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基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器
被引量：
1
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作者
徐笠杰
王艳林
陈青山
《电子测量技术》
北大核心
2024年第6期131-136,共6页
为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测,研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试,搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验,并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件...
为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测,研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试,搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验,并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件。实验结果表明:在可测量位移达到24 mm的同时,线性度优于1%,分辨率优于0.5μm,精度优于1μm,高精度长位移电涡流传感器符合精密光学调焦组件的需求。
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关键词
电涡流传感器
轴向电涡流效应
精密光学调焦组件
长位移
高精度
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职称材料
题名
基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器
被引量：
1
1
作者
徐笠杰
王艳林
陈青山
机构
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
出处
《电子测量技术》
北大核心
2024年第6期131-136,共6页
基金
光电信息控制和安全技术重点实验室项目(202105509)资助。
文摘
为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测,研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试,搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验,并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件。实验结果表明:在可测量位移达到24 mm的同时,线性度优于1%,分辨率优于0.5μm,精度优于1μm,高精度长位移电涡流传感器符合精密光学调焦组件的需求。
关键词
电涡流传感器
轴向电涡流效应
精密光学调焦组件
长位移
高精度
Keywords
eddy current sensor
axial eddy current effect
precision optical focusing component
long-displacement
high-precision
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器
徐笠杰
王艳林
陈青山
《电子测量技术》
北大核心
2024
1
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