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一种用于IC测试的精密测量单元电路设计
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作者 夏进 刘士兴 +2 位作者 李航 李帮金 梁华国 《电子测量技术》 北大核心 2024年第11期13-19,共7页
随着集成电路产业的快速发展,对集成电路测试要求越来越高,精密测量单元是集成电路直流参数测试的核心单元。本文设计了一种用于集成电路测试的PMU电路,该电路使用现场可编程门阵列控制DAC模块施加电压激励,激励信号经PI调节器和功率放... 随着集成电路产业的快速发展,对集成电路测试要求越来越高,精密测量单元是集成电路直流参数测试的核心单元。本文设计了一种用于集成电路测试的PMU电路,该电路使用现场可编程门阵列控制DAC模块施加电压激励,激励信号经PI调节器和功率放大器后,通过电阻匹配网络施加到被测器件,ADC采集测试响应数据,实现加压测流、加流测压等参数测试功能。所设计的PMU电路具有测试范围宽、测量精度高的优点,施加/测量电压范围-10~+15 V、最大电流±1.838 A。对不同测试模式下的系统性能进行了校准并采用高精度电阻负载进行功能验证,实验结果表明,系统校准后的测试误差优于0.05%,能够满足通用集成电路直流参数测试的要求。 展开更多
关键词 集成电路测试 直流参数测试 精密测量单元 现场可编程阵列
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一种高精度直流参数测试系统的设计与实现 被引量:5
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作者 张为 王佳琪 童炜 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CSCD 北大核心 2020年第12期1288-1294,共7页
随着集成电路产业的快速发展,芯片的集成度越来越高,芯片测试成本占整个生产成本的比例越来越大.高精度、低成本的直流参数自动测试系统已然成为现今集成电路测试的必然要求.为满足我国当代集成电路产业发展的需要,快速且有效地检验芯... 随着集成电路产业的快速发展,芯片的集成度越来越高,芯片测试成本占整个生产成本的比例越来越大.高精度、低成本的直流参数自动测试系统已然成为现今集成电路测试的必然要求.为满足我国当代集成电路产业发展的需要,快速且有效地检验芯片性能,对集成电路直流参数测试原理和测试技术展开研究.提出了一种基于现场可编程门阵列的集成电路直流参数的测试方法,在模块化的设计原则基础上,以低成本高精度为方向,搭建了测试系统的软硬件框架结构.设计了具有宽测试范围、高测量精度的精密测量电路,具有16个独立可编程电压输出通道和一路测量电路,可以施加并测量最大±30 V的电压和最大±500 mA的电流.系统采用现场可编程门阵列作为控制中心,通过硬件语言Verilog HDL编程实施对系统的逻辑控制,进一步降低成本并提高系统的可移植性;通过线性拟合得出每一条测试回路的校准系数,改变DAC实际偏移量,使得施加在被测器件上的激励值接近理想值来提高系统测试精度.实验采用高精度电阻作为负载对不同测量模式下的系统性能进行了验证并计算出测试精度,测试结果显示:基于现场可编程门阵列的直流参数测试系统取得了较高的测试精度和较广的测试范围,经校准后的测试系统相对误差都在±0.03%之内,能够满足三维闪存芯片直流参数测试的需要,并且具有一定的通用性. 展开更多
关键词 集成电路测试 直流参数测试 精密测量单元 系统误差校准 现场可编程门阵列
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