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ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析
被引量：
1
1
作者
赵文锋
陈俊芳
孟然
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期3134-3137,共4页
为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能量分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究。原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子...
为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能量分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究。原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度。改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大。低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显。改变基底直流偏压,对得到的发射光谱强度变化分析表明,谱线强度随基底正偏压的增加而增大。随着基底负偏压的加入,谱线强度先减小而后增大;直流偏压为-30V时,光谱强度最弱。快速离子和电子是引起Ar激发和电离过程的主要能量来源。
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关键词
发射光谱
感应耦合
等离子体
等离子体鞘层附近区域
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职称材料
基于多区域面积分方程的电大非均匀等离子体电磁特性高效计算方法
被引量：
1
2
作者
张慧雯
陈宇浩
+1 位作者
黄晓伟
盛新庆
《电波科学学报》
CSCD
北大核心
2024年第1期26-38,共13页
针对临近空间等离子体包覆目标的电磁特性快速准确评估这一迫切需求,本文运用基于多区域面积分方程(multi-region surface integral equation, MR-SIE)的全波数值计算方法,展现电大尺度、非均匀、高负介电常数等离子体的电磁散射与辐射...
针对临近空间等离子体包覆目标的电磁特性快速准确评估这一迫切需求,本文运用基于多区域面积分方程(multi-region surface integral equation, MR-SIE)的全波数值计算方法,展现电大尺度、非均匀、高负介电常数等离子体的电磁散射与辐射问题的仿真能力。首先,推导了非均匀等离子体的MR-SIE,使用间断伽辽金(discontinuous Galerkin, DG)方法提高对多区域复杂等离子体目标的建模与计算效率,研究了不同方程的数值性能;随后针对电子密度较大的高负介电常数区等离子体,运用一种简洁高效的截断策略,进一步提升了多层快速多极子算法的鲁棒性,避免了SIE计算高损耗介质内问题面临的数值不稳定性。数值实验表明,该方法在计算多种分割方式的多区域等离子体鞘套模型时具有良好的精度和效率,可用于大尺度复杂等离子体目标电磁辐射与散射特性的快速精确评估。
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关键词
多
区域
目标面积分方程(MR-SIE)
等离子体
鞘
套
负介电常数
多
层
快速多极子算法(MLFMA)
间断伽辽金(DG)
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职称材料
题名
ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析
被引量：
1
1
作者
赵文锋
陈俊芳
孟然
机构
华南师范大学广东省高等学校物理与电信工程学院
华南农业大学工程学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期3134-3137,共4页
基金
国家自然科学基金项目(10575039)
高等学校博士学科点专项科研基金项目(20040574008)资助
文摘
为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能量分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究。原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度。改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大。低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显。改变基底直流偏压,对得到的发射光谱强度变化分析表明,谱线强度随基底正偏压的增加而增大。随着基底负偏压的加入,谱线强度先减小而后增大;直流偏压为-30V时,光谱强度最弱。快速离子和电子是引起Ar激发和电离过程的主要能量来源。
关键词
发射光谱
感应耦合
等离子体
等离子体鞘层附近区域
Keywords
Optical emission spectrum
ICP plasma
Vicinity of plasma sheath
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
基于多区域面积分方程的电大非均匀等离子体电磁特性高效计算方法
被引量：
1
2
作者
张慧雯
陈宇浩
黄晓伟
盛新庆
机构
北京理工大学集成电路与电子学院射频技术与软件研究所
出处
《电波科学学报》
CSCD
北大核心
2024年第1期26-38,共13页
基金
国家自然科学基金重点项目(62231003)
博士后创新人才支持计划(BX20220376)
中国博士后科学基金面上项目(2022M720421)。
文摘
针对临近空间等离子体包覆目标的电磁特性快速准确评估这一迫切需求,本文运用基于多区域面积分方程(multi-region surface integral equation, MR-SIE)的全波数值计算方法,展现电大尺度、非均匀、高负介电常数等离子体的电磁散射与辐射问题的仿真能力。首先,推导了非均匀等离子体的MR-SIE,使用间断伽辽金(discontinuous Galerkin, DG)方法提高对多区域复杂等离子体目标的建模与计算效率,研究了不同方程的数值性能;随后针对电子密度较大的高负介电常数区等离子体,运用一种简洁高效的截断策略,进一步提升了多层快速多极子算法的鲁棒性,避免了SIE计算高损耗介质内问题面临的数值不稳定性。数值实验表明,该方法在计算多种分割方式的多区域等离子体鞘套模型时具有良好的精度和效率,可用于大尺度复杂等离子体目标电磁辐射与散射特性的快速精确评估。
关键词
多
区域
目标面积分方程(MR-SIE)
等离子体
鞘
套
负介电常数
多
层
快速多极子算法(MLFMA)
间断伽辽金(DG)
Keywords
multi-region surface integral equation
plasma sheath
negative permittivity
multilevel fast multipole algorithm(MLFMA)
discontinuous Galerkin(DG)
分类号
O441 [理学—电磁学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析
赵文锋
陈俊芳
孟然
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
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职称材料
2
基于多区域面积分方程的电大非均匀等离子体电磁特性高效计算方法
张慧雯
陈宇浩
黄晓伟
盛新庆
《电波科学学报》
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
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职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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