一进行鲁棒性分析的方法,以提高系统的反馈性能和学习性能。首先采用H∞控制方法,保证反馈部分的鲁棒稳定性;其次采用二次型优化迭代学习控制律来提高系统的学习效率;最后结合μ分析理论,对迭代学习控制系统进行鲁棒性验证,并对优化学习律的参数进行修正。该方法吸取了非因果迭代学习律学习性能好的优点,也充分利用μ分析保守性小的特点来提高系统的性能。算例结果验证了方法的有效性。
关键词
迭代学习
控制
二次型优化
鲁棒性
Μ分析
精密运动控制
Keywords
iterative learning control
quadratic optimization
robustness
μ-analysis
precision motion control
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
精密运动监控软件设计开发
被引量:
3
5
作者
周悦
姚箫箫
片锦香
孙丽君
机构
上海海洋大学工程学院
沈阳建筑大学信息与控制工程学院
烟台职业学院电气工程系
出处
《控制工程》
CSCD
北大核心
2014年第6期973-976,981,共5页
基金
国家"十二五"科技支撑计划课题(2011BAK15B09)
文摘
针对现有精密运动控制系统监控软件功能缺乏这一问题,设计开发了由系统分析、系统标定、参数配置和数据管理四个子系统构成的精密运动监控软件,实现了精密运动控制阶跃响应性能分析、噪声频谱分析、滤波器设计等功能,实验测试结果表明用户可以借助本文设计开发的精密运动监控软件进行精密运动控制器的参数设置、根据噪声频谱分析结果指导设计滤波器,从而提高整个运动控制系统的稳定性和有效性。
关键词
精密运动控制
阶跃响应
频谱分析
滤波器
Keywords
precision motion control
step response
spectrum analysis
filter
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
陈学东 著名超精密机构动力学专家
6
作者
陈学东
依然
机构
华中科技大学
出处
《航空制造技术》
2010年第5期30-31,共2页
文摘
请介绍一下您的团队近年来承担的课题项目以及取得的成果和进展。陈学东:2001年回国后,我带领研究团队主持了973计划项目课题、863计划项目、国家科技重要研究项目,面向国家重大需求和装备制造业发展的核心技术,嗣绕超精密机构结构动力学建模、振动计算、精密运动控制等开展了系统深入的研究。在精密运动机构结构动力学与振动控制方面取得了一些重要进展,建立了超精密运动机构中气一固支承动力学模型,揭示了气浮支承腔形结构中气旋诱发系统微振动的机理,阐明了复杂机构运动干涉和扰动机理,建立了复杂机构运动位置和作用力变换的数学模型,
关键词
超
精密
机构动力学
专家
精密运动控制
计划项目
机构结构
运动
机构
扰动机理
分类号
K826.1 [历史地理—历史学]
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职称材料
题名
全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统开发
7
作者
张从鹏
宋来军
曹文政
机构
北方工业大学机械与材料工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2020年第7期270-272,277,共4页
基金
校内人才专项“医疗形态学智能机器人”(107051360018XN012/053)。
文摘
面向医疗显微形态学检验需求,设计了一种通用型全自动涂片显微视觉扫描仪的机械平台及自动检验工艺流程,构建了“计算机+工业相机+嵌入式控制器”的全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统;开发了基于ARM的嵌入式控制器,实现了多轴精密运动控制、多传感器反馈、二维码扫描、CAN通信等功能;基于高速相机和精密运动系统,开发了高质量图像自动聚焦高效采集算法;设计了控制系统上、下位机应用软件。将该系统用于结核杆菌和外周血涂片自动扫描检验实际应用中,结果表明:全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统运行稳定,图像采集清晰高效,操作简单,可以满足多数医疗镜检项目的使用需求。
关键词
医疗形态学
显微视觉
嵌入式
控制
器
CAN总线
精密运动控制
自动聚焦
Keywords
Medical Morphology
Micro-vision
Embedded Controller
CAN Bus
Precision Motion Control
Auto-focusing
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴的振动抑制
被引量:
2
8
作者
贺云波
何作雄
机构
广东工业大学机电工程学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2020年第14期1-5,共5页
基金
国家自然科学基金面上项目(51675106)
国家自然科学基金联合基金项目(U1601202)
+2 种基金
广东省自然科学基金(2016A030308016,2015A030312008)
广东省R&D重点项目(2015B010133005,2015B010104006,2015B0101040088,17ZK0091)
广东省重大研发专项(2018B090906002)。
文摘
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴由于机械振动因素的存在,导致伺服系统的带宽难以满足设备中伺服直驱轴高加速度与高精度的使用情况。为了抑制振动、提高伺服系统的带宽,设计一款陷波滤波器并将其应用在晶圆级倒装装备的伺服控制系统中,通过实验,证明经过滤波器处理之后的伺服直驱轴的带宽大大提高,并且其稳态误差在微米量级时其整定时间也能低至毫秒级别。
关键词
晶圆级倒装装备
伺服直驱轴
振动抑制
陷波滤波器
精密运动控制
Keywords
Wafer-level flip-chip equipment
Servo direct-drive shaft
Vibration suppression
Notch filter
Precision motion control
分类号
TN820.3 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
农业3D打印 “智”造新未来
9
作者
柴帆
出处
《中国农村科技》
2017年第2期16-19,共4页
文摘
在周惠兴的实验室里,两台3D打印机正在运转着,一台刚刚打印出了"福"字的下半部分,一台似乎才开始打印,看不大出打印的是什么物件。打印机上方的架子上摆放着所需要的材料,是凑齐了七种颜色的线条。
关键词
打印机
实验室
精密运动控制
直线电机
打印设备
周惠兴
打印技术
农业
分类号
TP391.73 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电微动平台的精密运动控制
于保军
司苏美
林洁琼
靖贤
《机械设计与制造》
北大核心
2018
0
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职称材料
2
工业CT机床精密运动的网络控制系统应用开发
吴淑琴
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2004
4
在线阅读
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职称材料
3
数据驱动的无模型自适应直线伺服系统精密控制和实现
曹荣敏
周惠兴
侯忠生
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
12
在线阅读
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职称材料
4
鲁棒迭代学习控制及在高精密平台中的应用
姜晓明
王岩
王程
陈兴林
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2013
3
在线阅读
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职称材料
5
精密运动监控软件设计开发
周悦
姚箫箫
片锦香
孙丽君
《控制工程》
CSCD
北大核心
2014
3
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职称材料
6
陈学东 著名超精密机构动力学专家
陈学东
依然
《航空制造技术》
2010
0
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职称材料
7
全自动涂片显微视觉扫描仪控制系统开发
张从鹏
宋来军
曹文政
《机械设计与制造》
北大核心
2020
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
8
晶圆级倒装装备中伺服直驱轴的振动抑制
贺云波
何作雄
《机床与液压》
北大核心
2020
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
9
农业3D打印 “智”造新未来
柴帆
《中国农村科技》
2017
0
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职称材料
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