可激发等离子体表面波的离子交换单模条波导 被引量：1

1

作者 刘瑾 陈抱雪 杨海马 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期2342-2348,共7页

设计并制备了离子交换单模条波导,用于激发等离子体表面波。研究了波导设计过程中相关参数的确定方法、条波导制备过程涉及的二维扩散问题,折射率分布以及等离子体表面波的激发等。基于Ag+-Na+离子交换技术在德国B270光学玻璃上制备出... 设计并制备了离子交换单模条波导,用于激发等离子体表面波。研究了波导设计过程中相关参数的确定方法、条波导制备过程涉及的二维扩散问题,折射率分布以及等离子体表面波的激发等。基于Ag+-Na+离子交换技术在德国B270光学玻璃上制备出渐变型平面波导,采用余误差函数拟合其折射率分布,得到了一定工艺参数下的光波导扩散系数Deff与折射率增量值Δn。在此基础上,利用等效折射率法给出单模波导条件,设计相应的工艺参数,以光刻技术为核心在0.1%AgNO3～99.9%NaNO3混合熔融盐中实验制备了单模条波导,并进行模场分布测试。结果表明,制得的单模条波导具有良好的单模特性;在此波导上镀50nm的金膜,采用40%～70%的甘油溶液进行测试,可激发等离子体表面波。 展开更多

关键词 单模条波导 离子交换 等离子体表面波

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高限制等离子体表面波槽形结构 被引量：2

2

作者 陈献 郝寅雷 +2 位作者 王明华 杨建义 江晓清 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1986-1990,共5页

基于等离子体表面波的物理机理,提出一种具有高限制因子的二维亚波长槽形结构.该结构能在二维上都限制在亚波长尺寸,其能量主要限制在芯区中,当芯区横截面尺寸为200nm×800nm,能量限制因子高达98.5%,横向模式尺寸近似于芯区宽度;当... 基于等离子体表面波的物理机理,提出一种具有高限制因子的二维亚波长槽形结构.该结构能在二维上都限制在亚波长尺寸,其能量主要限制在芯区中,当芯区横截面尺寸为200nm×800nm,能量限制因子高达98.5%,横向模式尺寸近似于芯区宽度;当金属墙厚度大于截止厚度,横向模式尺寸能够达到深亚波长尺寸.该结构的基模分量Ex限制在芯区中,而分量Ey只在矩形介质芯区四个与金属接触的直角处被激励,并且关于x轴、y轴具有反对称性. 展开更多

关键词 集成光学 等离子体表面波 限制因子 高限制

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He-Ar潘宁过程对表面波等离子体的影响 被引量：6

3

作者 王坤 李建 +4 位作者 王世庆 郦文忠 柳建 徐灵飞 孙乃峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期264-267,共4页

潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电,特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究,目前还很少有报道。本文介绍了一种由Ro-box装置激发的SWP源,通过实验方式研究了此装置产生的表面波等离子体柱中的He-A... 潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电,特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究,目前还很少有报道。本文介绍了一种由Ro-box装置激发的SWP源,通过实验方式研究了此装置产生的表面波等离子体柱中的He-Ar潘宁过程对其物理性质的影响。结果表明,合适配比的潘宁气体对于表面波等离子体柱特性有很大影响,它可以有效地降低放电起始功率和放电维持功率,延长等离子体柱长度,提高等离子体密度等;在此过程中电子温度略降低。本研究为在表面波等离子体应用中获取合适的等离子体参量提供了新的途径。 展开更多

关键词 表面波等离子体 潘宁效应 朗缪尔双探针

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表面波等离子体柱导电性及其激发系统方案 被引量：3

4

作者 王世庆 向茜 +2 位作者 柳建 位朝垒 孙乃峰 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期392-396,共5页

表面波等离子体柱可用于具有隐身性能的等离子体天线,而提高低频激励表面波等离子体柱的导电性能是一个难题。该文通过分析等离子体密度与功率的平衡关系,导出了单极表面波激励弱电离等离子体柱电导率与激励功率和频率的关系,利用数字... 表面波等离子体柱可用于具有隐身性能的等离子体天线,而提高低频激励表面波等离子体柱的导电性能是一个难题。该文通过分析等离子体密度与功率的平衡关系,导出了单极表面波激励弱电离等离子体柱电导率与激励功率和频率的关系,利用数字频率合成技术和功率增益自动控制技术稳定激励功率和频率,以达到提高等离子体柱导电性能的目的。通过实验研究了等离子体柱电导率与等离子体密度和柱体长度的关系。该方案可有效提高等离子体柱导电性及系统整体性能,对等离子体天线研究具有参考价值。 展开更多

