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原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析 被引量:2
1
作者 田孝军 王越超 +1 位作者 董再励 席宁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期928-933,共6页
针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,该模型表明:对于给定原子力显微镜扫描器,样本上与探针接触点的横向和纵向位移取决于探针尖端相对于扫描管轴心的偏置量、所加电... 针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,该模型表明:对于给定原子力显微镜扫描器,样本上与探针接触点的横向和纵向位移取决于探针尖端相对于扫描管轴心的偏置量、所加电压(或名义扫描范围)及样本厚度。据此模型,对由于弯曲运动模式所产生的两种重要误差—交叉耦合误差及扫描范围误差进行了定量分析,分析表明:扫描范围误差主要受样本厚度及名义扫描范围影响,而Z向交叉耦合误差主要受探针偏置量及名义扫描范围影响,实验验证了所建立的运动学模型和误差计算公式的正确性;另外,还提出了相应的减小误差的方法。 展开更多
关键词 样本扫描模式原子力显微镜 管式扫描器 运动学模型 扫描范围误差 交叉耦合误差
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扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究 被引量:3
2
作者 刘安伟 胡小唐 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期45-48,共4页
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差,主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差,进行了实验和理论研究,并提出了一些相应的补偿措施。
关键词 扫描探针显微镜 管式扫描器 结构误差
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STM管式扫描器交叉耦合及非正交误差的研究 被引量:1
3
作者 刘安伟 陈峰 +2 位作者 胡小唐 张国雄 李彤 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第2期133-136,共4页
由于扫描隧道显微镜(STM)管式扫描器自身结构的不完善,在运动过程中会产生一定的结构误差,交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差.本文对这两项误差进行了定量的理论分析,得到了相应的误差公式及误差曲线,并通过实验... 由于扫描隧道显微镜(STM)管式扫描器自身结构的不完善,在运动过程中会产生一定的结构误差,交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差.本文对这两项误差进行了定量的理论分析,得到了相应的误差公式及误差曲线,并通过实验验证了理论推导结果的正确性.最后,根据对误差产生原因的研究,文中还提出了一些相应的误差补偿措施. 展开更多
关键词 管式扫描器 交叉耦合误差 非正交误差 STM
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