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题名L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究
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作者
吴倩楠
范丽娜
李孟委
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机构
中北大学前沿交叉科学研究院
中北大学理学院
中北大学微系统集成研究中心
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出处
《电子测量技术》
北大核心
2022年第8期7-13,共7页
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基金
2020年装备发展部型谱项目(2006WW0011)资助。
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文摘
针对目前MEMS单刀七掷开关体积大、插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于“米”字型功分器的单刀七掷MEMS开关,通过HFSS软件对射频MEMS开关单元和“米”字型功分器进行设计,对开关的S参数、驻波比进行了仿真研究,并采用COMSOL软件对射频MEMS开关单元进行机械性能分析。结果表明,在1~40 GHz频段内,单刀七掷MEMS开关各个端口的插入损耗≤0.45 dB@40 GHz,隔离度≥29.5 dB@40 GHz,驻波比≤1.45,且体积仅有0.65 mm×0.5 mm×0.5 mm。此设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成,应用于多通道可调谐MEMS器件中,在卫星通信、雷达、和微波测试领域中具有一定的应用价值。
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关键词
单刀七掷开关
MEMS
米字型功分器
小体积
低插损
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Keywords
single pole seven throw switch
MEMS
meter-shaped power divider
small size
low insertion loss
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
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