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简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析
1
作者
秦磊
许立忠
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第19期2359-2363,共5页
提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理。给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷。将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的...
提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理。给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷。将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的控制微分方程予以化简。利用壳体振型的正交性,确定了简谐电压激励下系统的动态响应,并总结了其规律。最后,分析了系统在电压激励下的共振特性,以及随主要系统参数的变化规律。
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关键词
谐波微电机
静电场力
简谐电压
动态响应
共振分析
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职称材料
题名
简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析
1
作者
秦磊
许立忠
机构
燕山大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第19期2359-2363,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50775195)
文摘
提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理。给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷。将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的控制微分方程予以化简。利用壳体振型的正交性,确定了简谐电压激励下系统的动态响应,并总结了其规律。最后,分析了系统在电压激励下的共振特性,以及随主要系统参数的变化规律。
关键词
谐波微电机
静电场力
简谐电压
动态响应
共振分析
Keywords
harmonic micromotor
electrostatic force
harmonic voltage
dynamic response
resonance analysis
分类号
TH132 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析
秦磊
许立忠
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
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