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等离子-物理气相沉积(PS-PVD)热障涂层的结构调控与高隔热机理 被引量:6
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作者 刘梅军 李广荣 +1 位作者 杨冠军 李长久 《湘潭大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第6期88-103,共16页
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)是一种利用等离子体加热蒸发材料进行涂层沉积的新技术,结合了等离子喷涂与物理气相沉积两种不同工艺的优点,可实现涂层结构从宏观到介观再到微观的跨尺度定制调控,被认为是代表航空发动机和燃气轮机防护涂... 等离子-物理气相沉积(PS-PVD)是一种利用等离子体加热蒸发材料进行涂层沉积的新技术,结合了等离子喷涂与物理气相沉积两种不同工艺的优点,可实现涂层结构从宏观到介观再到微观的跨尺度定制调控,被认为是代表航空发动机和燃气轮机防护涂层领域未来高性能热障涂层(TBCs)/环境障涂层(EBCs)制备技术的发展方向.如何实现涂层结构的可定制化制备调控一直是PS-PVD技术研究的热点,该文基于目前PS-PVD热障涂层研究现状,分析了PS-PVD涂层结构与材料相态的关系,进一步结合本课题组在材料多相态调控与沉积机理方面的研究,分析了PS-PVD射流中材料快速加热气化和长距离多模式输运沉积的全过程,结合Monte Carlo模拟结果与实验结果,揭示了PS-PVD涂层形成机理,阐明了涂层同时具有高热变容限与高隔热双重优异性能的结构机理,为制备新型高性能TBCs提供了理论基础. 展开更多
关键词 等离子-物理气相沉积 热障涂层 沉积单元 结构调控 高隔热
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等离子-物理气相沉积硅/莫来石/硅酸镱环境障涂层的高温防护和耐热冲击性能研究 被引量:2
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作者 王博 刘洋 +2 位作者 彭新 袁福河 程玉贤 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第3期64-70,共7页
通过SiCf/SiC复合材料表面等离子喷涂(APS)硅黏结层和莫来石中间层,等离子–物理气相沉积(PS–PVD)制备硅酸镱面层,喷涂的整个环境障涂层体系组织致密,PS–PVD工艺制备的硅酸镱为层状结构,孔隙率<1%。研究了SiCf/SiC复合材料环境障... 通过SiCf/SiC复合材料表面等离子喷涂(APS)硅黏结层和莫来石中间层,等离子–物理气相沉积(PS–PVD)制备硅酸镱面层,喷涂的整个环境障涂层体系组织致密,PS–PVD工艺制备的硅酸镱为层状结构,孔隙率<1%。研究了SiCf/SiC复合材料环境障涂层的抗静态氧化、循环氧化、水汽腐蚀和热冲击性能,发现复合材料表面的环境障涂层体系在1200℃、1300℃下静态氧化和循环氧化100h后皆保持表面完好,无剥落现象,具有较好的抗氧化性能。涂层在1300℃燃气热冲击试验寿命超过100次循环,且在1200℃、15%H_(2)O水汽环境中静态氧化100h以内的耐腐蚀性能良好。 展开更多
关键词 等离子物理沉积 环境障涂层(EBC) 氧化 水汽腐蚀 热冲击
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基于井-震联合的辫状河沉积微相分析--以鄂尔多斯盆地东胜气田锦77井区为例
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作者 李宏涛 《石油与天然气地质》 北大核心 2025年第1期91-107,共17页
为了弄清鄂尔多斯盆地东胜气田杭锦旗锦77井区下石盒子组1段(简称盒1段)层序沉积特征,通过岩心、测井和地震等资料研究岩石相测井曲线响应和地震反射特征,结合不同结构砂体地球物理正演结果,总结了盒1段沉积微相、测井相和地震相三相综... 为了弄清鄂尔多斯盆地东胜气田杭锦旗锦77井区下石盒子组1段(简称盒1段)层序沉积特征,通过岩心、测井和地震等资料研究岩石相测井曲线响应和地震反射特征,结合不同结构砂体地球物理正演结果,总结了盒1段沉积微相、测井相和地震相三相综合响应模式,划分了下石盒子组及其上、下地层各级层序界面,研究了内部沉积微相特征;利用地球物理属性地层切片技术,井-震结合、互为约束,确定了H1-2沉积微相平面展布。研究结果表明:①根据下石盒子组高频层序格架及砂体分布,将盒1段划分为4个小层。砂体主要分布在H1-1—H1-3小层,每个小层厚15~20 m。②综合盒1段岩性、沉积构造、沉积相标志、垂向组合和砂体分布特征,认为主要为低可容纳空间、物源供给充分、河道不固定的游荡性辫状河沉积,心滩、河道充填和泛滥平原是最主要的三种沉积微相。主要目的层H1-2小层发育近南北向条带状展布的辫状河道3~4条,宽度介于1~8 km,北部河道是心滩微相发育的有利部位。 展开更多
