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荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响
1
作者 安政杰 赵军平 +2 位作者 艾志军 吴治诚 张乔根 《西安交通大学学报》 北大核心 2025年第3期189-200,共12页
为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法,基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统,研究了不同形式的外施电压作用下,生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形貌的形成机制。通过对在不... 为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法,基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统,研究了不同形式的外施电压作用下,生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形貌的形成机制。通过对在不同条件下沉积的类金刚石膜层的形貌观测发现,直流电压作用下,膜层会完全保留颗粒的本征形貌特征;脉冲电压作用下,膜层表面存在大量岛状凸起结构,并基于膜层的生长模式和荷能离子与基底发生的相互作用分析了膜层会出现上述两种形貌的原因。当膜层尚未完全覆盖氧化铝时,化学键键能的差异使得碳原子在氧化铝表面会倾向于形成岛状结构,基底表面电荷积聚引起的离子通量密度空间不均匀分布则会使得膜层趋于均匀生长。当膜层完全覆盖氧化铝后,高能离子会引发膜层表面碳原子产生横向位移,使得膜层趋于平滑。为使类金刚石膜层能够在氧化铝颗粒表面形成岛状结构,应限制脉冲电压的占空比及电压幅值,以限制积聚的电荷量,同时应降低能量大于350 eV的离子占比,使得岛状结构能够保留。研究结果表明,通过调控制备参数在氧化铝粉体颗粒表层沉积具有岛状结构的类金刚石膜层可提高颗粒比表面积,有利于改善颗粒与环氧树脂基体的结合性能。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 空心阴极放电 外施电压作用 形貌特征 岛状结构
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类金刚石薄膜的摩擦腐蚀性能研究进展
2
作者 杨景圆 刘黎 陈丽 《真空与低温》 2024年第5期512-521,共10页
类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)碳膜具有硬度高、摩擦系数低、磨损率低、耐腐蚀性强等特点,自80年代以来备受关注,现已得到了广泛应用。但其摩擦腐蚀性能受微观结构、组分和环境介质影响较大,限制了实际应用范围。讨论了氢含量、掺... 类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)碳膜具有硬度高、摩擦系数低、磨损率低、耐腐蚀性强等特点,自80年代以来备受关注,现已得到了广泛应用。但其摩擦腐蚀性能受微观结构、组分和环境介质影响较大,限制了实际应用范围。讨论了氢含量、掺杂异质元素及多层结构对DLC薄膜在溶液介质中摩擦腐蚀性能的影响,总结了DLC薄膜在海水环境、醇类环境及酸性环境中的摩擦腐蚀行为,探讨了薄膜在海水环境中的摩擦腐蚀机理。展望了DLC薄膜摩擦腐蚀性能的发展趋势。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 摩擦腐蚀 微观结构 环境介质
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精密模压模具用类金刚石薄膜表面失效与恢复
3
作者 向青云 杜重洋 +3 位作者 王乃帅 王健强 王永康 李松 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第9期161-167,179,共8页
为了研究精密模压模具用类金刚石(DLC)薄膜的表面失效过程,探索恢复失效薄膜表面性能的方法,用磁过滤阴极电弧设备在硬质合金模具上制备无氢类金刚石ta-C薄膜,在精密模压机上使用该模具对玻璃开展模压。通过拉曼光谱检测经历不同次数模... 为了研究精密模压模具用类金刚石(DLC)薄膜的表面失效过程,探索恢复失效薄膜表面性能的方法,用磁过滤阴极电弧设备在硬质合金模具上制备无氢类金刚石ta-C薄膜,在精密模压机上使用该模具对玻璃开展模压。通过拉曼光谱检测经历不同次数模压薄膜结构变化情况,使用维氏硬度计、白光干涉仪检测模压前和多轮模压后ta-C薄膜的表面状态差异,从而评价薄膜在精密模压过程中的失效方式。结果表明:随着模压次数的增加,ta-C薄膜拉曼特征峰比值I_(D)/I_(G)从0.66上升到超过2.67,发生四面体配位sp^(3)向三配位键合结构sp^(2)的相转变。ta-C薄膜的硬度经模压后下降了15.5%,表面粗糙度由0.6 nm增大到25.8 nm,且膜层的整体均匀性下降。薄膜失效异常位置分析揭示了相转变主要发生在薄膜外表面,薄膜内部结构在模压过程中仍保持相对稳定,通过氧离子刻蚀可以使模压后的ta-C薄膜表面状态恢复。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 玻璃精密模压 失效分析 表面恢复
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SiC/DLC过渡层对类金刚石薄膜力学性能的影响 被引量：2
