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激光诱导精密沉积铜箔实验
被引量：
5
1
作者
黄志刚
李洪辉
+1 位作者
印四华
郭钟宁
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第22期2990-2994,共5页
通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了...
通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了激光诱导向前转移的机理。研究结果表明,在石英玻璃基片上沉积的铜箔直径最小可达10μm,远小于激光光斑直径;在约束层上也沉积有铜箔,即同时出现了激光诱导向后转移的现象;光脉冲能量增大,石英玻璃上沉积的铜箔逐渐分散,尺寸逐渐增大,而且呈环形分布;通过调节靶材离焦点距离,可以使环形消失,并使沉积尺寸降到激光光斑尺寸以下。最后成功实现了微细阵列的激光诱导沉积。
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关键词
激光诱导向前转移
脉冲能量
精密沉积
微细阵列
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职称材料
Cr和Zn晶核对Cu/Ni复合体精密电沉积脱模的影响
2
作者
陈菊
杨光
+1 位作者
胡正晨
田振岐
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期26-34,共9页
在模具表面喷涂K_(2)Cr_(2)O_(7)是辅助电铸脱模的有效手段之一,然而六价Cr具有较强的致癌性。为了替代六价Cr钝化层,本文采用电沉积方法制备Cr晶核和Zn晶核,形成低毒三价Cr氧化物和无毒二价Zn钝化物防粘层替代六价Cr钝化层。利用计时...
在模具表面喷涂K_(2)Cr_(2)O_(7)是辅助电铸脱模的有效手段之一,然而六价Cr具有较强的致癌性。为了替代六价Cr钝化层,本文采用电沉积方法制备Cr晶核和Zn晶核,形成低毒三价Cr氧化物和无毒二价Zn钝化物防粘层替代六价Cr钝化层。利用计时电流法测试了沉积Cr和Zn晶核的电流-时间曲线,分析了三价Cr和二价Zn晶核在多晶Cu表面的形核特性;对Cu-Cr和Cu-Zn表面进行了SEM、EDS以及XPS测试,研究了电沉积三价Cr和二价Zn晶核后的表面形貌、表面元素组成及含量;对Cu、Cu-Cr和Cu-Zn表面进行了接触角测试,基于表面能理论计算了含三价Cr和二价Zn晶核多晶Cu的表面能。研究表明:三价Cr和二价Zn在Cu电极上的形核符合瞬态成核特性;三价Cr晶核在Cu表面上的分布比二价Zn晶核均匀且形状较为规整;三价Cr和二价Zn晶核在Cu表面均形成氧化物,Cr_(2)O_(3)的含量明显高于ZnO含量;多晶Cu、Cu-Cr和Cu-Zn的表面能大小依次为:多晶Cu>Cu-Zn>Cu-Cr,三价Cr和二价Zn氧化物辅助脱模后的Cu、Ni表面粗糙度相差57.14%和64.52%。因此,三价Cr氧化物可以更好地辅助Cu/Ni复合体顺利脱模。
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关键词
精密
电
沉积
表面能
表面钝化
脱模
表面粗糙度
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职称材料
题名
激光诱导精密沉积铜箔实验
被引量：
5
1
作者
黄志刚
李洪辉
印四华
郭钟宁
机构
广东工业大学特种能场加工实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第22期2990-2994,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11172072
51175091)
文摘
通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了激光诱导向前转移的机理。研究结果表明,在石英玻璃基片上沉积的铜箔直径最小可达10μm,远小于激光光斑直径;在约束层上也沉积有铜箔,即同时出现了激光诱导向后转移的现象;光脉冲能量增大,石英玻璃上沉积的铜箔逐渐分散,尺寸逐渐增大,而且呈环形分布;通过调节靶材离焦点距离,可以使环形消失,并使沉积尺寸降到激光光斑尺寸以下。最后成功实现了微细阵列的激光诱导沉积。
关键词
激光诱导向前转移
脉冲能量
精密沉积
微细阵列
Keywords
laser induced forward transfer（LIFT）
pulse energy
precise deposition
micro-array
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Cr和Zn晶核对Cu/Ni复合体精密电沉积脱模的影响
2
作者
陈菊
杨光
胡正晨
田振岐
机构
集美大学海洋装备与机械工程学院
出处
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期26-34,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(52175407).
文摘
在模具表面喷涂K_(2)Cr_(2)O_(7)是辅助电铸脱模的有效手段之一,然而六价Cr具有较强的致癌性。为了替代六价Cr钝化层,本文采用电沉积方法制备Cr晶核和Zn晶核,形成低毒三价Cr氧化物和无毒二价Zn钝化物防粘层替代六价Cr钝化层。利用计时电流法测试了沉积Cr和Zn晶核的电流-时间曲线,分析了三价Cr和二价Zn晶核在多晶Cu表面的形核特性;对Cu-Cr和Cu-Zn表面进行了SEM、EDS以及XPS测试,研究了电沉积三价Cr和二价Zn晶核后的表面形貌、表面元素组成及含量;对Cu、Cu-Cr和Cu-Zn表面进行了接触角测试,基于表面能理论计算了含三价Cr和二价Zn晶核多晶Cu的表面能。研究表明:三价Cr和二价Zn在Cu电极上的形核符合瞬态成核特性;三价Cr晶核在Cu表面上的分布比二价Zn晶核均匀且形状较为规整;三价Cr和二价Zn晶核在Cu表面均形成氧化物,Cr_(2)O_(3)的含量明显高于ZnO含量;多晶Cu、Cu-Cr和Cu-Zn的表面能大小依次为:多晶Cu>Cu-Zn>Cu-Cr,三价Cr和二价Zn氧化物辅助脱模后的Cu、Ni表面粗糙度相差57.14%和64.52%。因此,三价Cr氧化物可以更好地辅助Cu/Ni复合体顺利脱模。
关键词
精密
电
沉积
表面能
表面钝化
脱模
表面粗糙度
Keywords
precision electroforming
surface energy
surface passivation
demolding
surface roughness
分类号
TG113 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光诱导精密沉积铜箔实验
黄志刚
李洪辉
印四华
郭钟宁
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
Cr和Zn晶核对Cu/Ni复合体精密电沉积脱模的影响
陈菊
杨光
胡正晨
田振岐
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
已选择
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