期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
气压对大面积等离子体片电子密度分布的影响 被引量:2
1
作者 夏俊明 孙海龙 +5 位作者 霍文青 徐跃民 孙越强 白伟华 柳聪亮 孟祥广 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期210-215,共6页
利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在15mT磁场约束下,产生了持续时间为200μs、峰值放电电流为3A、面积为60cm×60cm的大面积等离子体片。采用快帧法和旋转空心阴极法,在90~210Pa内,利用朗缪尔探针首次获得了不同气压的等离子体... 利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在15mT磁场约束下,产生了持续时间为200μs、峰值放电电流为3A、面积为60cm×60cm的大面积等离子体片。采用快帧法和旋转空心阴极法,在90~210Pa内,利用朗缪尔探针首次获得了不同气压的等离子体片的厚度向电子密度分布及其演化构成的二维分布图;研究了在同等峰值放电电流条件下,等离子体片达到最大厚度向峰值电子密度时,气压对所需放电时间、最大厚度向峰值电子密度及电子密度半高宽的影响。结果表明:在相同的峰值放电电流条件下,等离子体片达到最大厚度向峰值电子密度的时间随气压的降低而减小;气压越低,最大厚度向峰值电子密度越大,电子密度半高宽越小。 展开更多
关键词 线形空心阴极 面积等离子体 电子密度分布 快帧 电子密度半高宽
在线阅读 下载PDF
大面积等离子体片分层现象的实验研究
2
作者 夏俊明 孙越强 +4 位作者 霍文青 孙海龙 白伟华 柳聪亮 孟祥广 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期180-185,共6页
为了研究大面积等离子体片的分层特性,利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在150 Pa氦气中产生了持续时间为200μs、面积为60 cm×60 cm的大面积等离子体片。采用快帧法和旋转空心阴极法利用郎缪尔探针首次获得了等离子体片分层时... 为了研究大面积等离子体片的分层特性,利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在150 Pa氦气中产生了持续时间为200μs、面积为60 cm×60 cm的大面积等离子体片。采用快帧法和旋转空心阴极法利用郎缪尔探针首次获得了等离子体片分层时厚度方向电子密度分布及其演化构成的二维分布图;基于获得的二维分布图,研究了分层等离子体片厚度方向电子密度的分布特征与磁场强度和放电电流的关系。实验发现,等离子体片分层时厚度方向电子密度呈现双峰曲线分布特征;当放电电流为2 A,磁场强度为1.5×10^(-2),2.25×10^(-2),3×10^(-2)T时,双峰间距分别为0,3.2,8.4 mm;当磁场为3×10^(-2)T,电流为1,2,3,4 A时,双峰间距分别为8.6,8.2,6.8,5 mm。结果表明:分层等离子体密度峰值间距随着磁场的增强和放电电流的降低而增大。 展开更多
关键词 线形空心阴极 面积等离子体 电子密度分布 快帧
在线阅读 下载PDF
大面积分散电弧等离子体的ICCD图像分析 被引量:1
3
作者 周鹤凌 夏维东 +3 位作者 黎林村 周志鹏 白冰 程亮 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期265-269,共5页
用增强型电荷耦合检测器(ICCD)和窄带干涉滤光片相结合的方法拍摄了未饱和氩等离子体的分散电弧的非饱和图像。对不同励磁电流下电弧形态的分析比较,证实了在强电磁力的作用下弧柱趋于扩散。在电弧完全分散条件下,对ICCD拍摄非饱和图像... 用增强型电荷耦合检测器(ICCD)和窄带干涉滤光片相结合的方法拍摄了未饱和氩等离子体的分散电弧的非饱和图像。对不同励磁电流下电弧形态的分析比较,证实了在强电磁力的作用下弧柱趋于扩散。在电弧完全分散条件下,对ICCD拍摄非饱和图像的光强分析,表明分散电弧具有较为均匀的分布。所采集的电弧电压的脉动幅度显著降低,分散电弧稳定运行。实验中观测到了稳定的多阴极弧根和弥散阴极弧根的现象,这表明电弧已扩散。 展开更多
关键词 面积电弧等离子体 ICCD 非饱和图像 分散电弧 阴极弧根 光强分析
在线阅读 下载PDF
C波段微波入射大面积等离子体面的特性研究
4
作者 端木刚 赵长明 +1 位作者 丁亮 徐跃民 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第6期1183-1188,共6页