4
作者 饶倩 张腾飞 +3 位作者 李雪源 杨文茂 冷永祥 黄楠 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期118-121,共4页
采用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备了类金刚石薄膜和含有SiC/DLC过渡层的类金刚石薄膜。采用拉曼光谱及扫描电子显微镜分析了薄膜的成分和结构,并利用超显微硬度计、薄膜结合力测试仪和往复式摩擦实验机研... 采用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备了类金刚石薄膜和含有SiC/DLC过渡层的类金刚石薄膜。采用拉曼光谱及扫描电子显微镜分析了薄膜的成分和结构,并利用超显微硬度计、薄膜结合力测试仪和往复式摩擦实验机研究了薄膜的硬度、韧性、膜/基结合力和耐磨性。研究结果表明,SiC/DLC过渡层可以提高钛合金(Ti6Al4V)表面类金刚石薄膜的韧性及膜/基结合力,与未制备过渡层的类金刚石薄膜相比,含有SiC/DLC过渡层的类金刚石薄膜的耐磨性明显提高。 展开更多
关键词 SiC/dlc 过渡层 类金刚石薄膜 硬度 韧性 耐磨性
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类金刚石(DLC)膜的制备技术概况 被引量：17
5
作者 程宇航 吴一平 +1 位作者 陈建国 乔学亮 《材料导报》 EI CAS CSCD 1996年第2期38-42,共5页
综述了类金刚石膜的制备方法,以及各种制备方法的基本原理和特点,并分析了各种方法对膜的结构和性能的影响。
关键词 类金刚石 薄膜 沉积技术
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类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展 被引量：18
6
作者 李振军 徐洮 +3 位作者 李红轩 郝俊英 周惠娣 陈建敏 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期774-777,共4页
类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值 ,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜 (DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法。本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学... 类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值 ,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜 (DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法。本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响 ,概述了其摩擦磨损机理 ,同时探讨了进一步研究工作的方向。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 摩擦学特性 磨损机制 化学气相沉积
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脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质 被引量：6
7
作者 刘毅 林晓东 +2 位作者 张磊 张麟 陈弟虎 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期357-360,共4页
采用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱,拉曼光谱及X光电子能谱研究了衬底温度对薄膜的结构和光学性质的影响。结果表明较低衬底温度制备的薄膜的光学常数具有典型的类金刚石特征。衬底温度的升高导... 采用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱,拉曼光谱及X光电子能谱研究了衬底温度对薄膜的结构和光学性质的影响。结果表明较低衬底温度制备的薄膜的光学常数具有典型的类金刚石特征。衬底温度的升高导致了薄膜的有序化,使得薄膜的sp3键成分改变,从而影响了薄膜的光学常数。衬底温度过高,导致薄膜严重石墨化,表面粗糙度增加,不利于制备高质量类金刚石薄膜。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 结构 光学性质
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脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究 被引量：6
8
作者 罗乐 赵读亮 +3 位作者 储雅琼 汪毅 马跃 陶汝华 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期759-763,共5页
