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不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响
被引量：
5
1
作者
钟博扬
王维
+3 位作者
李芳芳
叶小球
陈长安
罗文华
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期345-350,共6页
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后...
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。
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关键词
真空漏孔
漏率
校准
粘滞-分子流
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职称材料
题名
不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响
被引量：
5
1
作者
钟博扬
王维
李芳芳
叶小球
陈长安
罗文华
机构
表面物理与化学重点实验室
四川大学原子与分子物理研究所
中国工程物理研究院
出处
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期345-350,共6页
文摘
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。
关键词
真空漏孔
漏率
校准
粘滞-分子流
Keywords
Vacuum leak, Leak rate, Calibration, Viscous
-
molecular flow
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响
钟博扬
王维
李芳芳
叶小球
陈长安
罗文华
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017
5
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