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探讨数字相关滤波在精密位置检测与控制系统中的应用
被引量：
1
1
作者
张建明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期38-45,共8页
数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术，计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代科技与制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例，介绍了问题的提出，数字...
数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术，计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代科技与制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例，介绍了问题的提出，数字相关滤波的理论，探讨了在非接触式精密位置检测与控制系统中的应用原理及实现方法。文末，还就相关滤波的其它有关应用作了简介。
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关键词
数字相关滤波
精密位置检测
控制系统
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职称材料
高精度位置检测及定位技术研究
被引量：
4
2
作者
张迎新
刘京南
陈从颜
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期495-497,共3页
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进...
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进电机驱动工作台到达± 0 5 μm的定位精度 ,并使位置偏差始终控制在此精度范围内 .给出了系统构造和整个定位过程的实验曲线 。
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关键词
光栅
差动摩尔
精密
定位
高
精密位置检测
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职称材料
题名
探讨数字相关滤波在精密位置检测与控制系统中的应用
被引量：
1
1
作者
张建明
机构
中国航空精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期38-45,共8页
文摘
数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术，计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代科技与制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例，介绍了问题的提出，数字相关滤波的理论，探讨了在非接触式精密位置检测与控制系统中的应用原理及实现方法。文末，还就相关滤波的其它有关应用作了简介。
关键词
数字相关滤波
精密位置检测
控制系统
Keywords
Digital correlation filtering, Precision positioning
分类号
TH741.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
高精度位置检测及定位技术研究
被引量：
4
2
作者
张迎新
刘京南
陈从颜
机构
东南大学自动控制系
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期495-497,共3页
文摘
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进电机驱动工作台到达± 0 5 μm的定位精度 ,并使位置偏差始终控制在此精度范围内 .给出了系统构造和整个定位过程的实验曲线 。
关键词
光栅
差动摩尔
精密
定位
高
精密位置检测
Keywords
Alignment
Diffraction gratings
Lasers
Signal processing
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
探讨数字相关滤波在精密位置检测与控制系统中的应用
张建明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996
1
在线阅读
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职称材料
2
高精度位置检测及定位技术研究
张迎新
刘京南
陈从颜
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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职称材料
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