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微束斑RHEED类平行束电子枪设计
1
作者
赵伟霞
史丽娜
+2 位作者
刘俊标
殷伯华
韩立
《光学精密工程》
北大核心
2025年第12期1876-1888,共13页
针对高分辨率反射式高能电子衍射仪(RHEED)在微电子制造与表面分析领域的应用需求,而且长工作距离、微束斑、小束半角的电子枪是实现RHEED高分辨检测的关键核心部件,研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪,分析了电子枪的电子光学系统特性...
针对高分辨率反射式高能电子衍射仪(RHEED)在微电子制造与表面分析领域的应用需求,而且长工作距离、微束斑、小束半角的电子枪是实现RHEED高分辨检测的关键核心部件,研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪,分析了电子枪的电子光学系统特性,采用电子光学仿真软件仿真设计了低像差聚焦透镜;搭建了实验平台对研制的电子枪进行了束斑直径、束流和束半角性能测试与高定向热解石墨(HOPG)样品的衍射成像测试。实验结果表明:在工作距离500 mm下,RHEED类平行束电子枪的束斑直径为47.1μm(加速电压30 kV),发射束流与束半角分别为144.96μA,0.289 mrad(加速电压15 kV),在HOPG样品上获得了清晰的强度与晶体结构因子相对应的衍射斑点。
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关键词
电子
光学
反射式高能
电子
衍射
电子
枪
类平行电子束
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职称材料
题名
微束斑RHEED类平行束电子枪设计
1
作者
赵伟霞
史丽娜
刘俊标
殷伯华
韩立
机构
中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
出处
《光学精密工程》
北大核心
2025年第12期1876-1888,共13页
基金
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.PTYQ2024BJ0004)。
文摘
针对高分辨率反射式高能电子衍射仪(RHEED)在微电子制造与表面分析领域的应用需求,而且长工作距离、微束斑、小束半角的电子枪是实现RHEED高分辨检测的关键核心部件,研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪,分析了电子枪的电子光学系统特性,采用电子光学仿真软件仿真设计了低像差聚焦透镜;搭建了实验平台对研制的电子枪进行了束斑直径、束流和束半角性能测试与高定向热解石墨(HOPG)样品的衍射成像测试。实验结果表明:在工作距离500 mm下,RHEED类平行束电子枪的束斑直径为47.1μm(加速电压30 kV),发射束流与束半角分别为144.96μA,0.289 mrad(加速电压15 kV),在HOPG样品上获得了清晰的强度与晶体结构因子相对应的衍射斑点。
关键词
电子
光学
反射式高能
电子
衍射
电子
枪
类平行电子束
Keywords
electron optics
Reflection High Energy Electron Diffraction(RHEED)
electron gun
quasi-parallel electron beam
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
微束斑RHEED类平行束电子枪设计
赵伟霞
史丽娜
刘俊标
殷伯华
韩立
《光学精密工程》
北大核心
2025
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