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激光三角测量传感器的精密位移测量被引量：47: 1; 作者戴立铭江潼君《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第4期400-404,共5页; 本文论述了激光三角法测量位移时，其象点位置随被测物面位移的变化规律；推导出激光散射用与成象角之间的关系；讨论了激光三角测量传感器结构参数的设计方法。; 关键词传感器精密位移测量激光三角法; 在线阅读下载PDF 职称材料

用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统被引量：2: 2; 作者袁祥辉《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第3期43-48,共6页; 本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要介绍。阐述了该系统的工作原理、电路框图和动态鉴相细分电路。实验结... 展开更多; 关键词光学扫描器粗光栅精密位移测量动态鉴相细分; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于激光干涉的高分辨率精密位移测量研究被引量：1: 3; 作者王春梅张总王辉《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第4期97-102,共6页; 由于高分辨率精密位移测量过程中调制深度波动和载波相位延迟,导致相位解调中存在误差,致使测量效果较差,测量时间较长,提出基于激光干涉的高分辨率精密位移测量方法。分析激光干涉原理和位移测量原理,获取位移测量误差产生的原因,采用... 展开更多; 关键词激光干涉高分辨率精密位移测量相位生成载波解调相位解调误差补偿卡尔曼滤波; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究被引量：2: 4; 作者雷李华张玉杰傅云霞《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期90-97,共8页; 光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移... 展开更多; 关键词精密位移测量光栅干涉仪光栅矢量衍射周期性误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光锁定Fabry-Perot干涉仪精密测量电容被引量：2: 5; 作者王建波钱进 +3 位作者殷聪陆祖良黄璐杨雁《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期150-158,共9页; 为了实现pF量级小电容的精密测量,建立了基于激光锁定Fabry-Perot干涉仪的精密电容测量系统。对该系统所采用的计算电容原理、激光锁定干涉仪方法及其整数级次确定方法进行了研究。首先,根据Lampard和Thompson电学基本原理介绍了Fabry-P... 展开更多; 关键词 Fabry-Perot干涉仪腔长锁定干涉仪计算电容精密位移测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

二维光栅位移测量技术综述被引量：16: 6; 作者尹云飞刘兆武 +6 位作者吉日嘎兰图于宏柱王玮李晓天鲍赫李文昊郝群《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1224-1238,共15页; 超精密位移测量技术不仅是精密机械加工的基础,在以摩尔定律飞速发展的芯片制造行业中也起到决定性的作用。以光栅栅距为测量基准的光栅位移测量系统被广泛应用于多维测量系统,光栅位移测量系统与激光位移测量系统相比,大大降低了对使... 展开更多; 关键词二维光栅光栅干涉技术精密位移测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

双层反倾线圈结构的直线时栅位移传感器研究: 7; 作者杨继森秦梓洋 +1 位作者付航吴灼《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期188-197,共10页; 针对前期研究的双层直线时栅位移传感器测量误差成分中四次谐波较大,影响传感器测量精度的问题。根据双层激励线圈的结构特点,提出了一种双层反向倾斜线圈结构的直线时栅位移传感器设计方案。通过构建双层反倾线圈产生磁场的数学模型,... 展开更多; 关键词精密位移测量直线时栅传感器倾斜线圈磁场四次谐波误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光三角测量传感器的精密位移测量被引量：47: 1; 作者戴立铭江潼君; 机构东南大学; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第4期400-404,共5页; 文摘本文论述了激光三角法测量位移时，其象点位置随被测物面位移的变化规律；推导出激光散射用与成象角之间的关系；讨论了激光三角测量传感器结构参数的设计方法。