采用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术在海工用钢E690表面沉积Ti N与Ti Al N涂层。采用划痕仪测量膜基结合力、X射线衍射仪(XRD)分析薄膜物相、摩擦磨损试验机测量摩擦系数、SEM观察磨痕形貌。结果表明:涂层Ti N具有强烈(111)择优取向,Ti A...采用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术在海工用钢E690表面沉积Ti N与Ti Al N涂层。采用划痕仪测量膜基结合力、X射线衍射仪(XRD)分析薄膜物相、摩擦磨损试验机测量摩擦系数、SEM观察磨痕形貌。结果表明:涂层Ti N具有强烈(111)择优取向,Ti Al N择优取向为(200)。Ti N、Ti Al N涂层的平均结合力为35.3、32.9 N;Ti N、Ti Al N涂层后E690钢的摩擦系数分别为0.19、0.11,与E690钢基体相比分别降低了29.6%、59.3%。E690钢试样的磨损机制主要为黏着磨损,涂层后以疲劳磨损为主。涂层后的E690钢具有更好的减摩性、耐磨性,其中沉积Ti Al N涂层的抗磨减摩效果更好。展开更多
文摘采用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术在海工用钢E690表面沉积Ti N与Ti Al N涂层。采用划痕仪测量膜基结合力、X射线衍射仪(XRD)分析薄膜物相、摩擦磨损试验机测量摩擦系数、SEM观察磨痕形貌。结果表明:涂层Ti N具有强烈(111)择优取向,Ti Al N择优取向为(200)。Ti N、Ti Al N涂层的平均结合力为35.3、32.9 N;Ti N、Ti Al N涂层后E690钢的摩擦系数分别为0.19、0.11,与E690钢基体相比分别降低了29.6%、59.3%。E690钢试样的磨损机制主要为黏着磨损,涂层后以疲劳磨损为主。涂层后的E690钢具有更好的减摩性、耐磨性,其中沉积Ti Al N涂层的抗磨减摩效果更好。