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄... 为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。实验结果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp^3/sp^2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大。近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观结构产生的影响更明显。距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 微观结构 表面形貌
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不锈钢衬底两面同时液相电沉积类金刚石薄膜及其沉积机理研究 被引量：5
9
作者 李瑞山 冯有才 +3 位作者 王璇 张培增 谢二庆 杨华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期56-60,共5页
为了利用液相电沉积技术实现在金属衬底表面全方位电沉积类金刚石(DLC)薄膜,采用不同尺度的不锈钢片作为衬底,在表面电沉积了DLC薄膜,利用X射线光电子能谱、Raman光谱和扫描电子显微镜分别对衬底两面薄膜的化学成分、微观结构和表面形... 为了利用液相电沉积技术实现在金属衬底表面全方位电沉积类金刚石(DLC)薄膜,采用不同尺度的不锈钢片作为衬底,在表面电沉积了DLC薄膜,利用X射线光电子能谱、Raman光谱和扫描电子显微镜分别对衬底两面薄膜的化学成分、微观结构和表面形貌进行了分析。结果显示:对于尺度大于石墨阳极的不锈钢衬底,仅在衬底正对着阳极的一面实现了DLC薄膜的沉积;而对于尺度小于阳极的不锈钢衬底,在衬底两面都有DLC薄膜沉积,且两面薄膜结构相似,形貌相近。利用准静态电场理论对实验结果进行了解释,提出在金属衬底表面实现液相电沉积DLC薄膜的前提条件是存在垂直于衬底表面的电场分量,为进一步实现在复杂形状的导电性衬底表面沉积DLC薄膜提供了理论依据。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 电沉积 全方位沉积
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类金刚石薄膜的激光损伤特性及工艺优化 被引量：5
10
作者 徐均琪 樊慧庆 +1 位作者 刘卫国 苏俊宏 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期45-49,共5页
采用脉冲真空电弧沉积(PVAD)技术制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对其抗激光损伤特性进行了研究,优化了制备工艺。对DLC薄膜激光损伤阈值(LIDT)的测试结果表明,随着厚度的增加,薄膜的LIDT开始呈下降趋势,当厚度达到100nm以上时,则趋于一个... 采用脉冲真空电弧沉积(PVAD)技术制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对其抗激光损伤特性进行了研究,优化了制备工艺。对DLC薄膜激光损伤阈值(LIDT)的测试结果表明,随着厚度的增加,薄膜的LIDT开始呈下降趋势,当厚度达到100nm以上时,则趋于一个稳定值。正交实验结果的处理和分析表明,在所给定的工艺参数范围内,主回路电压是影响DLC膜抗激光损伤性能的最主要因素,基片温度、清洗时间和脉冲频率则影响较小。为得到较好的抗激光损伤能力,采用PVAD技术制备DLC薄膜的最佳工艺参数为:清洗时间20min、基片温度150℃、脉冲频率5Hz、主回路电压150V。退火处理会使DLC薄膜的激光损伤阈值明显提高。 展开更多
关键词 类金刚石(dlc) 脉冲真空电弧沉积(PVAD) 激光损伤阈值(LIDT) 工艺优化
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沉积气压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 被引量：6
11
作者 凌晓 俞树荣 张俊彦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1878-1882,共5页
以纯甲烷为反应气体,采用等离子增强化学气相沉积技术通过改变沉积气压在316L不锈钢表面制备了一系列的类金刚石薄膜。薄膜结构、机械性能和摩擦学性能分别通过拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪(Nano-indententorⅡ)和往复球盘摩擦磨损试... 以纯甲烷为反应气体,采用等离子增强化学气相沉积技术通过改变沉积气压在316L不锈钢表面制备了一系列的类金刚石薄膜。薄膜结构、机械性能和摩擦学性能分别通过拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪(Nano-indententorⅡ)和往复球盘摩擦磨损试验仪获得。研究结果表明,随着沉积气压从7 Pa增加到15 Pa,薄膜的sp3含量和机械性能明显增加,而摩擦学性能显著降低。随着沉积气压从15 Pa增加到31 Pa,薄膜的sp3含量和机械性能明显降低,而摩擦学性能却显著增加。 展开更多
关键词 类金刚石碳薄膜 沉积气压 结构 性能
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直流负偏压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 被引量：5