; 关键词传感器精密位移测量激光三角法; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统被引量：2: 2; 作者袁祥辉; 机构重庆大学; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第3期43-48,共6页; 文摘本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要介绍。阐述了该系统的工作原理、电路框图和动态鉴相细分电路。实验结果表明,本系统测量误差小于±0.01mm,分辨率为lμm。与国内现有位移测量系统相比,新系统具有工作间隙特别大(15mm左右),光栅尺不用密封,耐现场污染,容易在车间推广使用等优点。; 关键词光学扫描器粗光栅精密位移测量动态鉴相细分; Keywords opto-scanner coarse grating precision displacement measuring dynamic phase discriminating and subdivison; 分类号 TP212-55 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于激光干涉的高分辨率精密位移测量研究被引量：1: 3; 作者王春梅张总王辉; 机构兰州工业学院; 出处《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第4期97-102,共6页; 基金甘肃省高等学校创新基金项目(No.2021B-305)。; 文摘由于高分辨率精密位移测量过程中调制深度波动和载波相位延迟,导致相位解调中存在误差,致使测量效果较差,测量时间较长,提出基于激光干涉的高分辨率精密位移测量方法。分析激光干涉原理和位移测量原理,获取位移测量误差产生的原因,采用相位生成载波反正切解调方法解调干涉信号,通过离散卡尔曼滤波修正相位解调后正交信号的幅值和偏置,补偿相位解调误差,实现高分辨率精密位移测量。实验结果表明,所提方法的测量波动均值稳定在±1.5 nm之间,能够有效地稳定测量能力、减小测量误差、缩短测量时间。; 关键词激光干涉高分辨率精密位移测量相位生成载波解调相位解调误差补偿卡尔曼滤波; Keywords laser interferometry high resolution precision displacement measurement phase generation carrier demodulation phase demodulation error compensation kalman filtering; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究被引量：2: 4; 作者雷李华张玉杰傅云霞; 机构上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期90-97,共8页; 基金上海市自然科学基金项目(21ZR1483100) 上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。; 文摘光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移测量过程中出现的光栅与位移台以及读数头之间的姿态位置误差进行分析,通过分别建立位移坐标系及光栅坐标系,参考惯性导航领域中飞行器姿态表示方法,利用一维光栅的横滚、俯仰和偏航角共同描述一维光栅相对于位移台的装配状态。通过基于矢量衍射理论分析光栅干涉仪位移测量时三个维度的角度偏差量,对可能产生的位移测量误差进行了分析说明。基于广义一维光栅方程,探究出了一个更为普遍的结论,为后续装置的改进提供理论依据,以提高系统的测量精度。; 关键词精密位移测量光栅干涉仪光栅矢量衍射周期性误差; Keywords precision displacement measurement grating interferometer grating vector diffraction periodic error; 分类号 TB96 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光锁定Fabry-Perot干涉仪精密测量电容被引量：2: 5; 作者王建波钱进殷聪陆祖良黄璐杨雁; 机构中国计量科学研究院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期150-158,共9页; 基金国家重点研发计划(2016YFF0200302); 文摘为了实现pF量级小电容的精密测量,建立了基于激光锁定Fabry-Perot干涉仪的精密电容测量系统。对该系统所采用的计算电容原理、激光锁定干涉仪方法及其整数级次确定方法进行了研究。首先,根据Lampard和Thompson电学基本原理介绍了Fabry-Perot干涉仪的结构与工作方式,采用一种锁定干涉仪测量位移的方法。其次,介绍了Fabry-Perot干涉仪的光路设计,详细分析了干涉仪锁定控制系统的工作状态以及锁定状态下干涉仪腔长的抖动情况。通过分析利用电容值确定干涉仪整数级次变化的可行性,提出了基于1 pF标准电容器确定Fabry-Perot干涉仪整数级次的实验过程。最后,介绍了Fabry-Perot锁定干涉仪的台阶式位移过程以及利用该套系统测量电容的重复性。实验结果表明:Fabry-Perot干涉仪在锁定状态下,腔长抖动峰峰值为0.4 nm,测量1 pF标准电容器重复性达到5.0×10^(-9)。