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等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用
被引量：
14
1
作者
任瑛
张贵锋
+1 位作者
董闯
姜辛
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期255-263,共9页
等离子体浸没式离子注入沉积是近年来迅速发展的一种材料表面改性新技术,其基本原理是,作为靶的工件外表面全部浸没在低气压、高密度的均匀等离子体中,工件上施加频率为数百赫兹、数千至数万伏高压负脉冲偏压。它克服了传统方法所具有...
等离子体浸没式离子注入沉积是近年来迅速发展的一种材料表面改性新技术,其基本原理是,作为靶的工件外表面全部浸没在低气压、高密度的均匀等离子体中,工件上施加频率为数百赫兹、数千至数万伏高压负脉冲偏压。它克服了传统方法所具有的薄膜沉积或离子注入存在方向性的固有缺陷,因此在复杂形状的三维工件表面改性工艺与技术上表现出无与伦比的优越性。该技术可以有多种工作模式,在离子注入前、注入期间或注入后进行原位清洗、刻蚀或薄膜沉积。作为应用实例,本文给出在复杂形状构件上合成均匀类金刚石或纳米金刚石薄膜的实验结果,最后指出等离子体浸没式离子注入沉积技术的发展趋势和工业化应用尚需解决的问题。
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关键词
等离子体浸没技术
表面改性
三维复杂构件
类金刚石薄膜
纳米金刚石薄膜
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职称材料
氟离子注入钛表面改性对成骨细胞黏着斑形成的影响
2
作者
刘慧颖
王学金
+3 位作者
伊哲
王浪平
王小峰
艾红军
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期137-139,143,共4页
目的探讨氟离子注入纯钛进行表面改性后,钛表面改性层化学组成的变化及其对人成骨细胞样细胞系MG-63黏着斑形成的影响。方法应用等离子体浸没离子注入装置对钛试件进行氟离子注入,通过X线光电子能谱(XPS)分析研究其表面化学组成和各元...
目的探讨氟离子注入纯钛进行表面改性后,钛表面改性层化学组成的变化及其对人成骨细胞样细胞系MG-63黏着斑形成的影响。方法应用等离子体浸没离子注入装置对钛试件进行氟离子注入,通过X线光电子能谱(XPS)分析研究其表面化学组成和各元素的化学结合价态。将人MG-63细胞接种于氟离子注入组和纯钛组钛试件表面,用激光共聚焦显微镜观察两组钛试件表面对人MG-63细胞黏着斑形成的影响。结果XPS全谱图显示氟离子注入后试件由钛、氧、氟和碳元素组成,拟合结果显示钛表面改性层的元素以二氧化钛和三氟化钛的形式存在。MG-63细胞培养6h后,氟离子注入组钛试件表面的黏着斑形成数量比纯钛组钛试件表面形成得多,二者间差异具有统计学意义(P<0.05)。结论氟离子注入可成功地将氟元素引入纯钛表面形成含有二氧化钛和三氟化钛的表面改性层,该层可促进成骨细胞黏附初期黏着斑的形成,提示其具有良好的生物相容性。
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关键词
钛
等离子体
浸没
离子
注入
技术
氟
离子
成骨细胞
黏着斑
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职称材料
无酸水热法制备多孔硅及其PⅢ表面改性
3
作者
李慧
卢茜
+1 位作者
吴子景
吴晓京
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期488-491,494,共5页
采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技...