关键词 高频层序 -震结合 地球物理正演 沉积平面展布 H1-2小层 锦77井区 东胜 鄂尔多斯盆地
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连续物理气相沉积带钢涂镀研究进展与应用现状
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作者 赵兴源 刘昕 +4 位作者 刘秋元 邱肖盼 张子月 江社明 张启富 《材料导报》 北大核心 2025年第2期147-155,共9页
随着“碳达峰、碳中和”成为全球共识,新一代高强钢因在实现钢铁行业节能减排和汽车轻量化战略中扮演的关键角色受到了广泛的关注,但传统镀层技术电镀锌因氢脆危害和环保要求以及热镀锌的可镀性差等问题,已越来越难以满足其表面防护需... 随着“碳达峰、碳中和”成为全球共识,新一代高强钢因在实现钢铁行业节能减排和汽车轻量化战略中扮演的关键角色受到了广泛的关注,但传统镀层技术电镀锌因氢脆危害和环保要求以及热镀锌的可镀性差等问题,已越来越难以满足其表面防护需求。物理气相沉积技术通过真空镀膜方式解决了新一代高强钢电镀和热浸镀的现存难题,优异的表面质量、强附着力、广泛的镀料选择和环保特性使其成为下一代表面工程技术的重要发展方向。本文综述了PVD在带钢涂镀领域替代传统带钢防腐镀层技术(如电镀锌和热镀锌)的应用及发展前景,特别关注了PVD的热蒸发方法、带钢连续PVD涂镀的发展历史、研究进展及其在工业应用中的现状,最后展望了带钢连续PVD镀层技术未来的研究方向。 展开更多
关键词 物理沉积 带钢涂镀 锌及锌合金 耐腐蚀性
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等离子喷涂-物理气相沉积制备7YSZ热障涂层及其热导率研究 被引量:15
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作者 袁佟 邓畅光 +2 位作者 毛杰 邓春明 邓子谦 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1-6,共6页
通过等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术在3种不同工艺参数下制备7YSZ热障涂层。采用XRD和SEM分析涂层的相结构和微观组织,利用激光脉冲法测量涂层不同温度下的热导率。结果表明:通过调整工艺参数中电流的大小和等离子气体成分,可以... 通过等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术在3种不同工艺参数下制备7YSZ热障涂层。采用XRD和SEM分析涂层的相结构和微观组织,利用激光脉冲法测量涂层不同温度下的热导率。结果表明:通过调整工艺参数中电流的大小和等离子气体成分,可以制备截面呈柱状、致密层状和柱-颗粒状混合组织结构,表面呈"菜花"状或起伏的多峰状的YSZ热障涂层。涂层的相结构由粉末的单斜相氧化锆(m-ZrO_2)转变为涂层中的四方相氧化锆(t-ZrO_2),并保留至室温。在700~1100℃时,YSZ涂层的热导率随着温度的升高而增大。柱状晶结构涂层因具有较大的孔隙率,可以有效降低涂层的热导率,其热导率为1.0~1.2W·m^(-1)·K^(-1);而层状结构涂层由于比较致密,其热导率相对较高。 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积 7YSZ 热障涂层 热导率
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等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)制热障涂层(TBCs)抗燃气热腐蚀性能研究
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作者 袁小虎 李定骏 《东方汽轮机》 2019年第1期64-68,共5页