; 关键词 Fabry-Perot干涉仪腔长锁定干涉仪计算电容精密位移测量; Keywords Fabry-Perot interferometer interferometer with locking its cavity length calculable capacitor precise displacement measurement; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名二维光栅位移测量技术综述被引量：16: 6; 作者尹云飞刘兆武吉日嘎兰图于宏柱王玮李晓天鲍赫李文昊郝群; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学北京理工大学光电学院; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1224-1238,共15页; 基金国家重点研发计划项目(No.2016YFB0500100) 吉林省科技发展计划(No.20190201021JC,No.20190103158JH,No.20190103157JH,No.20190302047GX) +2 种基金国家自然科学基金(No.61975255) 民用航天预研项目(No.D040101)。; 文摘超精密位移测量技术不仅是精密机械加工的基础,在以摩尔定律飞速发展的芯片制造行业中也起到决定性的作用。以光栅栅距为测量基准的光栅位移测量系统被广泛应用于多维测量系统,光栅位移测量系统与激光位移测量系统相比,大大降低了对使用环境的湿度、温度和气压的要求。本文主要介绍了近年来国内外基于二维光栅的位移传感系统光学结构的发展现状,从零差式和外差式光栅干涉测量原理入手,综述了基于单块二维光栅的光学结构到多块二维光栅耦合设计的光学结构发展历程,对比分析了几种二维光栅位移测量系统的优缺点,并展望了二维光栅位移测量系统发展趋势,总结了二维光栅位移测量系统的工程化进程。; 关键词二维光栅光栅干涉技术精密位移测量; Keywords two-dimensional grating grating interference technique precision displacement measurement; 分类号 TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双层反倾线圈结构的直线时栅位移传感器研究: 7; 作者杨继森秦梓洋付航吴灼; 机构重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期188-197,共10页; 基金国家自然科学基金项目(52175454,51205434) 重庆市高等学校优秀人才支持计划项目重庆理工大学研究生创新项目(clgycx 20202074)。; 文摘针对前期研究的双层直线时栅位移传感器测量误差成分中四次谐波较大,影响传感器测量精度的问题。根据双层激励线圈的结构特点,提出了一种双层反向倾斜线圈结构的直线时栅位移传感器设计方案。通过构建双层反倾线圈产生磁场的数学模型,分析了双层反向倾斜线圈的磁场状态,并利用电磁场有限元仿真分析双层反倾线圈直线时栅位移传感器中倾斜大小和动定尺之间的气隙对测量误差与误差谐波成分的影响,确定了最优化的设计参数。采用PCB(Printed Circuit Board)工艺研制了78个节距大小的传感器样机并进行了精度测试。实验结果表明,双层反倾斜线圈结构对原双层直线传感器中误差四次谐波抑制效果显著,在同样设置条件下,将原测量误差成分中四次谐波从40μm抑制到7μm,抑制效果达到82.5%。最终经过误差修正后的传感器对极内精度达到±13μm。; 关键词精密位移测量直线时栅传感器倾斜线圈磁场四次谐波误差; Keywords precise displacement measurement linear time grid sensor tilt coil magnetic field fourth harmonic of error; 分类号 TP712 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	激光三角测量传感器的精密位移测量	戴立铭江潼君	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1994	47	在线阅读下载PDF 职称材料
2	用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统	袁祥辉	《传感技术学报》 CAS CSCD	1989	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于激光干涉的高分辨率精密位移测量研究	王春梅张总王辉	《激光杂志》 CAS 北大核心	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究	雷李华张玉杰傅云霞	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	激光锁定Fabry-Perot干涉仪精密测量电容	王建波钱进殷聪陆祖良黄璐杨雁	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	二维光栅位移测量技术综述	尹云飞刘兆武吉日嘎兰图于宏柱王玮李晓天鲍赫李文昊郝群	《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	16	在线阅读下载PDF 职称材料
7	双层反倾线圈结构的直线时栅位移传感器研究	杨继森秦梓洋付航吴灼	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料