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用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统
被引量:
2
1
作者
袁祥辉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1989年第3期43-48,共6页
本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要介绍。阐述了该系统的工作原理、电路框图和动态鉴相细分电路。实验结...
本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要介绍。阐述了该系统的工作原理、电路框图和动态鉴相细分电路。实验结果表明,本系统测量误差小于±0.01mm,分辨率为lμm。与国内现有位移测量系统相比,新系统具有工作间隙特别大(15mm左右),光栅尺不用密封,耐现场污染,容易在车间推广使用等优点。
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关键词
光学扫描器
粗光栅
精密位移测量动态鉴相细分
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职称材料
题名
用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统
被引量:
2
1
作者
袁祥辉
机构
重庆大学
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1989年第3期43-48,共6页
文摘
本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要介绍。阐述了该系统的工作原理、电路框图和动态鉴相细分电路。实验结果表明,本系统测量误差小于±0.01mm,分辨率为lμm。与国内现有位移测量系统相比,新系统具有工作间隙特别大(15mm左右),光栅尺不用密封,耐现场污染,容易在车间推广使用等优点。
关键词
光学扫描器
粗光栅
精密位移测量动态鉴相细分
Keywords
opto-scanner coarse grating precision displacement measuring dynamic phase discriminating and subdivison
分类号
TP212-55 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统
袁祥辉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1989
2
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