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利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径
被引量：
3
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作者
杨飒
《河北省科学院学报》
CAS
2009年第3期13-15,共3页
用CCD摄像头与图像数据采集系统进行尺寸测量是CCD应用最广泛的领域。本文将通过探究He-Ne激光器对待测物件的衍射形成光斑的原理出发,研究CCD对光斑的接受和处理,最终识别需要的衍射条纹,从而测得精密仪器中的缝宽和精密的圆孔直径。
关键词
CCD
激光衍射
精密
缝宽
精密圆孔直径
在线阅读
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职称材料
题名
利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径
被引量：
3
1
作者
杨飒
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《河北省科学院学报》
CAS
2009年第3期13-15,共3页
文摘
用CCD摄像头与图像数据采集系统进行尺寸测量是CCD应用最广泛的领域。本文将通过探究He-Ne激光器对待测物件的衍射形成光斑的原理出发,研究CCD对光斑的接受和处理,最终识别需要的衍射条纹,从而测得精密仪器中的缝宽和精密的圆孔直径。
关键词
CCD
激光衍射
精密
缝宽
精密圆孔直径
Keywords
CCD
Laser diffraction
Precision measurement
分类号
G424.31 [文化科学—课程与教学论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径
杨飒
《河北省科学院学报》
CAS
2009
3
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