12
作者 李红轩 徐洮 +2 位作者 陈建敏 周惠娣 刘惠文 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期802-805,共4页
利用直流 射频 等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜 ,采用原子力显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、红外光谱、表面轮廓仪和纳米压痕仪考察了直流负偏压对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率和硬... 利用直流 射频 等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜 ,采用原子力显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、红外光谱、表面轮廓仪和纳米压痕仪考察了直流负偏压对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率和硬度等性能的影响。结果表明 :无直流负偏压条件下 ,薄膜呈现有机类聚合结构 ,具有较低的SP3含量和硬度 ;叠加上直流负偏压后 ,薄膜具有典型的类金刚石结构特征 ,SP3含量和硬度得到了显著的提高 ;但随着直流负偏压的升高 ,薄膜的沉积速率和H含量逐渐降低 ,而SP3含量和硬度在直流负偏压为 2 0 0V时出现最大值 。 展开更多
关键词 化学气相沉积 类金刚石薄膜 直流负偏压 硬度 微观结构
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外加偏置电场下类金刚石薄膜激光损伤形貌 被引量：3
13
作者 吴慎将 苏俊宏 +2 位作者 施卫 王馨梅 徐均琪 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期207-209,共3页
使用非平衡测控溅射技术沉积了类金刚石薄膜,对比了外加偏置电场前后薄膜的抗激光损伤表面形貌变化,发现薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小,薄膜的激光损伤情况得到改善。这表... 使用非平衡测控溅射技术沉积了类金刚石薄膜,对比了外加偏置电场前后薄膜的抗激光损伤表面形貌变化,发现薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小,薄膜的激光损伤情况得到改善。这表明外加偏置电场对薄膜的损伤有影响,激光在薄膜中激励产生的光生电子在电场作用下产生快速漂移,间接降低了激光辐照区域内的局部能量密度,减缓了薄膜的石墨化,提高了薄膜的抗激光损伤能力。 展开更多
关键词 外加偏置电场 类金刚石薄膜 激光损伤 损伤形貌
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类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响 被引量：2
14
作者 马国佳 张华芳 +1 位作者 武洪臣 孙刚 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期77-79,83,共4页
主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳... 主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。 展开更多
关键词 dlc膜 类金刚石 PSII Ti、Zr掺杂
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NiTi合金表面镀类金刚石薄膜的生物摩擦学性能研究 被引量：8
15
作者 任妮 马占吉 +3 位作者 李波 程峰 武生虎 肖更竭 《真空与低温》 2004年第3期137-143,共7页
用脉冲电弧离子镀在镍钛合金基底上沉积了无氢类金刚石(DLC)薄膜,研究和评价了镀膜样片的体外生物摩擦学特性。结果表明,在干摩擦及润滑条件下,DLC薄膜的体积磨损率仅为NiTi合金的3%～7%,有很好的抗磨损能力。DLC薄膜的减摩效果也很明显... 用脉冲电弧离子镀在镍钛合金基底上沉积了无氢类金刚石(DLC)薄膜,研究和评价了镀膜样片的体外生物摩擦学特性。结果表明,在干摩擦及润滑条件下,DLC薄膜的体积磨损率仅为NiTi合金的3%～7%,有很好的抗磨损能力。DLC薄膜的减摩效果也很明显,干摩擦条件下最大,达到80%以上,润滑条件下也都达到了70%以上。 展开更多
关键词 dlc薄膜 生物摩擦学 类金刚石薄膜 脉冲电弧 干摩擦 表面 基底 NITI合金 离子镀 抗磨损能力
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脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜 被引量：4
16
作者 王秋良 王又青 安承武 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期77-79,共3页