文章分析了等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)TBCs的抗燃气热腐蚀性能。结果表明:高温合金(Mar 247)直接暴露在燃气热腐蚀环境下腐蚀最严重,平均失重速率达2.035 9 g/m^2·h;涂覆MCrAlY涂层后, MCrAlY涂层腐蚀平均失重速率为0.157 8 ... 文章分析了等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)TBCs的抗燃气热腐蚀性能。结果表明:高温合金(Mar 247)直接暴露在燃气热腐蚀环境下腐蚀最严重,平均失重速率达2.035 9 g/m^2·h;涂覆MCrAlY涂层后, MCrAlY涂层腐蚀平均失重速率为0.157 8 g/m^2·h,基材未被腐蚀得到保护;涂覆TBCs(MCrAlY+8YSZ)后, MCrAlY/YSZ涂层未出现腐蚀剥落现象,抗燃气热腐蚀效果最好。 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积 TBCS 高温合金 抗燃热腐蚀
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等离子喷涂-物理气相沉积YSZ热障涂层的制备及微观结构研究 被引量:4
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作者 徐静 毛杰 +4 位作者 梁兴华 邓子谦 邓春明 邓畅光 刘敏 《广西科技大学学报》 2021年第4期17-21,共5页
热障涂层与冷却技术结合可以极大地提高航空涡轮发动机叶片的服役温度,而羽毛柱状结构的等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)热障涂层因其热导率低、应变容限良好、热循环寿命长等优势备受关注.通过进行物相分析,使用扫描电子显微镜(SEM)... 热障涂层与冷却技术结合可以极大地提高航空涡轮发动机叶片的服役温度,而羽毛柱状结构的等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)热障涂层因其热导率低、应变容限良好、热循环寿命长等优势备受关注.通过进行物相分析,使用扫描电子显微镜(SEM)观察热障涂层表面及截面的形貌结构;在SEM二维图像的基础上,使用图像法计算孔隙率.结果表明:通过PS-PVD设备制备出的热障涂层结晶度良好,空间点矩阵属于P/nmc(137),为四方结构,涂层平均平面孔隙率较大,为20.03%,具有良好的隔热性能. 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积(PS-PVD) 热障涂层 制备 微观结构
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物理气相沉积法在泡沫钛基底上生长硒化铟纳米棒研究
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作者 侯尹慧 刘曦 《常熟理工学院学报》 2025年第2期26-29,共4页
本文基于一维纳米材料的气—液—固(Vapor-Liquid-Solid,VLS)生长机理,采用简单的物理气相沉积法,以硒化铟(In_(2)Se_(3))粉末为前驱体,在镀金(Au)的泡沫钛基底上实现生长出高密度的一维In_(2)Se_(3)纳米棒.通过扫描电子显微镜(Scanning... 本文基于一维纳米材料的气—液—固(Vapor-Liquid-Solid,VLS)生长机理,采用简单的物理气相沉积法,以硒化铟(In_(2)Se_(3))粉末为前驱体,在镀金(Au)的泡沫钛基底上实现生长出高密度的一维In_(2)Se_(3)纳米棒.通过扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)的结果表明,相比于普通的单晶硅基底,在泡沫钛基底上生长的一维In_(2)Se_(3)纳米棒具有更高的密度,且泡沫钛基底能够重复使用,在提高制备效率的同时极大降低了制备成本. 展开更多
关键词 泡沫钛基底 物理沉积 VLS In_(2)Se_(3)纳米棒
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等离子喷涂-物理气相沉积涡轮叶片7YSZ热障涂层 被引量:9
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作者 付朗 张小锋 +2 位作者 刘敏 曾德长 倪建洋 《材料研究与应用》 CAS 2020年第2期95-101,共7页
