期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究
被引量：
2
1
作者
刘超智
窦银萍
+3 位作者
张龙
孙长凯
郝作强
林景全
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-47,共4页
极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明,等离子体碎屑强烈依赖于...
极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明,等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟,当预脉冲能量为30mJ,双脉冲时间间隔150ns情况下,大部分锡离子的能量从2.47keV降低到0.40keV,降低了6.1倍,碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量,发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑,并且越接近靶材法线方向,碎屑的动能减少得越多。
展开更多
关键词
等离子体碎屑
激光
等离子体
双脉冲
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究
被引量：
2
1
作者
刘超智
窦银萍
张龙
孙长凯
郝作强
林景全
机构
长春理工大学理学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-47,共4页
基金
国家自然科学基金项目(11274053
11074027
+4 种基金
61178022
11211120156)
教育部博士点基金项目(20122216120009
20122216110007)
吉林省科技厅项目(20130522149JH)资助
文摘
极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明,等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟,当预脉冲能量为30mJ,双脉冲时间间隔150ns情况下,大部分锡离子的能量从2.47keV降低到0.40keV,降低了6.1倍,碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量,发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑,并且越接近靶材法线方向,碎屑的动能减少得越多。
关键词
等离子体碎屑
激光
等离子体
双脉冲
Keywords
Plasma debris
Laser plasma
Dual laser pulses
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究
刘超智
窦银萍
张龙
孙长凯
郝作强
林景全
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
