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磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析
被引量：
6
1
作者
严少平
蒋百灵
+1 位作者
苏阳
张永宏
《西安理工大学学报》
CAS
2008年第1期8-12,共5页
利用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅片上沉积了类石墨碳镀层，采用X射线衍射（XRD）、激光Raman光谱和X射线光电子能谱（XPS）等分析方法对镀层的微观结构进行了研究。结果表明：不同成份类石墨碳镀层的Raman光谱与宽化的多晶石墨Ra...
利用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅片上沉积了类石墨碳镀层，采用X射线衍射（XRD）、激光Raman光谱和X射线光电子能谱（XPS）等分析方法对镀层的微观结构进行了研究。结果表明：不同成份类石墨碳镀层的Raman光谱与宽化的多晶石墨Raman光谱相似，类石墨碳镀层是以sp。键结构为主，且舍有多种纳米团簇颗粒的非晶镀层，sp^3键含量在12～15％范围；根据高斯解谱计算，镀层中碳团簇线度为1．2nm以下，并随铬含量增高而减小；镀层主要由单质碳、铬及其铬氧化物组成，并随铬含量增高，逐步有碳铬化合物形成。
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关键词
非平衡磁控溅射
类石墨碳镀层
微结构
RAMAN光谱
X射线光电子能谱
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职称材料
题名
磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析
被引量：
6
1
作者
严少平
蒋百灵
苏阳
张永宏
机构
西安理工大学材料科学与工程学院
出处
《西安理工大学学报》
CAS
2008年第1期8-12,共5页
基金
国家863科技攻关资助项目(2005AA33H010)
文摘
利用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅片上沉积了类石墨碳镀层，采用X射线衍射（XRD）、激光Raman光谱和X射线光电子能谱（XPS）等分析方法对镀层的微观结构进行了研究。结果表明：不同成份类石墨碳镀层的Raman光谱与宽化的多晶石墨Raman光谱相似，类石墨碳镀层是以sp。键结构为主，且舍有多种纳米团簇颗粒的非晶镀层，sp^3键含量在12～15％范围；根据高斯解谱计算，镀层中碳团簇线度为1．2nm以下，并随铬含量增高而减小；镀层主要由单质碳、铬及其铬氧化物组成，并随铬含量增高，逐步有碳铬化合物形成。
关键词
非平衡磁控溅射
类石墨碳镀层
微结构
RAMAN光谱
X射线光电子能谱
Keywords
unbalanced magnetron sputtering deposition
graphite-like carbon coatings
microst-ructure
Raman spectra
X-ray photoelectron spectroscopy
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析
严少平
蒋百灵
苏阳
张永宏
《西安理工大学学报》
CAS
2008
6
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