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ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石被引量：4: 1; 作者潘鑫马志斌 +2 位作者高攀李国伟曹为《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期174-178,共5页; 采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀与机械抛光相结合的方法抛光化学气相沉积(CVD)金刚石,运用扫描电镜、Raman光谱观察、分析了刻蚀与抛光后金刚石的表面形貌和质量变化,并与单纯的机械抛光相比较,研究了等离子体刻蚀对后续机械抛光的... 展开更多; 关键词刻蚀机械抛光电子回旋共振等离子体化学气相沉积金刚石; 在线阅读下载PDF 职称材料

环境控制与等离子体技术融合对未来高精密抛光难加工材料所构成的挑战(英文): 2; 作者土肥俊郎會田英雄 +2 位作者大西修尹韶辉任莹晖《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第6期637-649,F0003,共14页; 以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料是典型的难加工材料。本研究中,设计2种基于化学机械抛光(CMP)的加工设备,以开发高效高质量加工此类晶体衬底的新技术,并研究讨论使用新设备时的加工机理和难加工衬底的加工特征。加... 展开更多; 关键词化学机械抛光(CMP) 难加工晶片箱式设备等离子体化学蒸发加工等离子体熔融化学机械抛光伪自由基场加工机理; 在线阅读下载PDF 职称材料

石墨烯玻璃：玻璃表面上石墨烯的直接生长被引量：19: 3; 作者陈旭东陈召龙 +2 位作者孙靖宇张艳锋刘忠范《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第1期14-27,共14页; 玻璃是一种历史悠久、用途广泛的无定形硅酸盐材料,而石墨烯则是近年来发现的仅由碳原子组成的二维层状材料。石墨烯具有超高的机械强度、导电性、导热性和透明性,恰好与传统的玻璃形成互补。将石墨烯与玻璃结合在一起,在保持透明性的... 展开更多; 关键词石墨烯固态玻璃熔融态玻璃化学气相沉积等离子体辅助; 在线阅读下载PDF 职称材料