采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技术,对多孔硅样品进行了表面注氮处理。室温荧光光谱研究发现处理后的样品的光谱峰位产生了蓝移,根据X光电子能谱仪检测的结果发现样品表面形成了Si-NxOy相,这一物相的出现导致了光谱的蓝移。
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关键词
无酸水热法
多孔硅
等离子体
浸没
注入
技术
光致发光
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职称材料
题名
等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用
被引量：
14
1
作者
任瑛
张贵锋
董闯
姜辛
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期255-263,共9页
基金
高等学校科技创新工程重大项目(No.707015)
文摘
等离子体浸没式离子注入沉积是近年来迅速发展的一种材料表面改性新技术,其基本原理是,作为靶的工件外表面全部浸没在低气压、高密度的均匀等离子体中,工件上施加频率为数百赫兹、数千至数万伏高压负脉冲偏压。它克服了传统方法所具有的薄膜沉积或离子注入存在方向性的固有缺陷,因此在复杂形状的三维工件表面改性工艺与技术上表现出无与伦比的优越性。该技术可以有多种工作模式,在离子注入前、注入期间或注入后进行原位清洗、刻蚀或薄膜沉积。作为应用实例,本文给出在复杂形状构件上合成均匀类金刚石或纳米金刚石薄膜的实验结果,最后指出等离子体浸没式离子注入沉积技术的发展趋势和工业化应用尚需解决的问题。
关键词
等离子体浸没技术
表面改性
三维复杂构件
类金刚石薄膜
纳米金刚石薄膜
Keywords
Plasma immersion techniques, Surface modification, 3D complex-shape workpieces, Diamond-like carbon films, Nano-crystalline diamond films
分类号
TB43 [一般工业技术]
TB75 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
氟离子注入钛表面改性对成骨细胞黏着斑形成的影响
2
作者
刘慧颖
王学金
伊哲
王浪平
王小峰
艾红军
机构
中国医科大学口腔医院口腔修复科
大连大学附属中山医院口腔科
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
出处
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期137-139,143,共4页
基金
辽宁省教育厅基金资助项目(05L481)
文摘
目的探讨氟离子注入纯钛进行表面改性后,钛表面改性层化学组成的变化及其对人成骨细胞样细胞系MG-63黏着斑形成的影响。方法应用等离子体浸没离子注入装置对钛试件进行氟离子注入,通过X线光电子能谱(XPS)分析研究其表面化学组成和各元素的化学结合价态。将人MG-63细胞接种于氟离子注入组和纯钛组钛试件表面,用激光共聚焦显微镜观察两组钛试件表面对人MG-63细胞黏着斑形成的影响。结果XPS全谱图显示氟离子注入后试件由钛、氧、氟和碳元素组成,拟合结果显示钛表面改性层的元素以二氧化钛和三氟化钛的形式存在。MG-63细胞培养6h后,氟离子注入组钛试件表面的黏着斑形成数量比纯钛组钛试件表面形成得多,二者间差异具有统计学意义(P<0.05)。结论氟离子注入可成功地将氟元素引入纯钛表面形成含有二氧化钛和三氟化钛的表面改性层,该层可促进成骨细胞黏附初期黏着斑的形成,提示其具有良好的生物相容性。
关键词
钛
等离子体
浸没
离子
注入
技术
氟
离子
成骨细胞
黏着斑
Keywords
titanium
plasma immersion ion implantation technique
fluoride ion
osteoblast
focal adhesion plaque
分类号
R783.1 [医药卫生—口腔医学]
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职称材料
题名
无酸水热法制备多孔硅及其PⅢ表面改性
3
作者
李慧
卢茜
吴子景
吴晓京
机构
复旦大学材料科学系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期488-491,494,共5页
基金
上海市重点学科建设资助项目(B113)
文摘
采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技术,对多孔硅样品进行了表面注氮处理。室温荧光光谱研究发现处理后的样品的光谱峰位产生了蓝移,根据X光电子能谱仪检测的结果发现样品表面形成了Si-NxOy相,这一物相的出现导致了光谱的蓝移。
关键词
无酸水热法
多孔硅
等离子体
浸没
注入
技术
光致发光
Keywords
hydrofluoric-acid-free
porous silicon
PⅢ
PL
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用
任瑛
张贵锋
董闯
姜辛
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
14
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
氟离子注入钛表面改性对成骨细胞黏着斑形成的影响
刘慧颖
王学金
伊哲
王浪平
王小峰
艾红军
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
无酸水热法制备多孔硅及其PⅢ表面改性
李慧
卢茜
吴子景
吴晓京
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
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