硅片精密切割多线锯研究进展 被引量：24

1

作者 张凤林 袁慧 +1 位作者 周玉梅 王成勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期14-18,共5页

随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯... 随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯切割进行介绍,对游离磨料多线锯的切割机理、浆料特性、切割工艺和固着磨料多线锯锯丝制造方法、切割工艺等方面的研究现状进行了综述。 展开更多

关键词 硅片 精密切割 游离磨料多线锯 固着磨料多线锯

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石英玻璃薄板激光精密切割技术 被引量：12

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作者 袁明权 凌宏芝 彭勃 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期406-408,共3页

为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm^20μm范围... 为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm^20μm范围内。对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于3μm。这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的。 展开更多

关键词 激光技术 激光精密切割 石英玻璃薄板 光学吸收率

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数控火焰精密切割超大模数齿轮齿条技术的研究现状 被引量：3

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作者 乔雪涛 路明 《机床与液压》 北大核心 2009年第2期185-188,共4页

介绍了超大模数齿轮齿条的特点及应用,分析了影响火焰切割质量的主要因素。着重阐述了国内外数控火焰精密切割超大模数齿轮齿条技术的研究现状及其亟待解决的问题,根据我国在该领域的现有技术状况,提出采用实验研究、理论分析和有限元... 介绍了超大模数齿轮齿条的特点及应用,分析了影响火焰切割质量的主要因素。着重阐述了国内外数控火焰精密切割超大模数齿轮齿条技术的研究现状及其亟待解决的问题,根据我国在该领域的现有技术状况,提出采用实验研究、理论分析和有限元模拟等相结合的方法,并借助先进的测试手段获取相关基础数据,为实现数控火焰精密切割超大模数齿轮齿条及其它零件提供可靠依据。 展开更多

关键词 超大模数 齿轮齿条 火焰精密切割

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硬脆材料的精密切割与发展趋势(下)

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作者 康善存 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1997年第6期11-13,共3页

关键词 硬脆材料 精密切割 硬脆材料切割机

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刀具振动对精密切割碳纤维增强树脂复合材料的影响 被引量：6

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作者 胡锦涛 苑泽伟 庄朋 《机械设计》 CSCD 北大核心 2019年第A01期89-93,共5页

碳纤维增强树脂复合材料(CFRP)因其材料的高比强度、各向异性、层合性等特点,加工时容易产生分层、毛刺、撕裂等缺陷。采用金刚石磨料切割片高速切割可以获得良好的CFRP加工质量,但受刀具的振动影响明显。文中通过对刀具和主轴的有限元... 碳纤维增强树脂复合材料(CFRP)因其材料的高比强度、各向异性、层合性等特点,加工时容易产生分层、毛刺、撕裂等缺陷。采用金刚石磨料切割片高速切割可以获得良好的CFRP加工质量,但受刀具的振动影响明显。文中通过对刀具和主轴的有限元分析,研究刀具和主轴振动对精密切割CFRP切割形貌的影响规律,并通过测量主轴振动进行验证。理论分析和试验验证表明,切削力对主轴的自身固有振动激励作用较小。对碳纤维的间断性切削是主轴新增振动的主要来源。碳纤维复合材料自身存在的缺陷如微孔、微裂纹等在切割过程中由于刀具的振动而进一步增大,主轴振动是高速微切削碳纤维复合材料损伤的主要原因。 展开更多

关键词 碳纤维增强树脂复合材料 精密切割 金属基切割片 振动 加工缺陷

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福建物构所“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”专题通过验收

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《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期486-486,共1页

2月18日，中国科学院福建物质结构研究所研究员林文雄承担的省科技重大专项专题“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”通过福建省科技厅组织的专题验收。

关键词 激光精密切割 专用设备 全固态 福建省 专题 研发 紫外 福建物质结构研究所

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切割技术的发展 被引量：2

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作者 Stephen Day 林益平 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1991年第11期70-72,共3页

最重要的精密切割是光蚀刻和激光切割。这两种技术拓宽了可加工零件的范围和复杂性。光蚀刻最适合于薄片材料,因而可用来生产形状复杂的微小零件。激光切割用于较厚的板材,比光蚀刻操作灵活,但不如光蚀刻那样更适于微小零件。

关键词 精密切割技术 光蚀刻 激光切割

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瑞士百超推出数控高压水切割系统ByJet Pro 3015

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《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第6期1-2,共2页

2008年10月瑞士百超最新推出的高压水切割机ByJet Pro L系列，最多可配置4个全数控自动切割头，在最短准备时间，实现最高产量和最佳质量，效率可达普通水切割的5倍。高精密切割头HPT（High Precision Tool）是高精密切割的重要保证。... 2008年10月瑞士百超最新推出的高压水切割机ByJet Pro L系列，最多可配置4个全数控自动切割头，在最短准备时间，实现最高产量和最佳质量，效率可达普通水切割的5倍。高精密切割头HPT（High Precision Tool）是高精密切割的重要保证。切割头间距自动调整，应用灵活，大大减小非切割时间，同时切割头间距也是最小的， 展开更多

关键词 高压水切割机 切割系统 数控 瑞士 PRECISION 切割头 准备时间 精密切割

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2-2型多基元压电复合陶瓷圆管研究 被引量：4

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作者 鲜晓军 林书玉 +1 位作者 杨智 刘光聪 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第6期888-890,共3页

该文分析并制作了2-2型压电复合陶瓷圆管,陶瓷圆管由180条等分陶瓷基元组成,基元间通过复合材料进行连接。陶瓷圆管采用轴向精密切割工艺,该圆管具有几何尺寸大,基元多,轴向与径向振动相互干扰小,切割工艺精密等特点。研究表明,2-2型压... 该文分析并制作了2-2型压电复合陶瓷圆管,陶瓷圆管由180条等分陶瓷基元组成,基元间通过复合材料进行连接。陶瓷圆管采用轴向精密切割工艺,该圆管具有几何尺寸大,基元多,轴向与径向振动相互干扰小,切割工艺精密等特点。研究表明,2-2型压电复合陶瓷圆管与纯压电陶瓷圆管相比,具有在工作频带内模态单一,寄生响应得到了有效抑制等优点,可广泛应用于多波束测深发射阵列的研制。 展开更多

关键词 压电陶瓷 多基元 复合圆管 精密切割 多波束

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划片机定位精度的设计 被引量：1

10

作者 袁慧珠 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第7期51-52,共2页

介绍了如何在划片机的设计、划片机的装配调整以及划片机工作过程中的误差校正 3个方面的问题 ,达到划片机对定位精度的要求。

关键词 精密切割 划片机 定位精度 误差校正 装配 调整 设计

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激光微纳加工领域的代表人物 被引量：1

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《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1230-1233,共4页

自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表... 自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米等不同的尺度,成为不可或缺的先进制造技术。其中,激光微纳加工技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展,并为航空、能源、集成电路制造、国防、汽车、生物医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。各国科研工作者纷纷投身于激光微纳加工技术的研究之中,以期用先进的科技力量,改写人类社会的工业文明。作为行业研究中的佼佼者,美国的陆永枫教授、英国的李琳教授、日本的杉冈幸次教授以及我国的钟敏霖教授正以其卓越的科研成就引领着激光微纳加工领域的发展方向。 展开更多

关键词 微纳加工技术 激光打标 先进制造技术 激光表面处理 人物 激光精密切割 集成电路制造 纳米颗粒

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数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准

12

《工具技术》 北大核心 2004年第4期61-61,共1页

关键词 数控转台冲床 数控精密激光切割机 金属板材 数控加工 数控机床

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