聚四氟乙烯表面处理与粘接被引量：9: 4; 作者董高峰刘继东《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期61-63,共3页; 分析聚四氟乙烯(PTFE)难粘接的原因,介绍化学处理法、高温熔融法、辐射接枝法、低温等离子体处理法等PTFE常用的表面处理方法,以及PTFE常用的表面改性剂和粘接性能优良的新型PTFE粘接剂。; 关键词聚四氟乙烯表面处理表面改性剂粘接性能粘接剂聚四氟乙烯(PTFE) 表面处理方法化学处理法低温等离子体高温熔融法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石被引量：4: 1; 作者潘鑫马志斌高攀李国伟曹为; 机构武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期174-178,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(10875093); 文摘采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀与机械抛光相结合的方法抛光化学气相沉积(CVD)金刚石,运用扫描电镜、Raman光谱观察、分析了刻蚀与抛光后金刚石的表面形貌和质量变化,并与单纯的机械抛光相比较,研究了等离子体刻蚀对后续机械抛光的影响,结果发现:金刚石经ECR等离子体刻蚀后非晶碳含量有一定程度降低,刻蚀过程在金刚石晶面形成的疏松表面有利于机械抛光,金刚石表面平均粗糙度更加快速降低。对比实验表明等离子体刻蚀对机械抛光前期的抛光效率的增强效果更为明显,在ECR等离子体刻蚀后的金刚石样品经10min机械抛光后粗糙度从7.284下降到1.054μm,而直接机械抛光30min时金刚石的表面粗糙度为1.133μm,在机械抛光的初始阶段,等离子体刻蚀后的机械抛光效率是单纯机械抛光效率的3倍。最终,经过三次重复刻蚀后机械抛光,金刚石表面粗糙度降为0.045μm。; 关键词刻蚀机械抛光电子回旋共振等离子体化学气相沉积金刚石; Keywords Etching Mechanical polishing ECR plasma CVD diamond; 分类号 O531 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名环境控制与等离子体技术融合对未来高精密抛光难加工材料所构成的挑战(英文): 2; 作者土肥俊郎會田英雄大西修尹韶辉任莹晖; 机构九州大学长冈技术科学大学宫崎大学湖南大学株式会社Doi Laboratory; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第6期637-649,F0003,共14页; 文摘以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料是典型的难加工材料。本研究中,设计2种基于化学机械抛光(CMP)的加工设备,以开发高效高质量加工此类晶体衬底的新技术,并研究讨论使用新设备时的加工机理和难加工衬底的加工特征。加工设备的原型机分别为封闭箱式(closed chamber-type)环境控制CMP设备和等离子体熔融(plasma fusion)CMP设备。在前者中引入光催化反应,并在高压氧气环境下增加紫外辐射,试图提高加工效率。在后者中预期实现常压等离子体化学蒸发加工(P-CVM)和CMP各自优势的协同效应,尤其适合高硬度、极稳定的金刚石衬底。在验证设备加工机理的过程中,随加工过程进行,在极限表面(extreme surface)上形成了如水合物膜或氧化物膜的反应产物。因此,引入紫外辐射的箱式CMP设备在高压氧气环境下效率极高;而对等离子熔融CMP设备,在氧气氛围下,同时开展P-CVM和CMP时可实现对金刚石晶片的高效加工。通过对加工机理进行研究,提出由伪自由基场(pseudo radical filed)/反应产物形成和新表面接触磁流变抛光这两步构成的“循环处理方法”,可实现对难加工材料的高效率加工。; 关键词化学机械抛光(CMP) 难加工晶片箱式设备等离子体化学蒸发加工等离子体熔融化学机械抛光伪自由基场加工机理; Keywords chemical mechanical polishing(CMP) hard-to-process substrate chamber-type equipment plasma chemical vaporization machining plasma fusion CMP pseud radical field processing mechanism; 分类号 TG356.28 [金属学及工艺—金属压力加工] TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名石墨烯玻璃：玻璃表面上石墨烯的直接生长被引量：19: 3; 作者陈旭东陈召龙孙靖宇张艳锋刘忠范; 机构北京大学化学与分子工程学院北京大学工学院; 出处《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第1期14-27,共14页; 基金国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB932603,2012CB933404,2011CB921903,2013CB934600) 国家自然科学基金(51432002,51290272,51121091,51222201,11222434) +1 种基金教育部(20120001130010) 北京市科学技术委员会(Z151100003315013)资助; 文摘玻璃是一种历史悠久、用途广泛的无定形硅酸盐材料,而石墨烯则是近年来发现的仅由碳原子组成的二维层状材料。石墨烯具有超高的机械强度、导电性、导热性和透明性,恰好与传统的玻璃形成互补。将石墨烯与玻璃结合在一起,在保持透明性的基础上,同时赋予普通玻璃导电性、导热性和表面疏水性,具有非常重要的实际意义和理论价值。相比于液相涂膜或者转移的方法,直接在玻璃表面生长石墨烯能够从根本上避免由于污染和破损引起的石墨烯性能的下降,从而发展出一种新型材料——石墨烯玻璃。本文介绍了我们研究组在各种玻璃表面直接生长石墨烯的研究进展,其中包括石墨烯在固态耐高温玻璃和熔融态玻璃表面的高温生长,以及利用等离子体辅助手段实现石墨烯在普通玻璃表面的低温生长,并以此为基础发展出多种基于石墨烯玻璃的应用实例。总结展望了石墨烯玻璃的制备和应用的未来挑战与发展方向。; 关键词石墨烯固态玻璃熔融态玻璃化学气相沉积等离子体辅助; Keywords Graphene Solid-state glass Molten glass Chemical vapor deposition Plasma enhanced; 分类号 TQ171.1 [化学工程—玻璃工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚四氟乙烯表面处理与粘接被引量：9: 4; 作者董高峰刘继东; 机构巨化工程有限公司仪表厂中国神马实业股份有限公司电仪厂; 出处《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期61-63,共3页; 文摘分析聚四氟乙烯(PTFE)难粘接的原因,介绍化学处理法、高温熔融法、辐射接枝法、低温等离子体处理法等PTFE常用的表面处理方法,以及PTFE常用的表面改性剂和粘接性能优良的新型PTFE粘接剂。; 关键词聚四氟乙烯表面处理表面改性剂粘接性能粘接剂聚四氟乙烯(PTFE) 表面处理方法化学处理法低温等离子体高温熔融法; Keywords PTFE, surface modification, surface modifier, bonding property, adhesive; 分类号 TQ433.437 [化学工程] TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石	潘鑫马志斌高攀李国伟曹为	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	环境控制与等离子体技术融合对未来高精密抛光难加工材料所构成的挑战(英文)	土肥俊郎會田英雄大西修尹韶辉任莹晖	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	石墨烯玻璃：玻璃表面上石墨烯的直接生长	陈旭东陈召龙孙靖宇张艳锋刘忠范	《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心	2016	19	在线阅读下载PDF 职称材料
4	聚四氟乙烯表面处理与粘接	董高峰刘继东	《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心	2005	9	在线阅读下载PDF 职称材料