关键词 表面波等离子体柱 导电性能 激发系统 直接数字频率合成 功率增益自动控制

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新型表面波等离子体源的诊断及不同工艺条件下的等离子体特性 被引量：3

5

作者 徐均琪 上坂裕之 +1 位作者 梅原德次 刁东风 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期214-218,共5页

表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体。应用这种技术,很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积(IBAD),从而制备出性能优异的类金刚石薄膜(DLC)。本文介绍了一种新型的SWP源,... 表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体。应用这种技术,很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积(IBAD),从而制备出性能优异的类金刚石薄膜(DLC)。本文介绍了一种新型的SWP源,说明了朗缪尔探针等离子体诊断的基本原理,研究了微波功率、靶电压、真空度等对等离子体特性的影响。测试了不同工艺条件下的等离子体密度,电子温度,等离子体电位,悬浮电位。研究结果表明,微波功率、靶电压和真空度等参数对等离子体特性具有重要的影响。结果同时表明,这种表面波等离子体源即使在0.85 Pa的真空度下也能够产生高达1.87×1011cm-3的电子密度(在2.8 Pa可达2.1×1012cm-3)。 展开更多

关键词 表面波等离子体 工艺参数 电子密度 类金刚石薄膜

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表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析 被引量：12

6

作者 黄卫东 詹如娟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期512-514,共3页

本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;... 本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %～ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。 展开更多

关键词 表面波等离子体沉积 类金刚石膜 结构 XPS 类金刚石 RAMAN光谱 X-射线光电子能谱

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临近空间表面波等离子体减阻性能分析 被引量：1

7

作者 蔡红华 聂万胜 丰松江 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期304-312,共9页

为研究临近空间表面波等离子体减阻效果,基于流体宏观模型的基本特征,分析了表面波等离子体流动控制机理的基础,以飞艇为模型,对其在0°攻角情况下的流场进行仿真计算,比较了不同激励器控制方案的减阻效果,研究了飞艇尾部区域的等... 为研究临近空间表面波等离子体减阻效果,基于流体宏观模型的基本特征,分析了表面波等离子体流动控制机理的基础,以飞艇为模型,对其在0°攻角情况下的流场进行仿真计算,比较了不同激励器控制方案的减阻效果,研究了飞艇尾部区域的等离子体流动控制效果.结果表明,表面波等离子体具有增加飞艇升力、减小飞艇阻力的效果;单侧控制方案最大减阻效果达7%左右,对称控制方案减阻效果明显优于单侧控制方案,最大减阻效果可达32%左右;表面波等离子体对飞艇尾部的流动分离具有很好的消除抑制作用. 展开更多

关键词 临近空间 飞艇 表面波等离子体 流动控制

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微波霍尔推力器表面波等离子体源的实验研究

8

作者 杨涓 石峰 +2 位作者 王阳 金逸舟 马艳杰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2015年第2期320-324,共5页

在微波霍尔推力器中,微波通过窗口耦合到霍尔加速通道,在通道底部介质板附近产生表面波等离子体以抑制振荡。表面波等离子体能否顺利产生将直接影响推力器本身的性能,为此,开展微波霍尔推力器表面波等离子体源的真空实验研究。在不同微... 在微波霍尔推力器中,微波通过窗口耦合到霍尔加速通道,在通道底部介质板附近产生表面波等离子体以抑制振荡。表面波等离子体能否顺利产生将直接影响推力器本身的性能,为此,开展微波霍尔推力器表面波等离子体源的真空实验研究。在不同微波输出功率条件下,分别以氪、氩气为工质,以陶瓷和石英材料为介质板,通过改变流量,得到了表面波等离子体的产生规律。采用朗缪尔探针,实验诊断了介质板附近的表面波等离子体密度。实验结果表明:和陶瓷介质板相比,石英介质板对微波的损耗低,表面波更容易稳定产生;朗缪尔探针的诊断结果表明,石英介质板附近等离子体的电子密度高于对应的临界电子密度,证明本实验等离子体为表面波等离子体。 展开更多