利用空心阴极放电产生了尺寸为60cm×60cm×2cm的大面积等离子体,以放电气压、电流为变量,研究了不同频率的C波段微波入射大面积等离子体的透射、反射和吸收等特性.结果显示:反射、透射和吸收三种相互作用同时存在;随着放电电... 利用空心阴极放电产生了尺寸为60cm×60cm×2cm的大面积等离子体,以放电气压、电流为变量,研究了不同频率的C波段微波入射大面积等离子体的透射、反射和吸收等特性.结果显示:反射、透射和吸收三种相互作用同时存在;随着放电电流的增强,入射波的反射减弱、透射增强;当气压升高时,等离子体对入射波的吸收增强;当等离子体的密度和电子碰撞频率与入射波的频率发生耦合时,高达40%的入射波能量会被等离子体吸收.本研究表明:低气压下的大面积等离子体可作为波束切换工具;调节等离子体放电参数,可改变微波在等离子体面的传播特性. 展开更多
关键词 空心阴极放电 C波段微波 面积等离子体
在线阅读 下载PDF
微波液相等离子体发射光谱研究 被引量:1
5
作者 王波 孙冰 +3 位作者 朱小梅 严志宇 刘永军 刘慧 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1182-1185,共4页
为了研究微波液相放电等离子体的基本物理现象和放电特性,为微波液相放电技术奠定一定的理论基础,利用发射光谱仪对水中微波液相放电及放电中产生的活性粒子进行了检测,同时对微波液相放电光谱数据统计方法进行了研究。利用发射光谱仪... 为了研究微波液相放电等离子体的基本物理现象和放电特性,为微波液相放电技术奠定一定的理论基础,利用发射光谱仪对水中微波液相放电及放电中产生的活性粒子进行了检测,同时对微波液相放电光谱数据统计方法进行了研究。利用发射光谱仪结合数控摄像机对微波液相放电过程中起始放电和稳定放电两个过程进行了同步检测拍摄。实验结果发现:微波液相等离子体发射光谱强度波动较大,光谱强度可以用10个光谱数据点进行平均计算;放电的强度在一定程度上可以由等离子体区域面积所反映,尽管如此,等离子体区域面积和羟基自由基发射光谱强度的变化梯度并不一致,这主要是因为在放电过程中,放电强度不仅体现在等离子体区域面积,同时也与等离子体区域的亮度有关。 展开更多
关键词 微波液相放电 发射光谱 等离子体面积 平均统计
在线阅读 下载PDF
大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟 被引量:1
6
作者 赵明亮 张钰如 +2 位作者 高飞 宋远红 王友年 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期2891-2899,共9页
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形... 利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形状对各种等离子体参数的三维空间分布和均匀性的影响.研究结果表明,当放电气压较低时(4 mTorr),电子密度的空间分布比较均匀,且电子密度的最大值出现在腔室的中心区域.感性沉积功率密度、激发态氩原子密度以及电子温度的最大值出现在线圈的下方.随着放电功率的增加,即从1000 W增加到4000 W,电子密度显著提高,但电子密度的空间分布变化不大.随着放电气压的升高,电子密度的均匀性明显下降,即电子密度的最大值主要局域在线圈下方.这是因为在较高的气压下,带电粒子与背景气体的碰撞增加,因此使得带电粒子的密度分布变得局域.此外,文章还研究了不同的线圈结构对于等离子体均匀性的影响.结果表明当气压较高(20 mTorr)时,使用3×3阵列线圈产生的等离子体的均匀性优于盘香型线圈,即通过改变线圈结构可以实现对等离子体均匀性的调控.文章的研究成果有助于加深对大面积矩形感性耦合等离子体放电特性的认知,这对于优化平板显示工艺以及光伏工艺至关重要. 展开更多
关键词 面积矩形感性耦合等离子体 三维流体力学模拟 平板显示工艺 光伏工艺
在线阅读 下载PDF
用于医疗器械快速灭菌的低温等离子体装置研究
7
作者 李兵 辛朝 +2 位作者 尚中昱 李昂 姜涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期62-71,共10页
现有低温等离子体技术存在放电范围小、放电电压高等局限性,不适用于大尺寸医疗器械的消毒灭菌。本文研制了一种灭菌装置,在较低击穿电压下(大气压氦气325 V,大气压空气585 V)产生了大面积等离子体,且创新性地在印刷电路板上实现了气体... 现有低温等离子体技术存在放电范围小、放电电压高等局限性,不适用于大尺寸医疗器械的消毒灭菌。本文研制了一种灭菌装置,在较低击穿电压下(大气压氦气325 V,大气压空气585 V)产生了大面积等离子体,且创新性地在印刷电路板上实现了气体放电。通过COMSOL等离子体仿真以及实际放电实验,同时实现了低气压与大气压环境下的均匀辉光放电,放电实验结果表明:相对气压在-70~-50 kPa范围内,击穿电压值最低。通过灭菌实验,验证了此灭菌装置产生等离子体的灭菌效能,并对影响灭菌效果的因素进行了探究,灭菌实验结果表明:电源频率是影响灭菌效果的最关键因素,灭菌时间其次,氦气气压对灭菌效果影响最小。对于一定浓度的大肠杆菌,6 min即可达到完全灭菌。 展开更多
关键词 面积低温等离子体 气体放电 放电特性 消毒灭菌
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部