以纳米团聚的氧化钇稳定氧化锆(7YSZ)粉末为原料,通过等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术在涂覆有NiCoCrAlY粘结层涡轮叶片表面制备了羽毛柱状热障涂层,对不同部位涂层的微观结构进行表征.结果表明:PS-PVD技术在涡轮叶片上不同部位制... 以纳米团聚的氧化钇稳定氧化锆(7YSZ)粉末为原料,通过等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术在涂覆有NiCoCrAlY粘结层涡轮叶片表面制备了羽毛柱状热障涂层,对不同部位涂层的微观结构进行表征.结果表明:PS-PVD技术在涡轮叶片上不同部位制备的热障涂层结构相同,能够在非视线沉积区域的叶缘板表面获得典型的PS-PVD热障涂层结构.涂层沉积过程中,涡轮叶片构型对涂层沉积效率有明显影响,当喷枪垂直叶片旋转轴时,涂层在远离叶片旋转轴区域的厚度较低,原因在于凹型曲面对反射粒子具有汇聚作用而凸型曲面对粒子具有分散作用,两种因素结合可预测复杂构型叶片表面的涂层厚度分布规律.PS-PVD技术制备的热障涂层具有良好的抗热震性能,采用涂层表面镀铝改性工艺能减缓循环热应力造成的涂层失效. 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积 热障涂层 涡轮叶片 镀铝改性
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等离子喷涂-物理气相沉积防护涂层及其失效机理研究进展 被引量:3
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作者 董浩 梁兴华 +1 位作者 王玉 张小锋 《材料研究与应用》 CAS 2023年第2期234-250,共17页
防护涂层在航空发动机和燃气涡轮发动机免受水氧腐蚀和盐雾侵蚀、耐高温、抗冲刷和服役寿命方面发挥着重要的作用。等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术以其大功率、喷射范围广、能够使粉末原料以气相甚至离子化和非视线沉积特性等特... 防护涂层在航空发动机和燃气涡轮发动机免受水氧腐蚀和盐雾侵蚀、耐高温、抗冲刷和服役寿命方面发挥着重要的作用。等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术以其大功率、喷射范围广、能够使粉末原料以气相甚至离子化和非视线沉积特性等特点被广泛应用在热/环境障涂层制备领域,形成的涂层具有沉积效率高、孔隙率较高、热导率低、应变容限高等特点。首先,对PS-PVD热障涂层的表面形貌、柱状晶特点和等离子射流特性进行了探讨。然后,讨论了PS-PVD YSZ热障涂层表面镀铝改性对涂层抗CMAS侵蚀、减少孔隙和裂纹、TGO的生成和提高热循环寿命方面的重要作用,结果表明表面镀铝能显著减少涂层表面孔隙、凹坑、微裂纹和熔融盐对于热障涂层的不利影响。其次,简要概述了近年来SiCf/SiC CMCs代替镍基高温合金在航空发动机基体上抗高温高压和快速失效方面发挥的重要作用。SiCf/SiC CMCs与T/EBCs的结合,有效延长了航空发动机的使用寿命,是我国航空事业的又一次重大突破。此外,重点介绍了PS-PVD非视线沉积特性和涂层阴影效应在涂层沉积方面这一特色,总结了TGO、残余应力、热膨胀失配、微裂纹和粗糙度是涂层失效的主要影响因素。最后,对PS-PVD技术未来在制备热/环境障涂层方面的前景进行了展望。 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积 热障涂层 环境障涂层 涂层防护 失效机理
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等离子喷涂-物理气相沉积7YSZ热障涂层高温氧化过程中的阻抗谱分析 被引量:4
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作者 陈文龙 刘敏 +3 位作者 张吉阜 邓子谦 肖晓玲 唐维学 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期602-606,共5页
