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氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响
被引量：
2
1
作者
冯兴国
杨拉毛草
+4 位作者
周晖
张凯锋
万志华
胡汉军
郑玉刚
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期236-242,共7页
目的在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜,提高9Cr18钢表面强度。方法采用非平衡直流磁控溅射技术,在沉积温度为300℃的Ar和N2混合气氛中溅射C靶,制备类富勒烯CNx薄膜。利用XPS、Raman光谱、SEM研究了类富勒烯CNx薄膜的微观结构,利用纳...
目的在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜,提高9Cr18钢表面强度。方法采用非平衡直流磁控溅射技术,在沉积温度为300℃的Ar和N2混合气氛中溅射C靶,制备类富勒烯CNx薄膜。利用XPS、Raman光谱、SEM研究了类富勒烯CNx薄膜的微观结构,利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机研究了CNx薄膜的力学性能和摩擦学性能。结果类富勒烯CNx薄膜中存在sp2 C—C、sp2 N—C和sp3 C—N化学键,类富勒烯结构的CNx薄膜的ID/IG比值较高且G峰向低峰位移动。随着氮气流量的增加,薄膜的硬度和弹性恢复系数先增大后减小,薄膜的硬度和弹性恢复系数越高,其磨损率越低。结论氮气流量为10 m L/min时制备的CNx薄膜具有较高的硬度和弹性恢复系数以及较低的摩擦系数和磨损率。在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜能显著提高其表面强度。
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关键词
磁控溅射
类富勒烯碳氮薄膜
微观结构
力学性能
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职称材料
题名
氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响
被引量：
2
1
作者
冯兴国
杨拉毛草
周晖
张凯锋
万志华
胡汉军
郑玉刚
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期236-242,共7页
基金
真空技术与物理国防科技重点实验室基金(9140C550105150C55)~~
文摘
目的在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜,提高9Cr18钢表面强度。方法采用非平衡直流磁控溅射技术,在沉积温度为300℃的Ar和N2混合气氛中溅射C靶,制备类富勒烯CNx薄膜。利用XPS、Raman光谱、SEM研究了类富勒烯CNx薄膜的微观结构,利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机研究了CNx薄膜的力学性能和摩擦学性能。结果类富勒烯CNx薄膜中存在sp2 C—C、sp2 N—C和sp3 C—N化学键,类富勒烯结构的CNx薄膜的ID/IG比值较高且G峰向低峰位移动。随着氮气流量的增加,薄膜的硬度和弹性恢复系数先增大后减小,薄膜的硬度和弹性恢复系数越高,其磨损率越低。结论氮气流量为10 m L/min时制备的CNx薄膜具有较高的硬度和弹性恢复系数以及较低的摩擦系数和磨损率。在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜能显著提高其表面强度。
关键词
磁控溅射
类富勒烯碳氮薄膜
微观结构
力学性能
Keywords
magnetron sputtering
fullerene-like CNx films
microstructure
mechanical property
分类号
TG156.88 [金属学及工艺—热处理]
TB114.2 [理学—运筹学与控制论]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响
冯兴国
杨拉毛草
周晖
张凯锋
万志华
胡汉军
郑玉刚
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
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