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冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制被引量：5: 1; 作者严乐卢秉恒 +2 位作者丁玉成刘红忠李寒松《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期75-78,共4页; 冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术。为了获得高分辨率压印图形 ,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台。精密定位工作台是压印光刻机的关键部件 ,它既能够保证模板 -抗蚀剂 -硅片结构间的接触均匀一致 ,并实现模板与... 展开更多; 关键词压印光刻精密定位工作台柔性结构精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

三维精密定位工作台的控制系统的研究被引量：5: 2; 作者孟兆新胡乃文《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第2期148-150,共3页; 对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行了研究,并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位,系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的PID自适应控制算法,达到了满意的定位精度。; 关键词机床精密加工三维精密定位工作台控制系统控制原理; 在线阅读下载PDF 职称材料

三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化被引量：2: 3; 作者贾晓辉张大卫田延岭《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期624-630,共7页; 针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析... 展开更多; 关键词机械学纳米压印光刻技术精密定位工作台工作空间分析优化设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

提高精密工作台定位精度的温度补偿研究被引量：2: 4; 作者姜克壮程维明欧阳航空《机械设计与制造》北大核心 2010年第3期112-114,共3页; 精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进... 展开更多; 关键词精密定位工作台温度误差补偿定位精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究被引量：4: 5; 作者张大卫田延岭 +1 位作者王杏华高咏生《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期506-510,共5页; 研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台 ,其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度 ,结构简单 ,动态响应速度快 ,分辨率高 .为防止PZT作动器受到过大弯力作用和动平台弯曲变形 ,在动平台与PZT作动器间加入弹性缓冲环... 展开更多; 关键词超精密磨削 PZT作运器精密定位工作台动态物性结构设计静态特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用补偿提高精密定位平台的定位精度被引量：13: 6; 作者程维明孙麟治章海涛《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期884-888,共5页; 运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论... 展开更多; 关键词精密定位工作台系统误差反相补偿法; 在线阅读下载PDF 职称材料

其他: 7; 《中国光学》 EI CAS 2002年第5期107-107,共1页; TH15 2002053977具有纳米级分辨率的超精密定位工作台=Super-precisionpositioning stage with nanometer resolution[刊,中]/林德教,吴健,殷纯永(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术... 展开更多; 关键词精密定位工作台纳米级分辨率测量技术精密仪器国家重点实验室机械学清华大学光学技术德教北京; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制被引量：5: 1; 作者严乐卢秉恒丁玉成刘红忠李寒松; 机构西安交通大学先进制造技术研究所; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期75-78,共4页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA420050 ) 国家自然科学基金资助项目 (50275118); 文摘冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术。为了获得高分辨率压印图形 ,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台。精密定位工作台是压印光刻机的关键部件 ,它既能够保证模板 -抗蚀剂 -硅片结构间的接触均匀一致 ,并实现模板与承片台间的三个运动自由度 ,即沿 z轴的直线运动和绕 x、y轴的旋转运动 (α和β) ,又可以实现步进对准所需要的沿x、y轴的直线运动和绕 z轴的旋转运动 ( θ)。设计中采用了柔性机械结构 ,消除了使用铰链连接所引起的间隙与摩擦等问题。压印实验结果显示定位系统在 2 0 0 mm的行程中 ,精密定位工作台定位精度达到 8nm以内。实现了压印光刻工艺在集成电路制造中的高精度定位要求。; 关键词压印光刻精密定位工作台柔性结构精度; Keywords imprint lithography high-precision orientation stage flexure mechanism precision; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三维精密定位工作台的控制系统的研究被引量：5: 2; 作者孟兆新胡乃文; 机构哈尔滨理工大学机械动力工程学院; 出处《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第2期148-150,共3页; 文摘对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行了研究,并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位,系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的PID自适应控制算法,达到了满意的定位精度。; 关键词机床精密加工三维精密定位工作台控制系统控制原理; Keywords precision positioning stage control system; 分类号 TG502.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化被引量：2: 3; 作者贾晓辉张大卫田延岭; 机构天津大学机械工程学院; 出处《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期624-630,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(50705064) 天津市自然科学基金资助项目(08JCYBJC01400); 文摘针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析了该类工作台的逆运动学特性;根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间。另外,为了达到以预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积,对工作台结构参数进行优化,并通过数值仿真验证其有效性。; 关键词机械学纳米压印光刻技术精密定位工作台工作空间分析优化设计; Keywords mechanics nanoimprint lithograph precision positioning stage workspace analysis optimize design; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名提高精密工作台定位精度的温度补偿研究被引量：2: 4; 作者姜克壮程维明欧阳航空; 机构上海大学机电工程与自动化学院精密仪器及机械系; 出处《机械设计与制造》北大核心 2010年第3期112-114,共3页; 基金国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450) 教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102) 上海市重点学科建设资助项目(BB67); 文摘精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。; 关键词精密定位工作台温度误差补偿定位精度; Keywords Error compensation Temperature Precision positioning; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究被引量：4: 5; 作者张大卫田延岭王杏华高咏生; 机构天津大学机械工程学院香港科技大学机械工程系; 出处《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期506-510,共5页; 文摘研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台 ,其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度 ,结构简单 ,动态响应速度快 ,分辨率高 .为防止PZT作动器受到过大弯力作用和动平台弯曲变形 ,在动平台与PZT作动器间加入弹性缓冲环节和辅助弹性隔离板 .另外 ,对工作台输入输出特性、静动态刚度和模态振型、以及受外力作用时产生的静态位移误差进行了试验研究 .试验数据表明 ,该工作台可作为精密磨床的辅助工作台。; 关键词超精密磨削 PZT作运器精密定位工作台动态物性结构设计静态特性; Keywords piezoelectric translator precision positioning work table dynamic character; 分类号 TG584 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用补偿提高精密定位平台的定位精度被引量：13: 6; 作者程维明孙麟治章海涛; 机构上海工程技术大学机械工程学院上海大学机电工程与自动化学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期884-888,共5页; 基金国家“863”高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA404450) 教育部高等学校重点学科建设资助项目(No.Y0102) 上海市重点学科建设资助项目(No.BB67); 文摘运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳。; 关键词精密定位工作台系统误差反相补偿法; Keywords precise positioning stage system error reverse compensation; 分类号 TH703.6 [机械工程—精密仪器及机械] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名其他: 7; 出处《中国光学》 EI CAS 2002年第5期107-107,共1页; 文摘 TH15 2002053977具有纳米级分辨率的超精密定位工作台=Super-precisionpositioning stage with nanometer resolution[刊,中]/林德教,吴健,殷纯永(清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术.—2001,27(6).—556-557。; 关键词精密定位工作台纳米级分辨率测量技术精密仪器国家重点实验室机械学清华大学光学技术德教北京; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制	严乐卢秉恒丁玉成刘红忠李寒松	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	三维精密定位工作台的控制系统的研究	孟兆新胡乃文	《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化	贾晓辉张大卫田延岭	《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	提高精密工作台定位精度的温度补偿研究	姜克壮程维明欧阳航空	《机械设计与制造》北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究	张大卫田延岭王杏华高咏生	《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	利用补偿提高精密定位平台的定位精度	程维明孙麟治章海涛	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	13	在线阅读下载PDF 职称材料
7	其他		《中国光学》 EI CAS	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料