采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)在预处理的粘结层表面制备了柱状结构的7YSZ热障涂层,并在大气环境下测试了该涂层在950℃的静态高温氧化性能。利用透射电镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)等对热障涂层进行了表征,并采... 采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)在预处理的粘结层表面制备了柱状结构的7YSZ热障涂层,并在大气环境下测试了该涂层在950℃的静态高温氧化性能。利用透射电镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)等对热障涂层进行了表征,并采用阻抗谱分析研究了该涂层在高温氧化过程中的结构演变过程。结果表明,7YSZ热障涂层是由二次柱状晶及其纳米间隙、柱状枝晶间孔隙和分布在枝晶上的微纳米固态颗粒组合形成。阻抗分析表明,热生长氧化物(TGO)层在高温氧化150 h后氧空位含量减少,致密度增加。在高温氧化过程中,二次柱状晶的内部结构没有发生明显改变。此外,氧化过程中YSZ层内形成的烧结收缩裂纹是导致YSZ晶界电容值减小、电阻值增加的主要原因。 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理沉积 柱状结构 热障涂层 高温氧化 阻抗谱
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等离子喷涂-物理气相沉积用YSZ粉末制备及涂层表征 被引量:6
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作者 邓子谦 殷建安 +2 位作者 刘敏 邓春明 毛杰 《湘潭大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第6期52-60,共9页
热障涂层与高温合金、气膜冷却技术并称为航空发动机涡轮叶片的三大关键技术.等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)工艺是最具潜力的未来航空发动机热障涂层制备方法之一,其制备的羽-柱状结构热障涂层兼具APS和EB-PVD热障涂层的优点.为了进... 热障涂层与高温合金、气膜冷却技术并称为航空发动机涡轮叶片的三大关键技术.等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)工艺是最具潜力的未来航空发动机热障涂层制备方法之一,其制备的羽-柱状结构热障涂层兼具APS和EB-PVD热障涂层的优点.为了进一步提高热障涂层性能,需要开发与PS-PVD工艺相匹配的新型YSZ粉末.该文先采用喷雾干燥法制备出3种不同纳米团聚YSZ粉末,再使用相同PS-PVD工艺制备成涂层,最后对粉末特性和涂层性能进行评价,以研究制粉工艺-粉末特性-涂层性能之间的联系.实验结果表明:悬浮液固含量越高,制备出的粉末呈现球形越规则,粒径也越大,喷涂的气化率和沉积率越高;制备的YSZ涂层由致密初始生长层和羽-柱状结构两部分构成;使用固含量45%的悬浮液制备的粉末喷涂所获得的涂层具有良好的结合强度和抗热震性能. 展开更多
关键词 热障涂层 等离子喷涂-物理沉积 柱状结构涂层 氧化锆粉末 喷雾干燥法
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等离子喷涂-物理气相沉积稀土高温功能涂层研究进展 被引量:6
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作者 邓春明 肖娟 +5 位作者 曹家旭 张小锋 牛少鹏 毛杰 邓子谦 宋琛 《材料研究与应用》 CAS 2019年第3期247-251,256,共6页
稀土素有工业"维生素"之称,是重要的战略性物资,其在改进材料性能,尤其是高温功能涂层性能方面有着不可替代的作用.等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术通过粉末材料和工艺调整,可实现材料的气、液、固多相沉积,从而获得不... 稀土素有工业"维生素"之称,是重要的战略性物资,其在改进材料性能,尤其是高温功能涂层性能方面有着不可替代的作用.等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术通过粉末材料和工艺调整,可实现材料的气、液、固多相沉积,从而获得不同结构的功能涂层,如柱状热障涂层、高致密电解质薄层等,是当前表面工程的研究热点.总结了广东省新材料研究在稀土高温功能涂层材料以及采用PS-PVD沉积热障涂层、环境障涂层、混合导体透氧膜等方面的研究进展,指出稀土高温功能涂层材料在高端武器装备、新能源等中的重要性,强调我国应该加强精加工、投入开发高品质稀土高温功能涂层材料. 展开更多