采用能量密度为１．１７８×１０９Ｗ／ｃｍ２的ＸｅＣｌ准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶，并同时采用辅助放电，在１×１０－５Ｔｏｒｒ的真空环境中，于温度为８０℃的Ｓｉ（１００）的基片上淀积出类金刚石薄膜，Ｒａｍａ... 采用能量密度为１．１７８×１０９Ｗ／ｃｍ２的ＸｅＣｌ准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶，并同时采用辅助放电，在１×１０－５Ｔｏｒｒ的真空环境中，于温度为８０℃的Ｓｉ（１００）的基片上淀积出类金刚石薄膜，Ｒａｍａｎ光谱显示在１３３０ｃｍ－１处出现较强的散射峰值；对薄膜红外光谱进行测试，其光谱在２９００ｃｍ－１处有吸收峰，表明所淀积的类金刚石薄膜含有Ｃ－Ｈ键，其Ｈ元素与Ｃ元素的比为４５％。薄膜的电阻率为１．８９×１０６Ω／ｃｍ，通过光吸收测得的该薄膜的能隙为１５５ｅＶ。 展开更多
关键词 脉冲激光 类金刚石薄膜 RAMAN光谱 激光技术
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掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究 被引量：5
17
作者 居建华 夏义本 +6 位作者 张伟丽 王林军 史为民 黄志明 李志锋 郑国珍 汤定元 《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第2期173-177,共5页
采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 ,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 .结果表明 ,薄膜中氮含量随工艺中氮气 /甲烷流... 采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 ,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 .结果表明 ,薄膜中氮含量随工艺中氮气 /甲烷流量比的增加而增加并趋于饱和 .光谱中 CH键吸收峰 (2 85 9～ 310 0 cm- 1 )逐渐消失 ,而且 CNH键(16 0 0 cm- 1 )、C≡ N键 (2 2 0 0 cm- 1 )和 NH键 (32 5 0 cm- 1 )对应的红外吸收峰强度随氮含量的增加而增加 .拉曼散射中G峰向小波数方向位移和峰值展宽的现象说明薄膜中形成了非晶的氮化碳结构 ,与原子力显微镜显示的薄膜中富氮的非晶纳米颗粒相对应 .偏振光谱分析认为 ,富氮纳米颗粒的存在导致了薄膜在红外波段折射率由 1.8降低到 1. 展开更多
关键词 掺氮类金刚石薄膜 微观结构 红外光学性能 化学沉积 非晶氮化碳 富氮纳米颗粒
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预处理对不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的影响 被引量：1
18
作者 李红轩 徐洮 +3 位作者 陈建敏 周惠娣 胡丽天 刘惠文 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期545-546,共2页
关键词 预处理 不锈钢 类金刚石碳薄膜 表面沉积类金刚石薄膜 铁质材料 dlc 化学酸处理
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金属掺杂类金刚石薄膜研究进展 被引量：9
19
作者 张书姣 吴艳霞 +3 位作者 朱丽楠 唐宾 王志峰 周兵 《航空制造技术》 2017年第13期77-82,88,共7页
类金刚石薄膜(DLC)因具有优异的力学性能和摩擦学性能而受到广泛关注,但内应力高、热稳定性差等问题制约了它的应用和发展。将适量的金属掺入DLC薄膜中,由于金属与碳的键合作用不同,掺杂后形成的纳米晶或纳米金属碳化物颗粒具有高的活性... 类金刚石薄膜(DLC)因具有优异的力学性能和摩擦学性能而受到广泛关注,但内应力高、热稳定性差等问题制约了它的应用和发展。将适量的金属掺入DLC薄膜中,由于金属与碳的键合作用不同,掺杂后形成的纳米晶或纳米金属碳化物颗粒具有高的活性,增加了晶界滑移,改善了薄膜结构,进而提高了薄膜的力学性能和摩擦学性能,为薄膜的应用和发展提供了新思路。对目前金属掺杂DLC薄膜的研究进行了综述,提出了未来一段时间内金属掺杂DLC薄膜的发展趋势。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 金属掺杂 内应力 摩擦 润滑
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宽波段的类金刚石薄膜光学窗口 被引量：3
20
作者 白婷 刘晶儒 +2 位作者 叶景峰 王晟 叶锡生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1629-1633,共5页
介绍了实用化宽波段光学镀膜窗口的研制过程,研制的光学窗口实现了从可见至远红外波段使用同一光学器件工作的目标,主要波段透过率在70%以上。该产品膜层均匀性优于95%,可以抵抗潮热、温度变化等恶劣环境,可耐受高功率的红外激光辐射,... 介绍了实用化宽波段光学镀膜窗口的研制过程,研制的光学窗口实现了从可见至远红外波段使用同一光学器件工作的目标,主要波段透过率在70%以上。该产品膜层均匀性优于95%,可以抵抗潮热、温度变化等恶劣环境,可耐受高功率的红外激光辐射,通过了GJB2485—95《光学膜层通用规范》和Q/AF20087—2003《宽波段军用光学镀膜窗口规范》的标准检测。 展开更多
关键词 宽波段光学窗口 类金刚石薄膜 脉冲激光淀积 均匀性
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