关键词 微波霍尔推力器 表面波等离子体 探针诊断

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基于修正的长程表面等离子体波的折射率检测研究

9

作者 刘瑾 杨海马 刘海珊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第3期90-93,共4页

为发挥长程表面等离子体波共振峰宽度小,共振曲线斜率大,降低共振角位置不确定性的优点,解决其严格对称结构难于传感的问题,文中在理论分析介质-金属薄膜-介质结构模型的色散和反射特性的基础上,实验研究棱镜耦合激发该结构中的修正的... 为发挥长程表面等离子体波共振峰宽度小,共振曲线斜率大,降低共振角位置不确定性的优点,解决其严格对称结构难于传感的问题,文中在理论分析介质-金属薄膜-介质结构模型的色散和反射特性的基础上,实验研究棱镜耦合激发该结构中的修正的长程表面等离子体波用于传感,改变实验中的结构参数,检测含水率10.8%~38.8%的蜂蜜。结果表明:其共振峰宽度变窄,介质膜厚、金属膜厚等参数对衰减峰及其宽度和衰减深度等参量都会产生影响,检测的入射角与折射率的线性相关系数为0.993 2,可较好地实现传感。 展开更多

关键词 修正 长程等离子体表面波 共振峰 共振角 反射 介质膜

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基于渐变结构的矩形腔表面波等离子体源仿真和设计 被引量：2

10

作者 林毅 张文聪 +1 位作者 肖玮 黄卡玛 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期59-62,76,共5页

目前,大尺寸矩形腔表面波等离子体源的设计中,利用缝隙辐射器耦合微波能量时,绝大部分都是在波导的宽边开缝,这在一定程度上限制了电场均匀性的进一步提高。本文提出了一种基于渐变结构的缝隙辐射器设计,即扩展波导宽边同时压缩窄边形... 目前,大尺寸矩形腔表面波等离子体源的设计中,利用缝隙辐射器耦合微波能量时,绝大部分都是在波导的宽边开缝,这在一定程度上限制了电场均匀性的进一步提高。本文提出了一种基于渐变结构的缝隙辐射器设计,即扩展波导宽边同时压缩窄边形成具有稳定模式的宽边更宽窄边更窄的结构。设计了加载短路面的缝隙阵列耦合结构并利用时域有限差分(FDTD)方法计算了电子密度为1.79×10^(18)m^(-3)、碰撞频率为3×10~8Hz时石英-等离子体分界面上电场幅度分布,并与传统波导开缝结构对比,实现了电场均匀性的有效提升,并得到了稳定的表面波模式。 展开更多

关键词 表面波等离子体 大尺寸 渐变结构 缝隙波导 均匀性

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微波放电等离子体点火与助燃研究进展 被引量：4

11

作者 陈兆权 王冬雪 +3 位作者 夏广庆 张斌 郝剑昆 徐宗琦 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期63-67,共5页

微波放电等离子体作为一类低温非平衡等离子体,具有密度大、活性高、温度低及工作气压范围广等优良性能,因而在航空航天发动机点火与助燃领域具有广阔的应用前景。该新兴技术现已成功实现点火,实验证实其关键技术在于放电腔以及启动器... 微波放电等离子体作为一类低温非平衡等离子体,具有密度大、活性高、温度低及工作气压范围广等优良性能,因而在航空航天发动机点火与助燃领域具有广阔的应用前景。该新兴技术现已成功实现点火,实验证实其关键技术在于放电腔以及启动器的优化设计。重点介绍了国内外微波放电等离子体点火与助燃技术的相关研究与发展;并根据已有研究基础,提出了国内微波放电等离子体在航空航天发动机点火与助燃领域的研究方向和发展思路;同时,总结了各单位独特的方案设计,可为今后进一步的研究探索提供重要的参考和依据。 展开更多

关键词 微波放电 表面波等离子体 点火 辅助燃烧 冲压发动机

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特殊多层结构中电磁波传播特性研究 被引量：5

12

作者 吴振华 张开春 刘盛纲 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期505-508,共4页

对各向异性导体-介质-等离子体特殊多层结构中电磁波的传播特性进行了研究。通过理论推导得到了该结构中的色散方程;并通过计算机计算,给出了色散曲线。研究了该结构中是否存在金属网层对色散曲线的影响,证明了金属网层对电磁波的耦合作... 对各向异性导体-介质-等离子体特殊多层结构中电磁波的传播特性进行了研究。通过理论推导得到了该结构中的色散方程;并通过计算机计算,给出了色散曲线。研究了该结构中是否存在金属网层对色散曲线的影响,证明了金属网层对电磁波的耦合作用,使慢波和等离子体表面波结合产生了慢等离子体表面波。分析了金属网角度、介质厚度和介电常数对色散的影响。 展开更多

关键词 各向异性介质 色散特性 等离子体表面波 慢波

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