关键词 稀土高温功能涂层 等离子喷涂-物理沉积 热障涂层 环境障涂层 混合导体透氧膜 SOFC电解质
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等离子物理气相沉积热障涂层研究 被引量:19
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作者 郭洪波 魏亮亮 +3 位作者 张宝鹏 高丽华 宫声凯 徐惠彬 《航空制造技术》 2015年第22期26-31,共6页
TBCs在发动机叶片上的使用,可显著提高发动机的工作温度,从而提高发动机的工作效率和推力,同时可降低涡轮叶片合金工作温度,从而大幅度提高发动机寿命和可靠性。
关键词 物理沉积 热障涂层 等离子 发动机叶片 工作温度 发动机寿命 TBCS 工作效率
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等离子体辅助电子束物理气相沉积制备热防护涂层 被引量:9
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作者 彭徽 郭洪波 +1 位作者 宫声凯 徐惠彬 《航空制造技术》 2016年第21期98-104,共7页
电子束物理气相沉积(Electrom Beam-Physical Vapor Deposition,EB-PVD)是制备航空发动机热防护涂层的一种重要技术手段。采用等离子体辅助技术可进一步实现EB-PVD涂层的结构改性和性能提升。对等离子体辅助EB-PVD技术的研究现状进行了... 电子束物理气相沉积(Electrom Beam-Physical Vapor Deposition,EB-PVD)是制备航空发动机热防护涂层的一种重要技术手段。采用等离子体辅助技术可进一步实现EB-PVD涂层的结构改性和性能提升。对等离子体辅助EB-PVD技术的研究现状进行了简要综述,并对等离子体辅助EB-PVD制备航空发动机MCr Al Y抗氧化涂层、氮化物抗冲蚀涂层及YSZ热障涂层研究进行了介绍。 展开更多
关键词 电子束物理沉积 等离子 防护涂层 抗氧化 抗冲蚀 热障涂层
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采用空心阴极放电等离子体化学气相沉积方法制备a-CH薄膜 被引量:2
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作者 陈志梅 吴卫东 +3 位作者 唐永建 许华 唐晓虹 李常明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期611-614,共4页
 研究了不同衬底 阴极距离、直流电压和H2流量对a CH薄膜沉积速率的影响。结果表明:衬底 阴极距离必须大于0.5cm,随着该距离的增加,薄膜的沉积速率减少;直流电压达550V时沉积速率最大;随着H2含量的增加,CH4含量相对减少,沉积速率随之...  研究了不同衬底 阴极距离、直流电压和H2流量对a CH薄膜沉积速率的影响。结果表明:衬底 阴极距离必须大于0.5cm,随着该距离的增加,薄膜的沉积速率减少;直流电压达550V时沉积速率最大;随着H2含量的增加,CH4含量相对减少,沉积速率随之降低。用AFM观察了以该方法制得的448.4nmCH薄膜的表面形貌,表面粗糙度约为10nm。最后测出了不同条件下CH薄膜的UV VIS谱,由此可以计算得到薄膜的禁带宽度及折射率。 展开更多
关键词 等离子 化学沉积 空心阴极放电 CH薄膜
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微波等离子体化学气相沉积β-C_3N_4超硬膜的研究 被引量:1
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作者 张永平 顾有松 +5 位作者 常香荣 田中卓 时东霞 马立平 张秀芳 袁磊 《河北科技大学学报》 CAS 1999年第4期1-4,共4页
采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),用高纯氮气(99.999% )和甲烷(99.9% )作反应气体,在多晶铂(Pt)基片上沉积C3N4 薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)观察薄膜形貌... 采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),用高纯氮气(99.999% )和甲烷(99.9% )作反应气体,在多晶铂(Pt)基片上沉积C3N4 薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)观察薄膜形貌表明,薄膜由针状晶体组成。X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分。对不同样品不同区域的分析结果表明,N/C比接近于4/3。X射线衍射结构分析说明该膜主要由β-C3N4 和α-C3N4 组成。利用Nano indenter Ⅱ测得C3N4 膜的体弹性模量B达到349 GPa,接近c-BN(367 GPa)的体弹性模量,证明C3N4 化合物是超硬材料家族中的一员。 展开更多
关键词 微波 等离子 化学沉积 薄膜 沉积
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射频-直流等离子体增强化学气相沉积设备的研制 被引量:1
18
作者 陈建国 程宇航 +1 位作者 吴一平 乔学亮 《真空与低温》 1998年第1期30-34,共5页
综合利用射频和直流辉光放电的特点研制成功射频-直流等离子化学气相沉积设备。成功地用该设备制备出类金刚石薄膜。类金钢石薄膜的沉积速率随极板负偏压、气体工作压力的增加而增大。
关键词 等离子 化学沉积 类金刚石 薄膜 设备
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等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构
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作者 于翔 于俊峰 王成彪 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期83-85,共3页
利用X射线衍射 (XRD)和X光电子能谱 (XPS)等技术对射频 -直流 -等离子化学气相沉积 (RF -DC -PVCD)在钢基体上Si-B -N复合薄膜的组成和结构进行分析和研究 ;结果表明 ,通过给试样基体加一适当的直流负偏压 ,得到含有显著六方氮化硼 (h_... 利用X射线衍射 (XRD)和X光电子能谱 (XPS)等技术对射频 -直流 -等离子化学气相沉积 (RF -DC -PVCD)在钢基体上Si-B -N复合薄膜的组成和结构进行分析和研究 ;结果表明 ,通过给试样基体加一适当的直流负偏压 ,得到含有显著六方氮化硼 (h_BN)、立方氮化硼 (c_BN)结晶相的Si-B 展开更多
关键词 Si-B-N复合薄膜 负偏压 结构 组成 --氮复合薄膜 金属 表面处理 等离子体化学沉积
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等离子物理气相沉积热障涂层研究进展 被引量:30
20
作者 石佳 魏亮亮 +4 位作者 张宝鹏 高丽华 郭洪波 宫声凯 徐惠彬 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期1-9,共9页
等离子物理气相沉积(plasma spray-physical vapor deposition,PS-PVD)是一种最近发展的功能薄膜与涂层制备技术。该技术结合了等离子喷涂(PS)和物理气相沉积(PVD)两种技术的特点,可以实现气、液、固多相的快速共沉积,进行涂层/薄膜微... 等离子物理气相沉积(plasma spray-physical vapor deposition,PS-PVD)是一种最近发展的功能薄膜与涂层制备技术。该技术结合了等离子喷涂(PS)和物理气相沉积(PVD)两种技术的特点,可以实现气、液、固多相的快速共沉积,进行涂层/薄膜微结构的高度柔性加工,并可实现复杂工件遮蔽区域的非视线均匀沉积,在热障涂层、环境障涂层、超硬耐磨涂层、透氧膜和电极膜等领域具有广阔的应用前景,被认为代表了高性能热/环境障涂层制备技术的发展方向。本文综述了PS-PVD的工作原理、技术特点以及近年来国内外在PS-PVD热障涂层制备科学和沉积机理等方面的研究进展,展望了新型高性能热障涂层制备技术的研究热点及未来的发展方向。 展开更多
关键词 等离子物理沉积(PS-PVD) 热障涂层 工艺 沉积机理
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